
Einleitung
Die MAG W 600 ist eine Wide-Range Turbo-Molekularpumpe mit aktiver Magnetlagerung und integriertem Wandler, entwickelt von Oerlikon Leybold Vacuum. Sie ist speziell für die Bedürfnisse der Analysentechnik, des Forschungsmarktes sowie der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie konzipiert.
Konstruktionsmerkmale
Die Pumpe kann in beliebiger Einbaulage installiert werden und bietet Hochvakuumanschlüsse in DN 160 oder 200 ISO-K und CF. Sie verfügt über einen Vorvakuumanschluss DN 25 KF und einen Spülgas-/Belüftungsanschluss DN 16 KF. Optional sind Wasser- oder Luftkühlung verfügbar. Die Pumpe ist CE- und RoHS-konform und erfüllt UL-Standards. Zwei Steckplätze für industrielle Kommunikationsmodule sind vorhanden.
Kundennutzen
Die MAG W 600 bietet ein hohes Saugvermögen bei kompakten Abmessungen und setzt neue Maßstäbe bei wartungsfreien Systemen. Sie ist flexibel durch ihr modulares Konzept und eignet sich für Anwendungen in der Analysen- und Dünnschichttechnik sowie in Forschung und Entwicklung.
Vorteile
Die Pumpe verfügt über ein neues Magnetlager- und Antriebssystem, das hohe Zuverlässigkeit und Effizienz bei geringen Vibrationen und Geräuschen bietet. Sie hat eine stabile Systemleistungsfähigkeit mit hohen Saugvermögen und Kompressionsraten für alle Gase. Der integrierte Konverter macht eine konventionelle Lösung mit Tischgerät und Anschlusskabeln überflüssig. Das innovative Schnittstellenkonzept ermöglicht eine einfache Integration in Kundensysteme.
Technische Daten
Die MAG W 600 hat einen Hochvakuumanschluss DN 160 und bietet ein Saugvermögen von 600 l/s für N2, 380 l/s für H2 und 540 l/s für He. Die Kompressionsraten betragen 2,0 x 109 für N2, 3,2 x 103 für H2 und 9,2 x 104 für He. Der maximale Vorvakuumdruck liegt bei 6 mbar und das Gewicht beträgt 17 kg.
Bestellinformation
Die MAG W 600 ist mit verschiedenen Hochvakuumflanschgrößen erhältlich. Zubehör wie Power Supply, Wasserkühlungseinheit, Luftkühlungseinheit und DC Kabel sind ebenfalls verfügbar.
Zentrale Deutschland Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Bonner Straße 498 D-50968 Köln T +49 (0) 221-347-0 F +49 (0) 221-347-1250 [email protected] www.oerlikon.com DN 160 oder 200 ISO-K und CF Hochvakuumanschluss DN 25 KF mit Klammerschuh- Vorvakuumanschluss Spülgas- / Belüftungsanschluss DN 16 KF Klammerschuh Wasser- oder Luftkühlung optional CE- und RoHS konform; UL erfüllt Zwei Steckplätze für industrielle Kommunikationsmodule - Standard 9-Pin 24 V SPS(PLC)-IO - weitere Schnittstellen möglich: Ethernet, ProfiBus, DeviceNet, RS232 / RS485 aktiven 5-Achsen Magnetlagersystem ausgestattet und...
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