TruPlasma RF Series 1000 / 3000
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Katalogauszüge

Stabile Prozesse für höchste Produktivität TRUMPF Hüttinger generating confidence

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Stabile HF-Leistung für höchste Produktivität in PECVD-Prozessen. TruPlasma RF Serie 1000 / 3000. Bei der Herstellung komplexer Mikrostrukturen sind reproduzierbare Prozesse der Schlüssel zu konsistenten Ergebnissen. Dank einer stabilen Ausgangsleistung und hoher Regelgenauigkeit bietet die TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 beste Voraussetzungen für den zuverlässigen Betrieb. Die Generatorserie eignet sich insbesondere für Plasmaanwendungen in der Herstellung von Halbleitern und Solarzellen. Typische Prozesse umfassen PECVD und PVD sowie Trockenätzverfahren. Dabei gewährleisten innovative...

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Nicht notwendig 3) Die Kühlwassertemperatur muss über dem Taupunkt der Umgebungsluft liegen. Schnittstelle Netzanschluss Harting Han modular plug 30 A (male) Schnittstelle HF-Ausgang Eingangsdaten Netzspannung Netzfrequenz Leistungsfaktor 4) Entweder PROFIBUS- oder RS-Schnittstelle erhältlich. 1) Bei voller Nennleistung. 2) Bei Fehlanpassung.

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© TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG, 2013.Alle Rechte vorbehalten. Fehler und technische Änderungen vorbehalten. 1690304 - V05 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Bötzinger Straße 80 · 79111 Freiburg · Telefon +49 761 8971-0 Fax +49 761 8971-1150 · E-Mail Info.Elektronik@de.trumpf.com Homepage www.trumpf-huettinger.com

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Alle Kataloge und technischen Broschüren von TRUMPF Power electronics

1. 

   TruPrint 3000

   2 Seiten

2. 

   TruHeat MF Serie 7000 (G2)

   2 Seiten

3. 

   TruPlasma MF Series 7000

   8 Seiten

4. 

   Plasma Excitation

   16 Seiten

5. 

   efficiency+

   7 Seiten

6. 

   MF-Generatoren TruHeat MF Serie 3000/5000/7000

   8 Seiten

7. 

   HF-Generatoren TruHeat HF Serie 3000 (H)

   2 Seiten

8. 

   HF-Generatoren TruHeat HF Serie 7000

   8 Seiten

9. 

   HF-Generatoren TruHeat HF Serie 1000/3000/5000

   8 Seiten

10. 

    TruPlasma Highpulse Serie 4000

    8 Seiten

11. 

    DC-Generatoren TruPlasma Bias Serie 3000/4000

    8 Seiten

12. 

    DC-Generatoren TruPlasma Arc Serie 3000

    8 Seiten

13. 

    RF-Generatoren TruPlasma RF Serie 3000

    12 Seiten

14. 

    MF-Generatoren TruPlasma MF Serie 3000 / 7000

    8 Seiten

15. 

    MF-Generatoren TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

    7 Seiten

16. 

    DC-Generatoren TruPlasma Biploar Serie 4000 (G2)

    8 Seiten

17. 

    DC-Generatoren TruPlasma DC Serie 3000 (G2)

    8 Seiten

18. 

    DC-Generatoren TruPlasma DC Serie 4000 (G2)

    2 Seiten

19. 

    TruPlasma RF Serie 7000

    8 Seiten