HOCHREINE VENTILE ULTRASCHNELLE MEMBRANVENTILE HOCHREINE MEMBRANVENTILE FÜR ATOMLAGENABSCHEIDUNG UND SCHNELLWECHSELNDE ANWENDUNGEN

PNEUMATISCH BETÄTIGTES ULTRASCHNELLES IN-LINE VENTIL MIT METALLMEMBRAN Die ultraschnelle Serie wurde für Atomlagenabscheidungs-Anwendungen, mit hoher Taktrate und hoher Temperatur und hochreine Prozesse, die höchste Ansprüche an die Wiederholgenauigkeit stellen, entwickelt. Mit ihrem einzigartigen Durchflussanpassungs-Mechanismus (Patent angemeldet Nr. US61/910,079) ermöglicht diese Serie die Feineinstellung des Durchflusses während des Betriebs. Optional erweiterter Ventilhals und Kühlrippe stellen eine hervorragende Lösung für Hochtemperaturanwendungen dar. SPEZIFIKATIONEN DES IN-LINE VENTILS...

PNEUMATISCH BETÄTIGTES ULTRASCHNELLES VENTIL MIT METALL-MEMBRAN FÜR OBERFLÄCHENMONTAGE Das Oberflächenmontage-Design entspricht SEMI PR 3.1 für 1.112“ C-Dichtungen. Diese Serie wird gemäß den UHP-Spezifikationen von SEMI F-20 mit pneumatischen Betätigungsmechanismen hergestellt. Direktgedichtetes Metallmembran-Ventil ohne Dichtpackung, pneumatisch betrieben Temperatur: Standard Ventilhals Verlängerter Ventilhals Leckage: Innenliegende Leckage Über den Sitz ≤ 1x10-9 atm cc He/Sek (1) Keine Partikel über 0,1µm gefunden. Körper Sitz (eingepresst) Edelstahl, 316L Var oder Vim/Var ** Gleitstück Gleitstückhalter...

drehbares Außengewinde drehbares Innengewinde Oberflächenmontage Außengewinde Die Abmessungen dienen nur zur Referenz und können jederzeit geändert werden. ØJ Ansicht von unten Anschluss B drehbares Innengewinde drehbares Außengewinde HOCHREINE VENTILE *Die M5-Bohrungen sind kompatibel mit 10 – 32 Befestigungsschrauben. HOCHREINE VENTILE

Inline Oberflächenflächenmontage KörpermateBody rial Material Verlängerter Ventilshals Verlängerter Ventilhals mit Lamelle drehbares Innengewinde KartuschenLöcher für Thermoelement und Heizgerät KartuschenLöcher mit Thermoelement und Heizgerät drehbares Außengewinde Außengewinde Port-Kennung – (Sicht von oben) Ventil-Konfiguration Schematisches Fließbild Schematisches Fließbild Schemat. Fließbild Warnung! Die Designer und Benutzer des Systems sind alleine dafür verantwortlich, die für Ihre speziellen Anwendungen geeigneten Produkte auszuwählen und für ihre sichere und problemlose Installation,...

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