Mass Flow Controller für Gase Bürkert Fluid Control Systems Christian-Bürkert-Straße 13 -17 74653 Ingelfingen Deutschland Tel.: +49 (0) 7940/10 - 0 Fax: +49 (0) 7940/10 - 91 204 [email protected] www.buerkert.at Bürkert-Contromatic G.m.b.H. Diefenbachgasse 1- 3 AT-1150 Wien [email protected] www.buerkert.ch Bürkert-Contromatic AG Schweiz Bösch 71 CH-6331 Hünenberg ZG [email protected] www.buerkert.de

Bürkert | Mass Flow Controller Einleitung Das Wort „Gas“ geht zurück auf die Aussprache des griechischen Wortes für Chaos. Zufall? Wohl kaum. Gas ist eigen. Es ist flüchtig, mitunter reaktionsfreudig und immer expansiv. Und weil das so ist, stellt Gas besondere Anforderungen an sein Handling. Prozessgase sind unerlässliche Helfer der industriellen Fertigung: etwa beim Beschichten und Härten von Oberflächen. Oder bei Fermentations­ rozessen in der p Pharmazie. Reaktionsträge Inertgase schützen beispielsweise die Lebensmittel in deren Verpackung vor Luftsauerstoff. In der Metallverarbeitung, beim...

Faszination Bürkert Die faszinierende Welt der Fluid Control Systems Wenn es um das Arbeiten mit Flüssigkeiten und Gasen geht, sind wir an Ihrer Seite – als Hersteller technisch ausgereifter Als einer von wenigen Anbietern auf dem Markt decken wir die gesamte Prozesskette aus Messen, Steuern Produkte, als ganzheitlich denkender Systemanbieter und als partnerschaftlicher Berater. Seit der Gründung im Jahr 1946 und Regeln ab. Unsere aktuelle Produktpalette reicht von Magnetventilen über Prozess- und Analyseventile haben wir uns zu einem der weltweit führenden Unternehmen für Fluid Control Systems...

Bürkert | Mass Flow Controller & Mass Flow Meter Produktübersicht Sämtliche Mass Flow Controller (MFC)/Meter (MFM) arbeiten bei einer Betriebsspannung von 24V DC, zeichnen sich durch geringen Druckverlust aus und benötigen keine Strömungskonditionierung am Einbzw. Ausgang. Edelstahl, Aluminium Neutrale, nicht kontaminierte Gase Maximaler Betriebsdruck Edelstahl, Aluminium Edelstahl, Aluminium Aggressive, giftige Gase Neutrale, nicht kontaminierte Gase Normsignal, RS-232 oder RS-485, Modbus-RTU (RS485-Adapter) PROFIBUS-DP, DeviceNet, CANopen Gerätespezifische Eigenschaften Mediumsberührte, direkte...

Bürkert | Mass Flow Controller & Mass Flow Meter Produktübersicht Sämtliche Mass Flow Controller (MFC)/Meter (MFM) arbeiten bei einer Betriebsspannung von 24V DC, zeichnen sich durch geringen Druckverlust aus und benötigen keine Strömungskonditionierung am Einbzw. Ausgang. Edelstahl, Aluminium Maximaler Betriebsdruck Mediumstemperatur Messgenauigkeit Wiederholgenauigkeit Ausregelzeit Schutzart Proprietärer büS oder CANopen Industrielle Micro SD-Karte (für büS-Daten, User-f(x)-Programm2 und den leichten Austausch eines Gateways) PC (Polycarbonat) IP20 Modularer Aufbau PROFINET, Ethernet-IP, Modbus-TCP...

Das Messprinzip der thermischen Massendurchflussmessung Mass Flow Controller − Aufbau und Funktion Die physikalische Gesetzmäßigkeit ist bekannt: Wärme fließt immer nur in Richtung geringerer Alle Mass Flow Controller von Bürkert sind Kompakt­ eräte, mit denen der Massendurchfluss von g Temperatur. Besitzt also ein Körper eine höhere Temperatur als seine Umgebung, gibt er seine Gasen geregelt wird. Sie regeln einen vorgegebenen Durchfluss-Sollwert – unabhängig von Stör- Wärmeenergie an eine vorbeiströmende Masse ab. Die thermische/kalorimetrische Messmethodik größen wie Druckschwankungen oder...

Bürkert | Aufbau und Funktion Der Inline-Sensor arbeitet im CTA-Betriebsmodus (Constant Temperature Anemometer). Dabei Im Unterschied zum Inline-Sensor, bei dem der Massendurchfluss im Hauptkanal gemessen wird, werden ein elektrischer Heizwiderstand (RS) und ein Messwiderstand (RT) auf eine konstante ermittelt der MEMS-Sensor die Werte direkt in einem Nebenkanal. Im Detail: Ein im Hauptkanal ein- Temperaturdifferenz geregelt. Beide Widerstände sitzen direkt im Strömungskanal des Gases; drei gebrachtes Laminar-Flow-Element sorgt zunächst für den erforderlichen Druckabfall. Dadurch wird weitere...

Bürkert | Aufbau und Funktion Typen 8710/8700, 8715/8705 Wie beim MEMS-Sensor bewirkt auch beim Kapillar-Sensor ein Laminar-Flow-Element im Hauptkanal Bei Proportional-Magnetventilen handelt es sich um elektromagnetische (Hubanker-) Stellventile. einen Druckabfall. Hier wie dort strömt ein Teil des Gesamtdurchflusses durch einen parallel laufenden Sie öffnen auf bestimmte Hubpositionen – abhängig vom Ansteuersignal. Im Ventil wirken zwei Nebenkanal. Der entscheidende Unterschied: Der Kapillar-Sensor hat keinen direkten Kontakt zum Kräfte gegeneinander: die einer Feder und die eines Proportionalmagneten....

Bürkert | Aufbau und Funktion Digitale Regelelektronik Bei der Kalibrierung wird der Messsignalbereich des Sensors eindeutig dem Durchflussregel- oder Eine Mikroprozessorelektronik verarbeitet einerseits die aktuellen Soll- und Istdurchflusswerte, Messbereich zugeordnet. Anhand von hochgenauen Durchflussnormalen werden dazu die Durch- andererseits übernimmt sie die Steuerung des Stellglieds (Proportionalventils). Zur Übermittlung flusswerte eingestellt und die jeweiligen Sensorsignale aufgezeichnet. Ist die Durchflusskennlinie der Sensorsignale an das Stellglied kommt der Regelelektronik im Falle...

Bürkert | Mass Flow Controller Industrielle Kommunikation – mit Feldbus und Ethernet In den 80er Jahren kam mit den Feldbussen die Informationstechnologie auch auf der Feldebene der Automatisierung ins Spiel. Herstellergetrieben kamen nacheinander diverse Varianten auf den Markt. Bekannte und weit verbreitete Vertreter sind die Feldbusse PROFIBUS, CANopen und DeviceNet. Die grundlegenden Vorzüge eines industriellen Netzwerks gegenüber herkömmlichen, fest verdrahteten Architekturen sind auf der Hardwareseite die Einsparung von Verdrahtungskosten. Softwareseitig bietet die erleichterte Integration...