CEM/VDM Gas-Dampf-Gemische nach Maß
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Einleitung Bronkhorst High-Tech B.V. verfügt über langjährige Erfahrungen mit der Lieferung von Lösungen zur Massendurchflussregelung für viele verschiedene Anwendungen auf Märkten wie z. B. der Halbleiter-, der chemischen und der Solarindustrie. Unsere Instrumente werden gemäß Kundenspezifikationen in der jeweils geeigneten Ausführung für Labore, industrielle Systeme oder OEM-Anlagen gefertigt. Die thermischen Massendurchflussmesser/-regler von Bronkhorst® werden für eine genaue und reproduzierbare Regelung inerter Gase sowie für den Umgang mit reaktiven Gasen eingesetzt. Abgedeckt werden...

Modellnummern der CEM-Serie CEM-Modell * Abhängig von Flüssigkeit und Prozessdruck; Tabelle basiert auf Wasser bei 1 Atmosphäre. Bei anderen Flüssigkeiten oder Druckverhältnissen bitte Rücksprache. Eingang Flüssigkeit Ausgang Mischung Ersatzteile Regelventile und Ersatzteile für die Mischung von Gas und Flüssigkeit Wärmetauscher Abmessungen in mm. Alle Abmessungen können ohne Vorankündigung geändert werden. Verbindliche Zeichnungen sind auf Anfrage erhältlich.

All-in-One Vapour-Delivery-Module - VDM-Serie Additional features (im Vergleich zu separaten CEMSystemkomponenten) Kein weiteres Engineering (Piping, Verkabelung, Integration) mehr nötig Funktionsbereites CE-zertifiziertes Verdampfungssystem Anzeige/Bedienfeld inkl. 1,8" TFT-Display, Alarm-/Signalisierungs- und Zählerfunktionen Integrierte Feldbus-Schnittstelle (optional) Optionen Doppelte Trägergaszufuhr Verdünnungsgaszufuhr Begleitheizungsregelung inkl. Statusanzeige VDM-Serie: Vapour-Delivery-Module Auf der Grundlage der im vorhergehenden Abschnitt beschriebenen CEMTechnologie haben wir...

Code Heizungsgröße Sonstiger Anschluss (bitte spezifizieren) W-100* (1/4” Ausgang Massendurchflussregler und 1/8” Ausgang Flüssigkeitsdurchflussmesser) - 10W W-200* (1/4” Ausgang Massendurchflussregler und 1/8” Ausgang Flüssigkeitsdurchflussmesser) - 100W *Werkseitig gewählte interne Gas- und Flüssigkeitszufuhrausgänge Zusätzliche Begleitheizungsregelung Werkseitige Auswahl (Standard) Externe Kommunikation Doppelte Trägergas- und Flüssigkeitsdurchflusszufuhr Sonstige Kommunikation (bitte spezifizieren) Sonstiger Anschluss (bitte spezifizieren) Trägergas-, Flüssigkeits- und...

Modulkonfigurationen Die Module der VDM-Serie sind in hohem Maße standardisiert. Bronkhorst bietet die folgenden Konfigurationsoptionen: Einzelne Trägergaszufuhr, keine Verdünnung (Standard) Doppelte Trägergaszufuhr, keine Verdünnung Einzelne Trägergaszufuhr mit Verdünnung Doppelte Trägergaszufuhr mit Verdünnung Thermische oder Coriolis-Massendurchflussmesser für Flüssigkeitsdurchflussregelung Einzelne Trägergaszufuhr, keine Verdünnung, thermischer Flüssigkeitsdurchflussmesser Abbildung mit der internen Montageposition des Flüssigkeitsdurchflussmessers und des Massendurchflussreglers für...

Anwendungsbeispiele Trägergas Flüssigkeitsquelle mini CORI-FLOW Flüssigkeitsquelle mini CORI-FLOW CEM Dampfd- Entlüftung urchfluss Fluss Belüftung Fluss Flüssigkeitsquelle mini CORI-FLOW Beispiel eines DLI-Systems (Direct Liquid Injection) für ALD-Prozesse Eingang III Trägergas + Präkursor III Eingang II Trägergas + Präkursor Eingang I CVD (Chemical Vapour Deposition) Chemical Vapour Deposition (CVD) ist ein chemischer Prozess zur Herstellung hochreiner und hochleistungsfähiger Materialien. Das Verfahren wird nicht nur in der Halbleiterindustrie für die Herstellung von dünnen Folien für...

Bronkhorst High-Tech entwickelt und fertigt innovative Instrumente und Subsysteme für die Messung und Regelung von niedrigen Durchflüssen für den Einsatz in Laboratorien, Anlagenbau und Industrie. Durch unseren ausgeprägten Sinn für Nachhaltigkeit und unsere langjährige Erfahrung bieten wir ein umfangreiches Sortiment an (Massen-) Durchflussmessern und -reglern für Gase und Flüssigkeiten, basierend auf thermischen, Coriolis- und UltraschallMessprinzipien. Unser globales Vertriebs- und Servicenetz bietet lokalen Support in mehr als 40 Ländern. Entdecken Sie Bronkhorst®! Bronkhorst High-Tech...