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SolarPaq Temperaturprofilmessung bei der Antireflexbeschichtung

SolarPaq Temperaturprofilmessung bei der Antireflexbeschichtung
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Katalogauszüge

SolarPaq Temperaturprofilmessung bei der Antireflexbeschichtung - 1

SolarPaq Temperaturprofilmessung bei der Antireflexbeschichtung Datapaq® SolarPaq wurde entwickelt, um die Produkttemperatur der Solarzelle beim Durchlaufen des Beschichtungsprozesses im Plasma zu messen. In Zusammenarbeit mit den Anlagenherstellern wurde ein Messsystem entwickelt, das die Prozesskammern selbst bei aktiviertem Plasma durchlaufen kann. Diese Eigenschaft ermöglicht in Kombination mit einer schnellen Platzierung auf einer Transportvorrichtung eine Profilaufzeichnung ohne Unterbrechung der laufenden Produktion. Eine genaue Überwachung der Siliziumnitridbeschichtung ist für die Prozessoptimierung und folglich für den Wirkungsgrad der Solarzelle entscheidend. Die Überwachung dieses Prozesses war wegen der eingesetzten Maschinen bisher sehr schwierig und kostspielig. Das Datapaq-System kann den gesamten Prozess durchlaufen und die Temperaturen an der Zelloberfläche messen. So liefert das System Informationen darüber, was an den einzelnen Stellen innerhalb des Prozesses geschieht. EINE UMFASSENDE LÖSUNG Der speziell entwickelte Logger wird mitsamt Hitzeschutzbehälter einfach auf die Transportvorrichtung gestellt. Das System belegt eine der 156 mm-Zellpositionen. Somit sind keine Änderungen an der Vorrichtung erforderlich. Das System durchläuft den gesamten Prozess bei aktiviertem Plasma. Nach dem Durchlauf können die gewonnenen Informationen auf den Computer heruntergeladen und analysiert werden. Das System ist speziell für die thermisch und elektrisch anspruchsvolle Umgebung in der Plasmakammer ausgelegt und kann sowohl für die Prozesseinrichtung als auch die Überwachung eingesetzt werden. VORTEILE • Passt in eine Zellposition, so dass keine Änderungen an der Transportvorrichtung notwendig sind. • Aufzeichnung der Zelltemperaturen im aktivierten Plasma und somit der Prozessbedingungen während der Produktion. • Prozessoptimierung durch präzise und wiederholbare Ergebnisse. • Zeit- und Kostenersparnis beim Einrichten und Anpassen des Prozesses. SOFTWARE SOLAR INSIGHT Diese neue Software wurde speziell für die Solarindustrie entwickelt und bietet viele prozessspezifische Auswertungen. Der Anwender wird durch Assistenten schrittweise durch den Prozess geführt. So können erfahrene und unerfahrene Anwender in kürzester Zeit die Software optimal nut

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SolarPaq Temperaturprofilmessung bei der Antireflexbeschichtung - 2

Material Edelstahl mit mikroporöser Keramikisolierung (Sicherheitsflansche mit einer Breite von 10 mm) Die im Lieferumfang enthaltenen Abstandsblöcke können verwendet werden, um die Höhe ober- und unterhalb der Transportvorrichtung an die Prozesskammer anzupassen. DATENLOGGER Die widerstandsfähigen QI8-Datenlogger von Datapaq führen zuverlässige und präzise Messungen durch und sind mit Statusanzeigen sowie einem intelligenten Batteriemanagementsystem ausgestattet. Modellnummer DQ1863 Messtakt 0,05 Sekunden bis 10 Minuten Speicherkapazität 18.000 Messwerte pro Kanal (6 aktive...

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