MF-Generatoren TruPlasma MF Serie 3000 / 7000
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TRUMPF Hüttinger generating confidence

Zukunft braucht innovative Energiequellen: P l a s m a a n r e g u n g v o n T R U M P F H ü t t i n g e r. Neue Qualitäten durch geniales Arc-Management. TruPlasma MF Serie 3000 / 7000. Entscheidende Qualitätsanforderung bei der Produktion von Solarzellen und Displays ist der Auftrag ultra-dünner homogener Schichten. Hohe Leistungsdichten und Abscheidungsraten sind hingegen bei der Beschichtung von Architekturglas gefordert. Die TRUMPF Generatoren der TruPlasma MF Serie 3000 / 7000 bieten die zuverlässige und wirtschaftliche Lösung für diese Prozesse. TruPlasma MF Serie 3000 ist eine Reihe...

Regelung Leistung 1) 2 150 V – 4 200 V für TruPlasma MF 3010 / 3020 bei 15 A max. Ausgangsstrom verfügbar. 2) Werte entsprechen der Reihenfolge der Angaben unter “Ausgangsleistung“.

< 5 mJ/kW (DetectLine) < 100 mJ/kW (SensorLine) 1) Werte entsprechen der Reihenfolge der Angaben unter “Ausgangsleistung“. Regelung Leistung Kathodenstrom Kathodenspannung

1) 570 V – 1 100 V entsprechend Abgriff, 750 V – 1 450 V für TruPlasma MF 7100 / 7120 / 7150 verfügbar. 2) Werte entsprechen der Reihenfolge der Angaben unter “Ausgangsleistung“.

Abmessungen (B x H x T), ohne Anschlüsse 8 l/min – 11 l/min (Serie 3000) 45 l/min – 62 l/min (Serie 7000 / 50 kHz) 21 l/min – 37 l/min (Serie 7000 / 70 kHz) Gewicht TruPlasma MF Serie 3000 Umgebungsbedingungen Temperatur +10 °C bis +45 °C Betrieb -20 °C bis +55 °C Lagerung1 -20 °C bis +70 °C Transport1 10 % – 90 % Betrieb 30 % – 95 % Lagerung 95 % Transport2 800 hPa bis 1 013 hPa Betrieb 800 hPa bis 1 013 hPa Lagerung 800 hPa bis 1 013 hPa Transport 1) Keine Betauung oder Vereisung. 2) Max. rel. Luftfeuchte wenn Gerätetemperatur langsam um 40 °C ansteigt oder wenn die Gerätetemperatur...

1. Hauptschalter 1. Hauptschalter mainmain switch switch interrupteur principal interrupteur principal 2. Netzanschluss 2. Netzanschluss mains connector mains connector alimentation alimentation 3. Kühlwasseranschluss G1/2G1/2 3. Kühlwasseranschluss (G3/8-Schlauch) (G3/8-Schlauch) A - Vorlauf A - Vorlauf B - Rücklauf B - Rücklauf colling water connections G1/2G1/2 colling water connections (G3/8 garden hose) (G3/8 garden hose) A - inlet inlet AB - outlet B - outlet raccord d'eau de refroidissement G1/2G1/2 raccord d'eau de refroidissement (G3/8 raccord de tuyau) (G3/8 raccord de tuyau) A -...

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