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ULTRASCHNELLE MEMBRANVENTILE

ULTRASCHNELLE MEMBRANVENTILE

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ULTRASCHNELLE MEMBRANVENTILE

Zusammenfassung des Produktkatalogs

Übersicht: Das Dokument beschreibt ultraschnelle, hochreine Membranventile, die speziell für Anwendungen in der Atomlagenabscheidung und für schnell wechselnde Anwendungen entwickelt wurden. Diese Ventile sind für hohe Temperaturen und eine lange Lebensdauer ausgelegt.

Hauptmerkmale:

PFA-Sitze für Temperaturen bis zu 200°C.
Einstellbarer Ventilhals zur Durchflussregulierung und Reduzierung des Temperatureffekts (Patent angemeldet).
Pneumatischer Steuerkopf für hohe Lebensdauer und ultraschnelle Reaktionszeiten von weniger als 5 ms.

Materialien:

Körper: Edelstahl 316L Var oder Vim/Var.
Sitz: PFA.
Membrane: Co-Cr-Ni Legierung.
Weitere Komponenten aus Edelstahl und Aluminium.

Spezifikationen:

Struktur: Direktgedichtetes Metallmembran-Ventil ohne Dichtpackung, pneumatisch betrieben.
Druckbereich: Vakuum bis 150 psi (10 bar).
Temperaturbereich: -10 bis 120°C.
Leckage: Sehr geringe Leckageraten, keine Partikel über 0,1µm.
Bedienung: Hochgeschwindigkeit, pneumatisch, normal geschlossen (NC).
CV-Wert: 0.25 / 0.6 (einstellbar).
Ventil-Reaktionszeit: Weniger als 5 ms.

Oberflächenmontage: Das Design entspricht SEMI PR 3.1 für 1.112“ C-Dichtungen und wird gemäß den UHP-Spezifikationen von SEMI F-20 hergestellt.

Abmessungen: Die Abmessungen der Ventile variieren je nach Gehäusegröße und Anschlussart. Details sind in Zoll und Millimeter angegeben.

Warnhinweise: Die Auswahl, Installation und Nutzung der Produkte muss sorgfältig erfolgen, um Schäden oder Verletzungen zu vermeiden.

Bestellinformationen: Optionen für Ventiltyp, Anschlussart, Material und weitere Spezifikationen sind verfügbar, um den spezifischen Anforderungen gerecht zu werden.

Katalogauszüge

HOCHREINE VENTILE ULTRASCHNELLE MEMBRANVENTILE HOCHREINE MEMBRANVENTILE FÜR ATOMLAGENABSCHEIDUNG UND SCHNELLWECHSELNDE ANWENDUNGEN

Katalog auf Seite 1 öffnen

PNEUMATISCH BETÄTIGTES ULTRASCHNELLES IN-LINE VENTIL MIT METALLMEMBRAN Die ultraschnelle Serie wurde für Atomlagenabscheidungs-Anwendungen, mit hoher Taktrate und hoher Temperatur und hochreine Prozesse, die höchste Ansprüche an die Wiederholgenauigkeit stellen, entwickelt. Mit ihrem einzigartigen Durchflussanpassungs-Mechanismus (Patent angemeldet Nr. US61/910,079) ermöglicht diese Serie die Feineinstellung des Durchflusses während des Betriebs. Optional erweiterter Ventilhals und Kühlrippe stellen eine hervorragende Lösung für Hochtemperaturanwendungen dar. SPEZIFIKATIONEN DES IN-LINE VENTILS...

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PNEUMATISCH BETÄTIGTES ULTRASCHNELLES VENTIL MIT METALL-MEMBRAN FÜR OBERFLÄCHENMONTAGE Das Oberflächenmontage-Design entspricht SEMI PR 3.1 für 1.112“ C-Dichtungen. Diese Serie wird gemäß den UHP-Spezifikationen von SEMI F-20 mit pneumatischen Betätigungsmechanismen hergestellt. Direktgedichtetes Metallmembran-Ventil ohne Dichtpackung, pneumatisch betrieben Temperatur: Standard Ventilhals Verlängerter Ventilhals Leckage: Innenliegende Leckage Über den Sitz ≤ 1x10-9 atm cc He/Sek (1) Keine Partikel über 0,1µm gefunden. Körper Sitz (eingepresst) Edelstahl, 316L Var oder Vim/Var ** Gleitstück Gleitstückhalter...

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drehbares Außengewinde drehbares Innengewinde Oberflächenmontage Außengewinde Die Abmessungen dienen nur zur Referenz und können jederzeit geändert werden. ØJ Ansicht von unten Anschluss B drehbares Innengewinde drehbares Außengewinde HOCHREINE VENTILE *Die M5-Bohrungen sind kompatibel mit 10 – 32 Befestigungsschrauben. HOCHREINE VENTILE

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Inline Oberflächenflächenmontage KörpermateBody rial Material Verlängerter Ventilshals Verlängerter Ventilhals mit Lamelle drehbares Innengewinde KartuschenLöcher für Thermoelement und Heizgerät KartuschenLöcher mit Thermoelement und Heizgerät drehbares Außengewinde Außengewinde Port-Kennung – (Sicht von oben) Ventil-Konfiguration Schematisches Fließbild Schematisches Fließbild Schemat. Fließbild Warnung! Die Designer und Benutzer des Systems sind alleine dafür verantwortlich, die für Ihre speziellen Anwendungen geeigneten Produkte auszuwählen und für ihre sichere und problemlose Installation,...

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HOCHREINE VENTILE HOCHREINE VENTILE

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.

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