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MICRO-CONTROLE / Spectra-Physics
200 - 500 W Xe und Hg(Xe) Oriel Bogenlampe der Research-Serie

200 - 500 W Xe und Hg(Xe) Oriel Bogenlampe der Research-Serie
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96 L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG MONOCHROMATOR- UND HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN FIBER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN 200 - 500 W Xe und Hg(Xe) Oriel Bogenlampen der Research-Serie 66983 Xe-Bogenlampen-Lichtquellen, hier mit Lichtintensitätsregelung 68950. Diese Lichtquellen liefern stabile UV- bis NIR-Strahlung im niedrigen bis mittleren Leistungsbereich. Sie werden für den Betrieb von ausgewählten 200 bis 500 W Xe- und Hg(Xe)-Lampen eingesetzt. Xenon-Lampen emittieren ein relativ glattes Kontinuum im UV-VIS-Bereich und einige sehr intensive Linien im NIR-Bereich. Sie sind als Breitband-Strahlungsquellen gut geeignet. Hg(Xe)-Lampen haben ein Spektrum im UV-Bereich wie Hg-Lampen. Das Spektrum von Hg(Xe)-Lampen im NIRBereich entspricht den Spektren von Xe-Lampen. Die Lichtquellen bestehen aus folgenden Elementen: • Lampengehäuse mit einem Kondensor und einem integrierten Zündgerät, siehe Seite 114 • 69911 Bogenlampen-Netzgerät, siehe Seite 114 • Lampe, siehe Seite 101 • Alle erforderlichen Kabel und komplettes Montagezubehör Wahl der Lichtquelle Wir bieten mehrere 200 - 500 W Xe-Lichtquellen der Research- Serie an, die sich voneinander im verwendeten Kondensor unterscheiden. Tabelle 1 fasst die Wahlmöglichkeiten zusammen. Die neuen asphärischen Kondensoren sind "korrigierte Optiken". Sie korrigieren sphärische und lateral chromatische und minimieren longitudinal chromatische Abbildungsfehler. Tabelle 1 Vergleich der Kondensoren Sicherheitshinweise Diese Lichtquellen emittieren einen gefährlichen Anteil von UVStrahlung und produzieren Ozon. Wenn keine Intensität unterhalb 260 nm benötigt wird, sollte eine ozonfreie Lampe verwendet werden. Ist dies nicht der Fall, muss das Ozon nach außen entlüftet bzw. ein Ozonabsorber Ozone Eater™ verwendet werden (siehe Seite 247). Zum Schutz vor der gefährlichen UV-Strahlung sind Schutzbrillen und Handschuhe zu tragen (siehe Seite 246). • Neue asphärische Kondensoren für hohe Uniformität • Ausgezeichnete Lichtquellen für UV-NIR CW-Strahlung im niedrigen und mittleren Leistungsbereich • Hochstabil, <1% Lichtrestwelligkeit • Hochwirksame Kondensoren mit geringer sphärischer Aberration • Einfacher, sicherer Aufbau und Betrieb Quelle Kondensor-Typ Output Beam Ausgangs- Strahldurchmesser Linsen-Multiplikator* Transmissionsbereich des Linsenmaterials Serien-Größe 66983 F/1,5 Fused Silica, 1 Element Kollimated 33 mm 0,06 200 - 2500 nm 1,5 Zoll 66483 F/2.2, fused silica asphere Kollimated 33 mm 0,05 200 - 2500 nm 1,5 Zoll 66484 F/2.2, fused silica asphere Fokussiert 0.5 - 3 mm (Abhängig von der Lampe) 0,05 200 - 2500 nm 1,5 Zoll 66485 F/1, fused silica asphere Kollimated 33 mm 0,11 200 - 2500 nm 1,5 Zoll 66486 F/1, fused silica asphere Fokussiert 0.5 - 3 mm (Abhängig von der Lampe) 0,11 200 - 2500 nm 1,5 Zoll 66985 F/0,7 Silica-Kronglas Aspherab® 4 Elemente Kollimated 69 mm 0,18 350 - 2500 nm 3 Zoll 66986 F/0,7 Fused Silica Aspherab® 4 Elemente Kollimated 69 mm 0,20 200 - 2500 nm 3 Zoll Telefon: +49-(0) 6151-708-0 • Fax: +49-(0) 6151-708-952 * Berücksichtigt nicht den Beitrag des Rückreflektors von 60%. Formeln und Beispielberechnungen, um die Gesamt-Ausgangsleistung einer Lichtquelle näherungsweise zu berechnen, sind auf Seite 69 zu finden.

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200 - 500 W Xe und Hg(Xe) Oriel Bogenlampe der Research-Serie-2

L i c h t q u e l l e n 97 TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG DEUTERIUM-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN MONOCHROMATOR- UND FIBER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN Bestell-Information Alle Lichtquellen werden mit Lampengehäuse, Netzgerät und den gewünschten Lampen mit passenden Lampenadaptern geliefert. Die gewünschten Lampen sind bei der Bestellung einer Lichtquelle anzugeben. Lichtquellen Ersatzlampen und Lampenadapter Lampen-Typ Modell Modellnr. des passenden Lampenadapters Modell...

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