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Oriel Strahlumlenkung

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L i c h t q u e l l e n 229 TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ORIEL SONNENSIMULATOREN MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN Dichroitische Strahlumlenkung am Ausgang eines 250 W Gehäuses der Research-Serie Diese Strahlumlenkung “dreht” den Ausgangsstrahl einer Oriel Lichtquelle um 90° in jede beliebige Richtung, ohne die Kollimierung zu beeinträchtigen. Abb. 1 zeigt ein Beispiel. Mit der Strahlumlenkung kann entweder der komplette Strahl oder nur ein bestimmter Anteil des UV- und VIS-Spektrums reflektiert werden. Dies ist bei Anwendungen sinnvoll, bei denen sich die IR-Strahlung insbesondere von Quarz-Wolfram-Halogenlampen und Bogenlampen hoher Leistung störend auswirkt. Die Strahlumlenkung besteht aus zwei Komponenten: Spiegel und Spiegelhalter. Die Komponenten werden separat angeboten, um die Spiegel austauschen zu können. Vollreflektor oder dichroitischer Spiegel Zwei Typen von Spiegeln sind verfügbar: Vollreflektor und dichroitischer Spiegel. Die Vollreflektoren sind für die verbesserte Reflexion im UV-Bereich mit AlMgF2 beschichtet. Diese Reflektoren sind von 200 nm bis 30 ìm verwendbar. In Abb. 2 wird eine Reflexionskurve gezeigt. Diese Reflektoren sollten eingesetzt werden, wenn eine Breitband-Emission benötigt wird. Die dichroitischen Spiegel sind für hohe Reflexion und Unempfindlichkeit gegenüber der Polarisation über einen begrenzten Bereich im UV- und/oder VIS-Spektrum ausgelegt. Ein Großteil der unerwünschten IR-Strahlung trifft auf eine dahinter liegende Absorber-Gruppe, die die IR-Strahlung jedoch nicht vollständig unterdrückt (in Abb. 2 wird eine Reflexionskurve gezeigt). Es hat sich gezeigt, dass die Infrarotstrahlung ausreichend absorbiert wird, um bestimmte Bestrahlungsexperimente ohne zusätzliche Filter durchführen zu können. Wenn eine zusätzliche Blockung erforderlich ist, sollte ein Flüssigkeitsfilter (siehe Seite 238) eingesetzt werden, um die Infrarot-Intensität zu unterdrücken. WWARNING! This illuminator emits HIGH INTENSITY INVISIBLE ULTRAVIOLET LIGHT. Exposure may cause DELAYED SEVERE EYE AND SKIN BURNS. Use protective eye and skin covering. ULTRAVIOLET LIGHT Operate in well ventilated area. OZONE Lamps run at very high temperatures. Allow adequate time for lamp to cool before opening door. TEMPERATURE HIGH VOLTAGE LAMP EXPLOSION HAZARD kollimierter Strahl Strahldreheinheit mit dichroitischem Spiegel Der Großteil der Strahlung wird absorbiert Abb. 1 – Dichroitische Strahlumlenkung am Kondensor einer Lichtquelle der Research- Serie montiert. UV-Strahlung wird reflektiert, IR-Strahlung wird absorbiert. Reflexion (%) 200 220 240 260 280 300 320 340 30 20 10 66231 66232 66233 66242 66243 66241 360 380 400 0 60 50 40 70 90 80 100 Wellenlänge (nm) Abb. 2 – Reflexion ausgewählter dichroitischer DUV-Spiegel Sicherheitshinweise Die Außenseite des Spiegelgehäuses, insbesondere die Rippen der Wärmesenke, kann beim Betrieb von Lichtquellen mit höheren Leistungen sehr heiß werden. Wenn mit diesen Lichtquellen gearbeitet wird, sollten alle Anwender besondere Vorsichtsmaßnahmen treffen. • Neue DUV-Modelle • Strahlumlenkung um 90° in jede Richtung • Reflektieren UV-VIS-Strahlung, blockieren IR-Strahlung • Spiegel leicht austauschbar Email: germany@newport.com • Web: newport.com Oriel Strahlumlenkung

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