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MICRO-CONTROLE / Spectra-Physics
1600 W Oriel Sonnensimulatoren

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200 Te l e f o n : + 4 9 - ( 0 ) 6 1 5 1 - 7 0 8 - 0 • F a x : + 4 9 - ( 0 ) 6 1 5 1 - 7 0 8 - 9 5 2 L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN ORIEL HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN SONNENSIMULATOREN MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN 1600 W Oriel Sonnensimulatoren 92193 Sonnensimulator 250 750 1250 1750 2250 Sonnensimulator über das gesamte Spektrum UV-Sonnensimulator 0 5 10 15 20 30 35 25 Wellenlänge (nm) Bestrahlungsstärke (W.m-2.nm-1) Abb. 1 – Ausgangsspektrum des 1600 W Sonnensimulators für das komplette Spektrum im Vergleich mit dem Spektrum eines 1600 W UV-Sonnensimulators. Sonnensimulatoren für das komplette Spektrum Wir bieten 6 Modelle des 1600 W Sonnensimulators für das komplette Spektrum an: Fünf dieser Geräte erzeugen einen kollimierten Ausgangsstrahl und eines erzeugt einen divergenten Strahl mit bis zu 305 x 305 mm (12 x 12 Zoll). Für dieses Modell haben wir die kolliminierende Linse durch ein Fenster ersetzt. Tabelle 1 zeigt die typische Ausgangsleistung der kollimierten Modelle in der vorgesehenen Bestrahlungsebene. Tabelle 1 – Typische Ausgangsleistung der Sonnensimulatoren für das komplette Spektrum für Strahlgrößen von 2 x 2 bis 8 x 8 Zoll Verwendeter optionaler Air Mass Filter Typische Ausgangsleistung (W m-2) 2 x 2 Zoll 4 x 4 Zoll 6 x 6 Zoll 8 x 8 Zoll 250 - 2500 nm 250 - 1100 nm 250 - 2500 nm 250 - 1100 nm 250 - 2500 nm 250 - 1100 nm 250 - 2500 nm 250 - 1100 nm AM 1 Direkt 14917 10608 3978 2825 1820 1300 1105 780 AM 1,5 Direkt 13470 9555 3595 2548 1650 1170 985 702 AM 2 Direkt 12675 8840 3380 2365 1560 1092 936 650 AM 1,5 Global 9295 7940 2485 2120 1138 975 683 585 AM 0 17428 12740 4645 3430 2130 1560 1275 930 Ungefilterte Bestrahlung 22256 17810 5935 4745 2730 2185 1625 1300 UV-Sonnensimulatoren Diese Modelle erzeugen sehr intensive UV-Strahlung und eine geringe VIS- und IR-Strahlung. Bei der Arbeit mit diesen Lichtquellen ist besondere Vorsicht erforderlich. Tabelle 2 zeigt die typische Ausgangsleistung (W m-2) des UV-Sonnensimulators 92291, 2 x 2 Zoll. Tabelle 2 – Typische Ausgangsleistung des UV-Sonnensimulators 92291 Optionale UV-Filter Typische Bestrahlungsstärke (W m-2) UVC, unter 280 nm UVB, 280 - 320 nm UVA, 320 - 400 nm Atmosphärischer Filter 0 48 1040 Atmosphärische Filter mit VIS-IR Bandpass- Sperrfilter 0 40 660 UVC-Sperrfilter 0 142 1063 UVB/C-Sperrfilter 0 0,43 836 Ungefilterte Bestrahlung 70 369 1150 Komponenten des Sonnensimulators Das Illuminatorgehäuse Das Illuminatorgehäuse ist temperaturgeregelt und mit einem Sicherheitsverschluss sowie einem Wärmeschutzsystem ausgestattet, um die Sicherheit von Benutzer und System zu gewährleisten. Ein eingebauter Ventilator sorgt für Luftzufuhr und Aufrechterhaltung einer optimalen Betriebstemperatur für Lampe, Optik und Gehäuse. 1000 W Xenon-Bogenlampe Beide Modellreihen von Sonnensimulatoren verwenden eine ozonfreie Lampe, die eine vernachlässigbare Ausgangsleistung unter 260 nm aufweist. Auch ohne Strahlung im tiefen UVBereich emittieren diese Lichtquellen eine gefährliche Dosis an UV-Strahlung. • Oriel Sonnensimulatoren mit höchster Lichtintensität • Kollimierter Ausgangsstrahl mit großer Fläche (bis 254 x 254 mm) • Optionale Air-Mass-Filter formen das Ausgangsspektrum • Diverse Strahlkonfigurationen möglich Dies sind unsere Sonnensimulatoren mit der höchsten Intensität. Sie erzeugen einen hochkollimierten, sehr homogenen Ausgangsstrahl in verschiedenen Größen von 51 x 51 bis 254 x 254 mm (2 x 2 bis 10 x 10 Zoll). Das Spektrum ist dem der Sonne sehr ähnlich. Mit geeigneten Air Mass-Filtern (siehe Seite 206) können mit diesen Lichtquellen viele Tageslichtbedingungen simuliert werden. Angeboten werden Simulatoren für das komplette Spektrum und UV-Sonnensimulatoren. Abb. 1 zeigt das Ausgangsspektrum der beiden Typen.

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201 Email: [email protected] • Web: newport.com L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN ORIEL SONNENSIMULATOREN MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN Netzgerät Das Netzgerät Modell 69922 ist hochstabilisiert und gewährleistet eine sehr stabile Ausgangsstrahlung. Für Anwendungen, bei denen langfristige Stabilität ein entscheidendes Kriterium ist (>8 Stunden), sollte die digitale Beleuchtungssteuerung 68951 (siehe Seite 208) verwendet...

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