Plasma Excitation
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Plasmaanregung von TRUMPF Hüttinger Generatoren für höchste Prozessstabilität.

Denken Sie dabei auch an die nächste Generation von Flachbildschirmen? Blitze, Nordlichter, die Sonnenkorona – Plasmaerscheinungen haben etwas unwiderstehlich Faszinierendes. Wissenschaftlich definiert ist Plasma ein besonderer Zustand heißer gasförmiger Materie. Wird Gas immer weiter erhitzt, erhöht sich die Bewegungsenergie der Gasteilchen derart, dass sich Elektronen von den Atomen und Molekülen lösen – ein Plasma entsteht. Was in der Natur von selbst zündet und als Prozess höchst instabil bleibt, muss im technischen Bereich künstlich erzeugt und aufrechterhalten werden. Dies geschieht...

TRUMPF Hüttinger – Entwicklungspartner für Plasma Der Siegeszug der Plasmatechnologie hat gerade erst begonnen, das Gros möglicher Applikationen ist noch gar nicht entdeckt. TRUMPF Hüttinger steht in vorderster Linie, um neue Applikationsfelder zu erschließen und bekannte weiter zu optimieren. Gleichstrom-, Mittel- und Hochfrequenzgeneratoren von TRUMPF Hüttinger decken heute bereits ein weites Anwendungsspektrum ab – mit besonders wirtschaftlichen Seriengeräten. Kundenspezifische Aufgaben­ tellungen s erfüllen wir schnell und präzise – durch individuelle Lösungen. Basierend auf unseren...

Flexibilität ist Leistung, die sich addiert. Wie sich Hightech im harten Einsatz bewährt? Jeden Tag! Gleichstromgeneratoren von TRUMPF Hüttinger sind geschaffen, um im rauen Alltag der industriellen Serienfertigung zu bestehen. Ganz egal, ob bei der Hartstoffbeschichtung in Werkshallen oder der Produktion von Flachbildschirmen im Reinraum. Ohne Einbuße an Genauigkeit und Wiederholbarkeit, mit zuverlässig funktionierender Arc-Unterdrückung. Und das über viele Jahre hinweg. Weiterer Vorteil: Das DC-Generatorenprogramm von TRUMPF Hüttinger ist modular und skalierbar aufgebaut. Auch...

Gleichstrom (DC) TruPlasma DC Serie 3000 / 4000 – die Kraftvollen Vielseitige DC-Generatoren mit hoher Leistungsdichte. Ideal für anspruchsvolle DC-Plasmaprozesse bei der Herstellung von Solar­ zellen; durch zusammenschaltbare Module und fortschrittliches Arc-Management. Auch mit Puls-Modus. TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000 – die Anpassungskünstler Standard- und gepulste DC-Generatoren für Bias-Anwendungen mit zahlreichen Einsatzmöglichkeiten. Bestens geeignet für die Ober­ flächenbehandlung von Metallen und anderen leitfähigen Materialien. TruPlasma Arc Serie 3000 – die...

Intelligenz hat viel mit den richtigen Anlagen zu tun. Erwarten Sie von uns das Beste. Serienmäßig. Vom kompakten Modul bis zur Systemlösung im Schaltschrank: TRUMPF Hüttinger bietet ein bewährtes MF- und HF-Generatorenprogramm zur Plasmaanregung in Industrie, Wissenschaft, Forschung und Entwicklung. Die MF- und HF-Generatoren zeichnen sich durch perfekt angepasste Leistungscharakteristika aus. Sie lassen sich nahtlos in jedes Anlagenkonzept integrieren und überzeugen durch hohe Verfügbarkeit. Progressives Arc-Management verstärkt ihre ohnehin überragende Prozessstabilität. Wenn es um...

Mittelfrequenz (MF) TruPlasma MF Serie 3000 / 7000 – die Brillanten Ausgestattet mit unserem Arc-Management bieten diese weltmarkt­ führenden MF-Generatoren glänzende Perspektiven bei der Groß­ flächenbeschichtung. Hochfrequenz (HF) TruPlasma RF Serie 1000 – die Robusten Energieeffizienter Generator für Beschichtungs- und Ätzprozesse in der Herstellung von Halbleitern. Exakte Leistungsregelung und ein besonders robustes Betriebsverhalten gestatten maximale Produktivität. TruPlasma RF Serie 7000 – die Hochleistungsfähigen Optimierte HF-Generatoren in zuverlässiger Hybridtechnologie....

Einen Augenblick bitte zum Thema Perfektion … Bitte nennen Sie es nicht „Zubehör“! TRUMPF Generatoren stehen im Mittelpunkt vieler Plasmaanwendungen in Forschung und Industrie. Damit die Prozessversorgung im Alltag zuverlässig funktioniert, sind spezielle Systemumgebungen nötig: Matchboxes (Anpassnetzwerke), Masteroszillatoren, HF-Umschalter und Koaxial­ abel. Kunden mit dem Anspruch auf eine nachhaltige, ganzheitliche Prozesslösung entscheiden sich auch für Systemkomponenten k von TRUMPF Hüttinger. Hier bewährt sich einmal mehr unser führendes Geräte- und Anlagen-Know-how, verbunden mit...

Matchboxes Anpassnetzwerke, Übersetzer für die passende Impedanz. Masteroszillatoren Höchstmögliche Sicherheit für den frequenzsynchronen Betrieb. HF-Umschalter Mehrere Prozesskammern mit einem Generator ansteuern. Koaxialkabel Einwandfreie Verbindungen zwischen Generator und Matchbox.

Wachsen mit ihren Aufgaben: DC-Lösungen von T R U M P F H ü t t i n g e r. Jeder Plasmaprozess stellt andere Anforderungen an seine Energiequelle. Gut, wenn Stromversorgungen auch auf veränderte Anforderungen schnell reagieren können. Mit den modularen DC-Generatoren von TRUMPF Hüttinger verfügen Sie über dieses doppelte Potenzial. Denn diese lassen sich einfach skalieren und bieten Ihnen die ideale Flexibilität im täglichen Wettbewerb. Gepulste DC-Generatoren TruPlasma Highpulse Serie 4000 Hoch-Impuls-DC-Generator für die Aufbringung äußerst genauer, dünner Schichten. Leistungs­ spitzen...

DC-Generatoren TruPlasma DC Serie 3000 TruPlasma Bias Serie 3000 Kompakte Gleichstromgeneratoren, optimal für metallische Sputterprozesse. Die Generatoren weisen eine hohe Leistungsdichte auf und liefern Nennleistung über einen breiten Lastanpassungsbereich. Das Arc-Management CompensateLine ermöglicht überragende Schichtqualitäten bei hohen Abscheidungsraten. Vielseitig einsetzbare Familie moderner DC-Bias-Generatoren. Bietet dem Anwender zwei Betriebsmodi mit 1200 V oder 300 V. Die Generatoren der Serie sind optimal für ein breites Einsatzgebiet geeignet, wie z. B. für metallische...