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Kataloge
Keller Pyrometer Systems
AN Halbleiterindustrie_ID2540_202408_de

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Zusammenfassung des Produktkatalogs

Einleitung
Die Halbleiterindustrie ist ein wachsender Markt mit hohen Anforderungen an Leistung und Produktionskosten. Produkte wie Photovoltaikzellen, Mikrochips, LEDs und Laser erfordern präzise Prozessketten, insbesondere bei der Kristallzüchtung und Wafer-Verarbeitung.

Bedeutung der Temperaturmessung
Die Temperatur ist entscheidend für die Halbleiterproduktion. Optische Temperaturmessung mit Pyrometern ermöglicht eine berührungslose und schnelle Ermittlung der Prozesstemperatur, was für die Vermeidung von Defekten und eine hohe Ausbeute wichtig ist.

KELLER Pyrometer
KELLER ITS bietet spezialisierte Pyrometer für die Halbleiterindustrie an, die über Messbereiche von -30 bis 3.500 °C verfügen und durch Kalibrierung bei Prozesstemperatur langzeitstabil sind.

Prozesse und Lösungen

Kristallzüchtung: Erfordert hochauflösende Optiken und langzeitstabile Sensoren. KELLER bietet Lösungen wie PKF 66 AF 1 und PX 44 AF 4.
Wafer-Verarbeitung: Benötigt Pyrometer mit spektraler Empfindlichkeit unterhalb der Bandlücke und lichtstarke Optiken. Lösungen umfassen PA 38 AF 10 und PK 35 BF 1.

Produktübersicht
Die Pyrometer von KELLER bieten verschiedene Messbereiche und Wellenlängen, angepasst an spezifische Anforderungen der Halbleiterindustrie, wie z.B. spezielle Kalibrierungen für Silizium und SiC.

Vertrieb und Service
KELLER bietet weltweit Vertrieb und Service, mit Standorten in Europa, Asien und anderen Regionen.

Katalogauszüge

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Applikation Halbleiterindustrie Optische Temperaturmessung bei der Kristallzüchtung und der Wafer-Verarbeitung

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Applikationsbericht Halbleiterindustrie Produkte und Prozesse der Halbleiterindustrie Die Halbleiterindustrie ist ein schnell wachsender Markt mit steigenden Anforderungen an die Leistung und Produktionskosten ihrer Produkte, wie beispielsweise Photovoltaikzellen, Mikrochips, LEDs und Laser. Die Prozessketten zur Herstellung dieser Produkte beinhalten die Gewinnung eines reinen Halbleitersubstrats mit einem möglichst fehlerfreien Kristallgitter und dessen weitere Verarbeitung. Diese Weiterverarbeitung umfasst die thermische Behandlung und Beschichtung von Wafern. tung müssen spezifische Temperaturbereiche...

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RTP (Rapid Thermal Processing) PLD (Pulsed Laser Deposition) MBE (Molecular Beam Epitaxy) Prozessanforderungen Halbleiter-Wafer erfordern eine spektrale Empfindlichkeit des Pyrometers unterhalb der Bandlücke lichtstarke Optiken ermöglichen die Messung niedriger Prozesstemperaturen gepulste Laserstrahlung erfordert Sperrfilter und Sensoren, die nicht durch den Laser beeinflusst werden kleine Substrate erfordern eine hochauflösende Optik mit kleinem Messfelddurchmesser beschichtete Substrate erfordern eine kurzwellige spektrale Empfindlichkeit des Pyrometers wechselnde Schichtmaterialien erfordern...

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Hauptsitz Vertrieb und Service-Center Vertrieb im Ausland Keller HCW GmbH Infrared Temperature Solutions (ITS) Carl-Keller-Straße 2 - 10 49479 Ibbenbüren-Laggenbeck Germany Vertrieb und Service-Center Frankreich www.keller.de/its Tel. +33 (0) 951 453050 [email protected] Italien www.giga-tech.it Tel. +39 (0) 296489130 [email protected] Österreich www.sensotec.at Tel. +43 313 551 650 [email protected] Indien www.keller-itsindia.com Tel. +91 (0) 98841 11025 [email protected]

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