Grundlagen der Vakuumtechnik www.leybold.com Leybold GmbH Bonner Strasse 498 D-50968 Cologne

Vorwort Leybold hat sich als Teil der global agieren en Atlas Copco d Gruppe zum Weltmarktführer im Bereich Vakuumtechnologie entwickelt. In dieser Führungsposition erkennen wir nicht nur Aufgabe und Herausforderung, sondern auch Verantwortung gegenüber unseren Kunden. Diese Broschüre soll, unabhängig von der derzeitigen Leybold Produktpalette, einen leicht lesbaren Über lick über die b gesamte Vakuumtechnik geben. Die angegebenen Diagramme und Daten der Produkte sollen vor allem das Verständnis der tech ischen Funktion vertiefen und sind keine Zusicherung von n Produkteigenschaften. Inhaltlich...

Grundlagen der Vakuumtechnik überarbeitet und zusammengestellt von Dr. Walter Umrath unter Mitwirkung von Dr. Rudolf Bahnen, Dr. Thomas Dreifert, Dr. Hans-Ulrich Haefner, Rainer Hölzer, Dr. Frank Kadi, Elke Mossolff, Herbert Litterscheid, Ruth Rey, Hans Rottländer, Willi Scheer, Frank Schönborn, Dr. Gerhard Voß

2.2 Trockenlaufende Rotations4.1.2 Verdampferpumpen . . . . . . . . . . 76 Verdrängerpumpen, die gegen 4.1.3 Ionen-Zerstäuberpumpen 1.1 Beginn der Vakuumtechnik . . . . . . . 9 Atmosphäre verdichten . . . . . . 34 (IZ-Pumpen) . . . . . . . . . . . . . . . . 76 1.2 Normalbedingungen . . . . . . . . . . . . . 10 2.2.1 Klauenpumpen . . . . . . . . . . . . . . 34 4.1.4 Massivgetterpumpen 1.3 Die atmosphärische Luft . . . . . . . . . . 10 2.2.1.1 Klauenpumpen mit innerer (NEG-Pumpen) . . . . . . . . . . . . . . 78 1.4 Maßsysteme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 Verdichtung für die Halbleiter4.2...

InhaltsverzeichnisI 7.4.1 Allgemeine Eigenschaften von Transmittern . . . . . . . . . . . . . . . 119 7.4.2 Einzel Transmitter (Vakuummeter) . . . . . . . . . . . . . . 120 6 Verbindungselemente – Flansche und Ventile . . 102 7.4.3 Kombinationstransmitter (ITR 90) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120 6.1 Flansche und ihre 7.4.4 Einfluß der Auslesegeräte Abdichtungen . . . . . . . . . . . . . . 102 von Transmittern auf die 6.1.1 Flanschsysteme . . . . . . . . . . . . . 102 Meßunsicherheit . . . . . . . . . . . . 120 6.1.1.1 Kleinflansche . . . . . . . . . . . . . . . 102 7.4.4.1 Digitale...

Kalibrieren von Leckdetektoren, Prüflecks . . . . . . . . . . . . . . . . . . Leckdetektoren mit Quadrupol-MS (Ecotec II) . . . . . . Helium-Leckdetektoren mit 180°-Sektorfeld-MS (L 200, UL 200 (dry), UL 500 (dry)) . . . . . Hauptstrom- und GegenstromLeckdetektor . . . . . . . . . . . . . . . Teilstrombetrieb . . . . . . . . . . . . . Anschluß an Vakuumanlagen . . . . Zeitkonstante . . . . . . . . . . . . . . Grenzwerte / Spezifikationen des Leckdetektors . . . . . . . . . . Lecksuchtechniken mit Helium-Leckdetektoren . . . . . . Sprühtechnik (Lokale Dichtheitsprüfung) . . . . . Schnüffeltechnik...

Inhaltsverzeichnis Berücksichtigung der GasTab 13.14 Explosionsklassen von 16 Literaturverzeichnis . 220 abgabe von den Wänden . . . . 204 Fluiden . . . . . . . . . . . . . . . . . 188 16.1 Übersichten, Definitionen Abb. Tab 13.15 Chemische Beständigkeit ge- 13.11 Sättigungsdampfdruck und Historisches . . . . . . . . . 220 verschiedener Stoffe . . . . . . . 205 bräuchlicher gummielastischer 16.2 Vakuumpumpen . . . . . . . . . 221 Abb. 13.12 Sättigungsdampfdruck von Dichtungswerkstoffe . . . . . . . 189 16.2.1 Verdrängerpumpen;  Treibmitteln für Öl- und QueckTab 13.16a l-Empfehlungen für Trivac-...

Vakuumphysik 1 Vakuumtechnik 1.1 Der Beginn der Vakuumtechnik Um 1650 haben sich weitgehend unabhängig voneinander drei Physiker, Evangelista Torricelli, Blaise Pascal und Otto von Guericke mit der Frage befaßt, ob es einen äußeren Luftdruck gibt und wie groß dieser ist, beziehungsweise was in Behältern geschieht, wenn die Luft aus dem Inneren herausgepumpt wird. Die damals (noch zur Zeit der Inquisition!) herrschende, auf Aristoteles zurückgehende, Lehrmeinung vom „Horror Vacui“ (Scheu vor der Luftleere) machte es schwierig, wenn nicht gar gefährlich so verwegene Gedanken zu äußern und dann...

Abb. 1.4 Der Luftdruck wird gewogen ihm zu Ehren 1 Torr genannt und ist noch heute vor allem in den angloamerikanischen Ländern die übliche Einheit bei der Messung von Vakuum-Drücken. Der Druck einer 760 mm hohen Quecksilbersäule auf die Unterlage ist (spezifisches Gewicht von Quecksilber bei 0 °C: 13,5951 p/cm3 ): 76 cm · 13,5951 p/cm3 = 1033,2276 p/cm2 = 1,03323 kp/cm2 = 1,03323 at beim Übergang vom technischen Maßsystem (at) zum SI-System (Pa) ist mit der Erdbeschleunigung g = 9,81m/s2 zu multiplizieren. Das ergibt: 1,03323 kp/cm2 · 9,81 m/s2 = 10,1325 kp/cm2 · m/s2 und das ergibt wegen umgeformt:...

Tabelle 1.1 Die drei Maßsystme cgs, SI und Technisches Maßsystem Die drei Systeme cgs, SI (mks) und Technisches Maßsystem Die Basiseinheiten sind in Tabelle 1.1 durch Fettdruck hervorgehoben. Bei der Umrechnung zwischen dem cgs-System und dem SI-Maßsystem treten nur glatte Zehnerpotenzen auf. Bei Umrechnung zwischen einem dieser beiden Systeme und dem Technischen Maßsystem tritt neben einer Zehnerpotenz immer auch die Erdbeschleunigung (g = 9,80665 m/s2 ) als Faktor auf. Beachte, daß die Einheiten für Masse im SI-System und für Kraft im Technischen Maßsystem offiziell gleich heißen, nämlich:...

Vakuumphysik Dampfdruck pd Anteiliger Druck der bei Temperatur von flüssigem Stickstoff (LN2) kondensierbaren Dämpfe. Normdruck pn Unter Normdruck pn ver steht man nach DIN 1343 den Druck pn = 1013,25 mbar. Druck p und der thermodynamischen Tem peratur T abhängig gemäß Enddruck pend Der in einem Vakuumbehälter erreichbare niedrigste Druck, der sogenannte Enddruck pend, wird nicht nur vom Saug mögen der ver Pumpe, son dern auch von dem Dampf druck pd der in der Pumpe verwendeten Schmier-, Dichtungs- und Treibmittel mitbestimmt. Wird ein Behälter beispielsweise lediglich mit einer ölgedichteten...