AIS - Active Isolation System
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ComPASS PRO Waferinspection machine Aktive elektronisch-pneumatische Schwingungsisolation mit bis zu sechs geregeltenFreiheitsgraden.Hochwirksame Schwingungsisolation ohne Resonanzټberhhung. Optimale Positionsgenauigkeit in vertikaler und horizontaler Richtung. Minimale Einfederung und Abklingzeiten bei Lastwechsel der Maschine. Sehr leistungsfhige Echtzeitregelung. SPS, CAN-Bus und je Freiheitsgrad ein Regler und ein hochdynamisches Proportional-Wegeventil.Jeder Regler verf椼gt ber einen Mikroprozessor und integrierte, hochauflsendeSensorik f춼r Position, Druck und Beschleunigung.Bedienungsfreundliche, intelligente WinSNI-Software fr Inbetriebnahme undDiagnose.Einfache digitale Umschaltmglichkeit zwischen scanning mode (w춤hrend empfind-licher Maschinenoperationen) und loading mode (bei Lastwechsel der Maschine).Kein Feedforward-Signal erforderlich. Keine strenden Wrmeerzeugungen, Magnetfeldver椤nderungen oder hoher Strom-verbrauch wie bei elektromagnetischen Aktuatoren / Linearmotoren. > Optimale Schwingungsisolierung fټr hochdynamische Mess- und Prfmaschinen,Laseranlagen, hochauflsende Mikroskope sowie Inspektions- und Produktions- maschinen in der Halbleiterindustrie.Das AIS춙 wird dann eingesetzt, wenn Isolationswirkung und Reaktionszeitenkonventioneller Luftfederisolatoren mit herkmmlichen Niveauregelungssystemen nicht ausreichen. > Aktiv isolierter Labortisch Die erschtterungsempfindliche Maschine gegen Bodenschwingungen zu sch漼tzen,sowie Strukturanregungen innerhalb der Anlage, hervorgerufen durch Lastwechsel bzw. Bewegungen der Maschine, zu minimieren und dabei die Abklingzeiten zu reduzieren.Beschleunigungssensor(Auflsung 8 > Isolierte Plattform frElektronenmikroskop g)RS232 Diagnose undUpdatesWegmess-System(Aufl漶sung 0,2 Drucksensor(Auflsung 0,2mbar)CAN Bus (1MBaud)Proportionalventil MPYEMikroprozessor > Bilz-Prfstand m) >

RS232SPSPC WinSNI FED50CAN-Bus E/A > Maschinensteuerung Regler ٮ Luftfeder HAB > Luftfeder Ventil Das AISΙ besteht aus einer SPS, dem CAN-Bus, 16 bit-Zustandsreglern, hochdynamischen Proportional-Wegeventilen, den Membran-Luftfedern BiAir m)sowie ein Beschleunigungssensor (Auflsung 8 g) und ein Drucksensor (Auflsung 0,2 mbar). Alle Sensorsignale werdenmit 4 kHz gesampelt. Da nicht nur die 涼bergeordnete Steuerung, sondern jeder Regler mit einem Mikroprozessor ausgerstet ist und hochdynamische Proportionalventile Ver- wendung finden, kann hier von einer sehr leistungsfhigen Echtzeitregelung...

PowerWinSNIFehlerbesttigung LuftversorgungLuftlagerEntlftenVentil horizontalVentil vertikalCANMaschinensteuerung LuftversorgungE/AAnzeige-/Bedienger伤t-FED 50 Abmessung: B/H/D/ 483x177x348 mm bertragungsfunktion des Isolationssystems AIS > TM im scanning mode mitMembran Luftfeder BiAir > ܮ / HE und horizontaler Luftfeder HAB > und sechs Reglern. Μbertragungsfunktion AIS mit 6 Freiheitsgraden Vibrations Kriterium, VC > 200-20-40-60 ٜbertragung (db) Frequenz (Hz)01 1 10 100 Workshop (ISO)Office (ISO)Residential day (ISO) 50 m/sec25 յm/sec 12 m/sec6 յm/sec3 m/sec VC - AVC - BVC - C VC - DVC - E...

A. BasisplattformB. Plattform fr Integration im Doppel-/ Reinraumboden > Unsere jahrzehntelange Erfahrung auf dem Gebiet der Schwing-ungstechnik sowie unsere Isolatorenvielfalt garantieren Ihnen technisch und wirtschaftlich optimale Lsungen. 1. Schwingungsanalysen F춼r eine optimale Auslegung sollten im Vorfeld am geplanten Aufstellort die Bodenschwingungen gemessen werden. Przise Analysen werden mittels moderner FFT-Analysatoren und hochsensibler Geophone seitens Bilz durchgefhrt. 2. Konstruktion und Auslegung Erg伤nzend zum breiten Produktprogramm bietet Bilz kunden- spezifische Lsungen zur...

D. Plattform fټr minimale Aufbauhhe und fr Anlagen mit sehr hohem SchwerpunktC. Plattform f漼r niedrige Aufbauhheund fr Anlagen mit hohem Schwerpunkt Systemaufbau Einsatzbereich Je nach Anforderung hinsichtlich Isolationsg漼te sowie vor- handenen Bodenerregungen kommen kostengnstige, passive Luftfederisolatoren mit Niveauregelung oder sehr hochwertige, aktive Schwingungsisolationssysteme AIS mit bis zu sechs geregelten Freiheitsgraden zum Einsatz. Die Plattformen werden hinsichtlich Steifigkeit, Anlagenschwerpunkt, Gewicht, Ab-messungen, Raumverh왤ltnissen und erforderlicher...