UNIVEX Experimentiersysteme für die Herstellung dünner Schichten und zur Weltraumsimulation

Experimentiersysteme Die PVD-Beschichtung (Physical Vapor Deposition) ist als vakuumgestütztes Verfahren ein zentraler Baustein für moderne Prozesse. Bei der Entwicklung neuer Produkte werden geeignete PVDBeschichtungsmethoden und deren Verfahrensparameter experimentell erarbeitet. Die Laborerprobung neuer Verfahren ist dabei ein wesentlicher Bestandteil. Für Beschichtungsexperimente oder in der Pilotproduktion ist daher der Einsatz einer zuverlässigen und professionellen Plattform notwendig. Die Systeme der UNIVEX-Reihe liefern reproduzierbare Ergebnisse - effizient und kostengünstig. UNIVEX-Systeme...

UNIVEX In der industriellen Forschung und Pilotproduktion bewähren sich die Systeme der UNIVEX-Reihe bei Aufgaben der Vakuum-Beschichtungstechnik und Experimenten der VakuumVerfahrenstechnik. UNIVEX sind universell einsetzbare Systeme zur Produktion dünner Schichten und Schichtsystemen im PVD-Verfahren. Das modulare Systemdesign, variable Kammergrößen und ein umfangreiches Zubehörprogramm ermöglichen den Einsatz in den unterschiedlichsten Applikationen. Die UNIVEX-Systemlösungen werden kundenspezifisch auf die individuellen Bedürfnisse ausgelegt. Sie bieten einen hohen Reproduktionsgrad, verbunden...

UNIVEX Systeme Vorteile ■ Universell einsetzbar für fast alle VakuumPVD-Beschichtungsprozesse Einfache Bedienung Kompakte Abmessungen Einfache Umrüstung und Erweiterung Beinhaltet modernste Vakuumtechnik und Steuerungselektronik Die Ziffer in der Bezeichnung der UNIVEX Box Coater Anlagen gibt deren jeweilige Kammerbreite an. UNIVEX G Glove Box Systeme UNIVEX C Cluster Tool

UNIVEX UNIVEX UNIVEX UNIVEX Modulares Anlagenkonzept Anwendungsoptimiertes Pumpsystem Flexibel nutzbare Vakuumkammer Bequemer Zugriff auf Kammereinbauten Die UNIVEX Box-Coater-Anlagen umfassen ein Prozess- und ein Steuermodul Prozessmodul: - Vakuumkammer - Beschichtungskomponenten - Pumpsystem Einfachste Bedienung Unterschiedliche Verdampfungsprozesse in einer Kammer möglich Steuermodul: - SPS, PC-Steuerung - HMI-Visualisierung - Versorgungsgeräte für die Prozesskomponenten kompakte, hoch leistungsfähige Systeme Kompakte Einheit mit direktem Zugriff auf die Prozesskammer Quaderförmige Edelstahlvakuumkammern...

UNIVEX G adaptierbar - an eine Glove Box Ihrer Wahl Komfortabler Prozesszugriff durch die Glove Box über die Frontschiebetür Einfacher Zugang zu den Kammereinbauten über eine rückseitige Servicetür Kundenspezifisches Systemdesign Integration und Nachrüstung von Prozesskomponenten Einfache Bedienung über den farbigen Touchscreen Vakuumbeschichtung von Metallen auf Sauerstoff- bzw. Feuchtigkeitsempfindlichen Substraten oder organisch/biologischen Proben - Organische Photovoltaik (OPV) - Organische Leuchtdioden (OLED) - Flexible organische Elektronik Quaderförmige Edelstahl Vakuumkammern UNIVEX...

Cluster Anlagen Design ■ ■ Zentrales Schleusensystem Zentrale Transferkammer mit Beladeroboter Separate Pumpsysteme für jede Kammer SPS Prozess- und Anlagensteuerung Typische Anwendungen die Cluster Tool Lösung Kundenspezifisches Systemdesign Programmierbarer Prozessablauf mit Rezeptverarbeitung Vollautomatische Prozesssteuerung Ausgezeichnetes Prozessvakuum, geringe Restgaskontamination Komfortable Bedienung durch farbige Touchscreen Steuerung Automatisierte Beschichtungsabläufe in Forschung, Entwicklung und Pilotproduktion Mehrere Kammern für Sputterprozesse an Metallen oder dielektrischen...

Daktyloskopie Weltraumsimulation bewährt in kriminaltechnischen Laboren kundenspezifische Systemlösungen zur Weltraumsimulation Einfach regelbarer, thermischer Beschichtungsprozess Beschichtung von Flächen bis 800 x 400 mm möglich Kurze Zykluszeiten, abhängig vom Material des Spurenträgers Guter Kontrast auf mehrfarbigen Oberflächen Keine Beschädigung des Spurenträgers Metallverdampfungsprozess zum Nachweis von latenten Spuren (Fingerabdrücken) auf großflächigen Spurenträgern, wie Plastiktüten Das System besteht üblicherweise aus einer zylindrischen Vakuumkammer mit Hochvakuumsystem und Versorgungsmodul...