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150 W Oriel Sonnensimulatoren

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194 Te l e f o n : + 4 9 - ( 0 ) 6 1 5 1 - 7 0 8 - 0 • F a x : + 4 9 - ( 0 ) 6 1 5 1 - 7 0 8 - 9 5 2 L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN ORIEL HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN SONNENSIMULATOREN MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN 150 W Oriel Sonnensimulatoren 96000 150 W Sonnensimulator mit verzweigtem Faserbündel Zielgruppe für den Sonnensimulator Modell 96000 sind Forschungslabore, die das Sonnenspektrum so echt wie möglich simulieren wollen, aber die hohe Leistung der Sonnensimulatoren mit 300 bis 1600 W nicht benötigen. Das Modell 96000 benutzt eine ozonfreie 150 W-Xenonlampe und erzeugt einen kollimierten Strahl mit 33 mm Durchmesser. Als Zubehör erhältliche Air Mass- und Bandpassfilter können hinzugefügt und einfach ausgewechselt werden, um das Ausgangsspektrum neu zu formen. 100 10 1 200 500 1000 1500 2000 2400 Wellenlänge (nm) Bestrahlungsstärke (mW.m-2.nm-1) bei 0,5 m Abb. 1 Ausgangsspektrum des 150 W Sonnensimulators Komponenten des 150 W Sonnensimulators 96000 Das Lampengehäuse Das Gehäuse ist mit einem rückseitigen Reflektor ausgestattet, der die rückwärts gerichtete Strahlung sammelt, sowie mit einem Ventilator, einem Zündgerät für die Bogenlampe, einem F/1 Kondensorlinsensatz und einem Filterhalter. 150 Watt Xenon-Bogenlampe Der Simulator 96000 enthält eine ozonfreie 150 Watt Xenonlampe. Für Ausgangsleistungen unter 260 nm wird diese Lampe durch das UV-verstärkte Modell 6254 ersetzt. Bei der Bestellung geben Sie dem Vertriebs-Ingenieur bekannt, ob Sie eine andere Lampe wünschen. Netzgerät Das Netzgerät liefert konstante Leistung an die Lampe und stellt damit einen echten Vorteil gegenüber spannungsgesteuerten Stromquellen dar, weil Bogenlampen im unteren Leistungsbereich eine sehr geringe Toleranz gegenüber Leistungsschwankungen aufweisen. Mehrfach-Filterhalter Der Sonnensimulator 96000 enthält einen Air Mass-Filterhalter, der am Ausgang des Kondensors am Gehäuses angebracht ist. Abb. 1 zeigt den Strahlengang. Die Filter können ohne Umbau des Systems einfach eingeschoben und wieder entfernt werden. Hinweis: Die Sperrfilter und atmosphärischen Dämpfungsfilter (Modelle 59450, 81095 und 81096) können aufgrund von Überhitzung brechen, wenn die Ausgangsleistung der Lampe zu hoch ist. Es wird empfohlen, diese Filter nach einem dichrotischen Filterkit (siehe Seite 229) oder einem 1,5 Zoll Flüssigkeitsfilter (siehe Seite 238)zur Dämpfung des IR Spektrums einzubauen. Der Filterhalter des Sonnensimulators kann am Ausgang beider Bauteile montiert werden (siehe Abb. 2). optionale Filter Filterhalter Lampengehäuse 77800 Flüssigkeitsgefüllter LWL-Koppler 77556 Flüssigkeitsgefüllter Lichtleiter Abb. 2 – Sonnensimulator 96000 mit optionalem Faserkoppler und Flüssigkeits- Lichtführung • Kostengünstige Alternative für Anwendungen mit niedriger Leistung • Kollimierter Ausgangsstrahl mit 33 mm Durchmesser • Kleiner Bogen der Lampe ideal geeignet für die Einkopplung in eine Faseroptik oder eine Flüssigkeits- Lichtführung • Zusätzliche Air Mass Filter, dichrotische Spiegel und Bandpassfilter ermöglichen die Formung des Ausgangsspektrums

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L i c h t q u e l l e n 195 TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN ORIEL SONNENSIMULATOREN MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN Ausgangsleistung Tabelle 1 zeigt die ungefähre Ausgangsleistung des Sonnensimulators 96000 (vor der Filterung). Wir haben Formeln und Beispiele für die Berechnung der Ausgangsleistung dieses Lampengehäusetyps vorbereitet (siehe Seite 69). Der Multiplikationsfaktor für den montierten Kondensor ist 0.11. Tabelle 1...

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