Gruppe: Balluff
Katalogauszüge
PRÄZISION FÜR DIE HALBLEITER-, SOLARUND DISPLAYFERTIGUNG
Katalog auf Seite 1 öffnenWIR SIND IN VIELEN BRANCHEN ZU HAUSE
Katalog auf Seite 2 öffnenWIR UNTERSTÜTZEN IHRE WAFER-PROZESSIERUNG UND DISPLAY-PRODUKTION Mobile Kommunikation – Internet of Things – Smart Factory – Smart Home. Hinter diesen aktuellen Entwicklungen steht die Digitalisierung. Und damit Halbleiter als ihr Herzstück. Die Halbleiterindustrie ist also zweifelsohne zukunftsweisend. Mit dem digitalen Wandel steigen gleichzeitig auch die Anforderungen an sie. So sollen beispielsweise Chips immer leistungsähiger werden. Dabei ist bei f der Chip-Produktion ein hochkomplexer, technologisch äußerst anspruchsvoller Prozess kosteneffizient zu bewältigen. Für die Prozessierung...
Katalog auf Seite 3 öffnenINHALT Berührungslos exakt Positionieren 8 CARRIER-HANDLING Hochpräzision auch zwischen den Prozessschritten 12 WAFER-HANDLING Zur Unterstützung der Prozesssicherheit 18 VAKUUM-ANWENDUNG Zuverlässig agieren in chemischer Umgebung 22 WAFER-PROCESSING Hochpräzision und Kommunikationskompetenz 26 UNSERE BESONDEREN STÄRKEN
Katalog auf Seite 4 öffnenBERÜHRUNGSLOS EXAKT POSITIONIEREN Balluff Systeme unterstützen das präzise und effiziente Carrier-Handling – ob es sich beim Carrier um einen FOUP oder einen SMIF-Pod handelt. Mit unseren Systemen überwachen Sie beim vollautomatischen Transport der Carrier die Bewegungen des AMHS. Und dies äußerst zuverlässig, sowohl auf Kurzstrecken mit RGVs als auch auf Langstrecken mit OHVs. Zugleich sorgen die berührungslosen Systeme für die exakte Positionierung. Ihre Wafer lassen sich dadurch sicher jedem Bearbeitungsschritt zuführen. Reibung und Abspaltung sind damit kein Problem. Balluff Systeme...
Katalog auf Seite 5 öffnenANWESENHEIT DES CARRIERS PRÜFEN Mit optoelektronischen Sensoren BOH CARRIER SICHER RÜCKVERFOLGEN Mit Vision-Sensoren BVS POSITION DES AMHS KONTINUIERLICH ERFASSEN Mit magnetkodierten Sensoren BML ENDPOSITION DES AMHS KONTROLLIEREN Mit induktiven Sensoren BES Um die Anwesenheit eines Carriers auf einem Loadport zu detektieren, sind unsere platzsparenden Lichtschranken und Lichttaster ideal. Diese lassen sich durch ihren besonders flachen Aufbau optimal integrieren. Die geringe Installationsfläche auf dem Loadport, der oft nicht viel größer ist als die Transportbox, ist damit einfach...
Katalog auf Seite 6 öffnenHOCHPRÄZISION AUCH ZWISCHEN DEN PROZESSSCHRITTEN Für das Wafer-Handling im EFEM-Modul, wie auf dem Endeffektor oder dem Pre-Aligner, erhalten Sie bei Balluff Hochpräzision. Denn nur mit äußerster Genauigkeit lassen sich Wafer exakt positionieren und zuverlässig jedem einzelnen Bearbeitungsschritt zuführen. Unsere Sensoren und Systeme gibt es in kleiner Bauform, um die anspruchsvolle Integration in die Maschine einfach zu lösen. Für besonders diffizile Bedingungen – schließlich sieht jeder Endeffektor anders aus – können wir unsere Technik auch individuell an Ihre Anforderungen anpassen. Die...
Katalog auf Seite 7 öffnen5 7 2 1 ROBOTERPOSITION ERFASSEN Mit magnetkodierten Positionsmesssystemen BML ROTATION DES ROBOTERS ÜBERWACHEN Mit magnetkodierten Winkelmesssystemen BML Sie verwenden mehrere Loadports? Oder setzen mehrere Prozesskammern ein? Dann überwachen Sie mit unseren hochpräzisen magnetkodierten Positionsmesssystemen die Bewegung Ihrer Robotereinheiten zuverlässig. Die berührungslosen Wegmesssysteme kontrollieren kontinuierlich die Roboterposition. Dazu lässt sich das Magnetband individuell kürzen. So können Sie das System für Module mit unterschiedlich vielen Loadports flexibel nutzen. Um den...
Katalog auf Seite 8 öffnenWAFER IM PRE-ALIGNMENT AUSRICHTEN Mit Lichtband-Sensoren BLA WAFER-ANWESENHEIT AUF ENDEFFEKTOR PRÜFEN Mit optoelektronischen Sensoren BOH WAFER-ANWESENHEIT AUF ENDEFFEKTOR PRÜFEN Mit kapazitiven Sensoren BCS WAFER-POSITION AUF ENDEFFEKTOR ABFRAGEN Mit induktiven NAMUR-Sensoren BES SICHERES WAFER-MAPPING Mit optoelektronischen Sensoren BOH WAFER-FRAMES RÜCKVERFOLGEN Mit Vision-Sensoren BVS Führen Sie Ihre Wafer perfekt ausgerichtet der Prozesskammer zu, indem Sie diese im Pre-Alignment exakt positionieren. Für optische Pre-Aligner erhalten Sie bei uns eine hervorragende Lösung: ein...
Katalog auf Seite 9 öffnenSensoren von Balluff bieten Ihnen durch außergewöhnliche Konstruktionsmerkmale die Möglichkeit, sie im Vakuum direkt einzusetzen. Beispielsweise, wenn der Wafer beim Alignment on the fly in der Vakuumschleuse zentriert wird, oder auch, wenn seine Anwesenheit kontrolliert werden soll. So verfügen Sie bei uns über Einschraub-Ausführungen mit Dichtfunktion sowie über Sensoren zur Installation direkt im Hochvakuum. Deren Signale werden über elektrische Leitungen via Kabeldurchführung sicher herausgeführt. Ganz besonders interessant dabei: Da wir für den Sensor ausgasungsoptimierte Materialien...
Katalog auf Seite 10 öffnenWAFER ZENTRIEREN Mit optoelektronischen Sensoren BOH WAFER-ANWESENHEIT ERKENNEN Mit optoelektronischen Sensoren BOH WAFER-ANWESENHEIT PRÜFEN Mit optoelektronischen Sensoren BOH Das Alignment des Wafers on the fly können Sie mit zwei Micromote-Lichtschranken ausgesprochen sicher lösen. Ihre hochpräzisen Signale ermöglichen es, den Versatz zur Ideallinie zu berechnen, wenn die Schaltung der beiden Lichtschranken nicht simultan erfolgt. Dank unserer Microspot-Technologie können Sie den Wafer während der Bewegung korrigieren, da sie die scharfen Wafer-Kanten präzise erkennt. Für einen sicheren...
Katalog auf Seite 11 öffnenZUVERLÄSSIG AGIEREN IN CHEMISCHER UMGEBUNG Um die besonderen Anforderungen bei der Halbleiterfertigung zu erfüllen, erhalten Sie bei Balluff optimale Lösungen für Prozesse in der Nasschemie. Spezielle PTFE-Gehäuse ermöglichen Ihnen die zuverlässige Füllstandskontrolle – wie beim Ätzen, beim Reinigen der Wafer oder dem Belacken und Entwickeln in der Lithographie. Dass dabei auch die Prozess emperatur stimmt, ist Sache t unserer Temperatursensoren. Denn mit den berührenden Sensoren über achen w Sie die Temperaturen beim Wafer-Processing zuverlässig. Mit unserer Sensorik kontrollieren Sie auch...
Katalog auf Seite 12 öffnenAlle Kataloge und technischen Broschüren von Balluff GmbH
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PRODUKTE FÜR DIE EFFIZIENTE AUTOMATION 5
656 Seiten
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PRODUKTE FÜR DIE EFFIZIENTE AUTOMATION 4
190 Seiten
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PRODUKTE FÜR DIE EFFIZIENTE AUTOMATION 3
584 Seiten
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PRODUKTE FÜR DIE EFFIZIENTE AUTOMATION 2
444 Seiten
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PRODUKTE FÜR DIE EFFIZIENTE AUTOMATION 1
796 Seiten
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PRODUKTE + NEUHEITEN
25 Seiten
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BALLUFF TEST CAMPUS
15 Seiten
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LÖSUNGEN ZUR FÜLLSTANDSERFASSUNG
2 Seiten
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TEMPO STEIGERN UND QUALITÄT GEWINNEN
28 Seiten
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GUIDED CHANGEOVER SOLUTION
3 Seiten
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PRODUKTE FÜR DEN WASHDOWN-BEREICH
88 Seiten
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LÖSUNGEN FÜR DIE FLUIDTECHNIK
21 Seiten
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MOBILE ARBEITSMASCHINEN
21 Seiten
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LÖSUNGEN FÜR DIE ANTRIEBSTECHNIK
15 Seiten
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MASSGESCHNEIDERTE QUALITÄT
5 Seiten
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WE MONITOR YOUR MACHINES
10 Seiten
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WIR SPRECHEN IO-LINK. WELTWEIT
31 Seiten
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ALLE DATEN IM BLICK
6 Seiten
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HIGHLIGHTS AUS DEM PORTFOLIO
57 Seiten
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MAGNETFELD-SENSOREN
7 Seiten
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Balluff Produkte und Leistungen
94 Seiten
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PACKAGING, FOOD AND BEVERAGE
76 Seiten
Archivierte Kataloge
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QUALITÄT BIS INS DETAIL
94 Seiten
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WIR ERÖFFNEN NEUE PERSPEKTIVEN
13 Seiten
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BES00PY
2 Seiten
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BES008L
2 Seiten
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BES02NC
2 Seiten
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BES01ZN
2 Seiten
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BES0028
2 Seiten
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BES05F9
2 Seiten
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BES054Z
2 Seiten
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BES0086
2 Seiten
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BES0042
2 Seiten
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BES013N
2 Seiten
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BES00H4
2 Seiten
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BES003P
2 Seiten
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BES00HC
2 Seiten
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BES00CK
2 Seiten
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BES01ZW
2 Seiten
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BES00EF
2 Seiten
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BES00HF
2 Seiten
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BES00P7
2 Seiten
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BES0068
2 Seiten
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BES060T
2 Seiten