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ADH Serie – Die neuen ölfreien Hochleistungspumpen für aktuelle Prozessanwendungen

ADH Serie – Die neuen ölfreien Hochleistungspumpen für aktuelle Prozessanwendungen
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Katalogauszüge

ADH Serie – Die neuen ölfreien Hochleistungspumpen für aktuelle Prozessanwendungen - 1

ADH SERIE Die neuen ölfreien Hochleistungspumpen für aktuelle Prozessanwendungen

ADH Serie – Die neuen ölfreien Hochleistungspumpen für aktuelle Prozessanwendungen - 2

Die neuen ölfreien Hochleistungspumpen für aktuelle Prozessanwendungen Neue ölfreie Hochleistungspumpen Die ADH-Serie wurde speziell für Anwendungen in anspruchsvollen Prozessen der Solar-, Halbleiter- und LED-Industrie entwickelt, da sie ein Saugvermögen von 600 bis 4.500 m³/h bietet. Durch ihre Betriebseigenschaften bietet die ADH-Serie folgende Vorteile für Ihre Prozesse: ■■ ALD Prozessdurchsatz: hohe Pumpeffizienz für leichte Gase ermöglicht eine schnellere Evakuierung der Kammer zwischen den Prozessschritten. ■■ Epitaxie und EUV: hohes Saugvermögen und große Durchflusstoleranz erfüllen...

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ADH Serie – Die neuen ölfreien Hochleistungspumpen für aktuelle Prozessanwendungen - 3

Hohe Widerstandsfähigkeit gegen Prozessneben produkte Die Pumpen sind mit einem doppelten temperaturgesteuerten Kühlwasserkreislauf und einer integrierten heißen Stickstoffspülung ausgestattet, um Staubablagerungen oder Konden sation zu vermeiden. Der leistungsstarke Motor bewältigt auch erhöhte Belastung durch Stäube und garantiert gute Wiederanlauffähigkeiten. Die sorgfältig ausgewählten Materialien halten außerdem korrosiven Reinigungschemikalien stand. Die ADH-Serie wurde mit einem komplett neuen Überwachungssystem aufgerüstet. Ihre Kenndaten tragen zu einer erhöhten...

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Die neuen ölfreien Hochleistungspumpen für aktuelle Prozessanwendungen Wasser Einlass/ Auslass

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ADH Serie – Die neuen ölfreien Hochleistungspumpen für aktuelle Prozessanwendungen - 5

ADH range pumping speed vspressure(N2) 5000 AD 4560 H pumping speed vs Roots frequency Saugvermögenm3/h [m3/h] AD 4560 H mit unter schiedlicher Wälzkolben pumpendrehzahl bei N2 5000 Wälzkolbenpumpe bei voller Roots pump at full speedDrehzahl Wälzkolbenpumpe bei mittlerer Drehzahl 2 Roots pump at intermediate speed 2 Wälzkolbenpumpe bei mittlerer Drehzahl 1 Roots pump at intermediate speed 1 Wälzkolbenpumpe bei niedrigster Drehzahl Roots pump at minimum speed

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Technische Daten Maximaler ständiger Ansaugstrom - N2 500 slm Maximaler ständiger Ansaugstrom - H2 Maximales Auspumpvolumen Maximaler Enddruck (50 slm N2 Sperrgas) Leistungsaufnahme bei Enddruck Maximaler Geräuschpegel bei Enddruck und bei maximaler Durchflussmenge Stromversorgung, 3 Phasen, 50/60 Hz1) Maximaler Auspuffüberdruck Mindest-Kühlwasserdurchflussmenge für maximalen ständigen Ansaugstrom lt. Pumpenspezifikation Kühlwassertemperatur Gewicht Anschlussflansch (Eingang) Anschlussflansch (Ausgang) 11 Gemäß CE-Zertifizierung können die Pumpen Schwankungen von 10 % bewältigen 2)...

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Temperaturmanagement ölfreie Pumpe Temperaturmanagement Wälzkolbenpumpe Ohne Rückschlagventil

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