Laserbasierte Messtechnik in der Halbleiterindustrie

Anwenderbericht: Halbleiterindustrie Bild: ASYS Messen von Bereitstellungssystemen mit Lasertrackern ASYS Automatic Systems GmbH & Co. KG in Schorndorf entwickelt Handlingsysteme für die Haldbleiterindustrie und die Mikrostrukturtechnik. Diese für Vakuum- und Reinstraumanwendungen konzipierten Roboter werden bei ASYS konstruiert, produziert und entweder als Stand alone- oder als komplettes Bereitstellungssystem einschließlich der dafür notwendigen Vakuumkammern angeboten. Diese sind charakteristisch für diesen industriellen Schlüsselbereich. Die allgegenwärtigen Halbleiter, ohne die heute kein...

Anwenderbericht: Halbleiterindustrie was wiederum die äußerst empfindlichen Kundenprozesse stören würde. Das gleiche gilt für fast alle anderen chemischen Stoffe. Auch das Wärmemanagement spielt eine gewisse Rolle, denn eine Vakuumkammer verhält sich wie eine gut isolierte Thermoskanne, man wird die Wärme nicht so einfach los, was für mechanische und chemische Prozesse durchaus ein Problem sein kann. Vor größere Herausforderungen stellt der annähernd luftleere Raum allerdings die Antriebs- und schließlich auch die Messtechnik; die Antriebstechnik, weil die mechanischen Antriebe außerhalb des...

Anwenderbericht: Halbleiterindustrie Durchbruch mit Lasertrackern Den eigentlichen Durchbruch brachte der Einsatz von Lasertrackern, mit deren Hilfe es erstmalig möglich wurde, 200 räumliche Messpunkte innerhalb eines vertretbaren Zeitaufwandes zu qualifizieren. Diese 200 Eintragungen bilden den Kern der umfangreichen Qualitätsreports bei ASYS, die das räumliche 3DVerhalten der Roboter statisch und dynamisch beschreiben. Hier geht es um Profile, die aufgenommen werden und die gemessenen Abweichungen von Bahnen in Folge von Reibungen und Elastizität beschreiben. Ein Lasertracker wiederum kann...

Anwenderbericht: Halbleiterindustrie Zukünftige Entwicklungen Wohin der Trend geht ist klar zu erkennen; zukünftige Handlingsysteme müssen mehr Last und mehr Reichweite bewältigen. Die heutigen 300mm Wafer werden schon bald vom neuen 450mm Standard abgelöst werden, was bedeutet, dass der Durchmesser der Vakuumkammer und damit auch die Reichweite des Roboters erheblich vergrößert werden muss, um die Wafer zu bewegen. Zukünftige Roboter müssen noch schneller sein und dabei weniger Energie verbrauchen; in der Summe Anforderungen, die die dynamischen Eigenschaften dieser Systeme noch mehr in den...