ApplikationHalbleiterindustrie Optische Temperaturmessung bei der Kristallzüchtung und der Wafer-Verarbeitung

Die Halbleiterindustrie ist ein schnell wachsender Markt mit steigenden Anforderungen an die Leistung und Produktionskosten ihrer Produkte, wie beispielsweise Photovoltaikzellen, Mikrochips, LEDs und Laser. Die Prozessketten zur Herstellung dieser Produkte beinhalten die Gewinnung eines reinen Halbleitersubstrats mit einem möglichst fehlerfreien Kristallgitter und dessen weitere Verarbeitung. Diese Weiterverarbeitung umfasst die thermische Behandlung und Beschichtung von Wafern. Die Prozesstemperatur ist eine entscheidende Größe für die Halbleiterproduktion. Bei der Kristallzüchtung und der Wafer-Verarbei-...

RTP (Rapid Thermal Processing) MBE (Molecular Beam Epitaxy) Halbleiter-Wafer erfordern eine spektrale Empfindlichkeit des Pyrometers unterhalb der Bandlücke lichtstarke Optiken ermöglichen die Messung niedriger Prozesstemperaturen gepulste Laserstrahlung erfordert Sperrfilter und Sensoren, die nicht durch den Laser beeinflusst werden kleine Substrate erfordern eine hochauflösende Optik mit kleinem Messfelddurchmesser beschichtete Substrate erfordern eine kurzwellige spektrale Empfindlichkeit des Pyrometers wechselnde Schichtmaterialien erfordern große Messspannen mit gleichbleibend hoher Messgenauigkeit...

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