DC-Generatoren TruPlasma DC Serie 4000 (G2)
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Brillante Reflexionen: TRUMPF Hüttinger glänzt bei optischen Beschichtungen. Glasklar: Gepulste Prozesse für einwandfreie Oberflächen. TruPlasma DC Serie 4000 (G2). Die Prozessstromversorgungen der TruPlasma DC Serie 4000 (G2) wurden speziell für das reaktive Sputtern von anspruchsvollen Materialien entwickelt. Die Generatoren bewähren sich in allen kritischen PVD- und PECVD-Plasmaprozessen, zum Beispiel bei der Herstellung von Solarzellen und Halbleitern oder bei Hartstoffbeschichtungen. Bei Ausgangsleistungen von 20 bis 200 Kilowatt (zusammenschaltbar) liefern die Generatoren maximale Leistung über einen breiten Lastimpedanzbereich. Dank einer schnellen DSP-Steuerung laufen die Prozesse stabil und mit geringen arc-bedingten Zeitverlusten. Die TruPlasma DC Serie 4000 (G2) vereint die Vorzüge von TRUMPF Hüttingers exzellentem Arc-Management mit denen der DC-Pulstechnologie. Dadurch finden noch weniger Tröpfchenabscheidungen und Substratschädigungen bei kritischen Beschichtungsprozessen statt. Zusammen mit der sehr geringen Restenergie verbessert dies die gesamte Prozessqualität und die Produktionsleistung. Äußerst geringe Arc-Restenergie Ultraschneller digitaler Bedienstand Anpassbare Reverse Voltage Breite Palette an anpassbaren Frequenz- und Pulsparametern Ausgefeilte Überwachungs-Tools Vollständige Wasserkühlung Hohe Schichtqualität und Produktivität Stabiles Plasma und geringe arc-bedingte Zeitverluste Einfache Anpassung an unterschiedliche Prozessanforderungen Ermöglicht eine Vielzahl von Anwendungen mit einem Gerät Schnelle und einfache Prozessoptimierung Kompakte Größe, einfache Systemintegration

Leistung, Spannung, Strom Relative Luftfeuchtigkeit Regulierung bei Netzschwankungen ± 10 % Last 10 % – 90 % Analog / Digital Imax Erkennung Dynamische Spannungsveränderung Arc-Erkennung – Kriterien © TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG, 2015. Alle Rechte vorbehalten. Fehler und technische Änderungen vorbehalten. 1527487 - V04 Gewicht Eingangsdaten Anpassbare Reverse Voltage Pulsperiode Zündspannung Pause Urevb) Uset Zeit a) Anpassbare Zündspannung – auf Anfrage erhältlich. b) Anpassbare Reverse Voltage (0 – 150 V), unabhängig von der der Arbeitsspannung.