DC-Generatoren TruPlasma Bias Serie 3000/4000
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Katalogauszüge

DC-Generatoren TruPlasma Bias Serie 3000/4000 - 1

TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000 Große Dinge unterstützen.

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DC-Generatoren TruPlasma Bias Serie 3000/4000 - 2

TRUMPF Hüttinger Plasmaanregung: Mehr aus Werkzeugen machen. Jedem Sputterprozess seine Bias-Unterstützung. TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000. Die Generatorenfamilie TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000 wurde für den Einsatz als reguläre und gepulste Biasquellen in industriellen Plasmaprozessen entwickelt. Dabei verfügen sie über zwei Betriebsmodi: Hochspannungsmodus (HV) mit bis zu 1 200 Volt (V) und Niedrigspannungsmodus mit bis zu 300 V. Primäre Einsatzgebiete dieser Produkte sind metallisches Sputtern, Materialvorbehandlung und Trockenätzen. Darüber hinaus passen sie für jede Anwendung mit...

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DC-Generatoren TruPlasma Bias Serie 3000/4000 - 3

TruPlasma Bias Serie 3000 TruPlasma Bias Serie 40001 Var. Ux Schwelle: 0 V – 600 V Var. lx Schwelle: 10 % – 100 % der Nennspannung Dynamische Spannungsveränderung Imax Erkennung Spannung, Strom Regulierung bei Netzschwankungen ± 10 % Last 10 % – 90 % Eingangsdaten Netzspannung Netzfrequenz Zusätzliche Parameter für TruPlasma Bias Serie 4000 Pulsfrequenz Einschaltdauer (Zyklusbetrieb) TruPlasma Bias 4000 ist in einigen Ausführungen in US, JP, CH, DE, FR, GB, IT, LI nicht erhältlich. Leistung / Nennspannung Max. Ausgangsstrom LV Modus Beschichten Uset Zeit HV Modus Vorbehandlung (Ionen-Ätzen,...

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TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000 Kühldaten Kühlsystem Umluftkühlung / Lüftersteuerung Umgebungsbedingungen Temperatur 2) Spezielle Varianten für ein höheres Einsatzgebiet auf Anfrage verfügbar. Schnittstellen Analog / Digital Abmessungen ( B x H x T) TruPlasma Bias Serie 30004 TruPlasma Bias Serie 40004 Gewicht TruPlasma Bias Serie 30005 TruPlasma Bias Serie 40005 4) Die Werte geben Minimalabmessungen an. Höhe und Tiefe abhängig von der Ausführung. 5) Die Werte geben das Minimalgewicht an. Abhängig von der Ausführung.

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TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000

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Alle Kataloge und technischen Broschüren von TRUMPF Power electronics

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