152 Telefon: +49-(0) 6151-708-0 • Fax: +49-(0) 6151-708-952 L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN Oriel Apex Monochromator-Illuminatoren 70525 Apex-Illuminator für den Betrieb von Bogenlampen, gekoppelt an einen CornerstoneTM 260 1/4 m Monochromator unter Verwendung des Montagesatzes 70632. Als Strahlungsquellen für die Einkopplung in Monochromatoren empfehlen wir unsere Illuminatoren der Apex Serie. Diese Breitband-Lichtquellen emittieren einen fokussierten Strahl, der an das Öffnungsverhältnis von 1/8 m und 1/4 m Monochromatoren angepasst ist. Mit den Apex-Illuminatoren steht eine einfach zu bedienende, kompakte und preisgünstige Lichtquelle zur Abbildung auf einen Monochromator-Eingangsspalt zur Verfügung, ohne dabei Abstriche bei Leistung, Stabilität oder Sicherheit in Kauf nehmen zu müssen. Für den Betrieb von Deuteriumlampen, Bogenlampen, Quarz-Wolfram-Halogenlampen und IR-Elementen bieten wir vier Modellreihen von Apex-Illuminatoren für Monochromatoren an. Betrieb mit integrietem, voreingestelltem Netzgerät verstellbar: 76,2 bis 127 Filterhalter mit 4 Positionen Lampe im Lampenhalter F/4 Fokussierspiegel Abb. 1 – Strahlengang des Apex-Illuminators für Monochromatoren. Funktionsprinzip Abb. 1 zeigt den Strahlengang eines Apex-Illuminators für den Betrieb von Bogenlampen. (Andere Versionen arbeiten auf dieselbe Weise.) Ein Off-axis F/4-korrigierter Spiegel sammelt die Strahlung der Lampe und erzeugt ein vergrößertes Abbild der Strahlungsquelle vor dem Gehäuse. Ein Spiegel wird eingesetzt, um chromatische Aberrationen zu verhindern und eine gute Durchstimmbarkeit der Lichtquelle in Kombination mit einem Monochromator zu gewährleisten. Für eine hohe Reflexion über den Bereich von 200 nm bis 40 mm wird eine AlMgF2-Beschichtung verwendet. Die Apertur des Spiegels passt zum Monochromator- Gitter. Unsere 1/8m und 1/4 m Monochromatoren haben modellabhängige F-Zahlen von 3,7 bis 4,4. Die fokussierte Abbildung der Stahlungsquelle hat einen Abstand von 92,2 mm vor dem Ausgangsflansch des Illuminators (±25 mm). Damit bleibt genügend Platz für den Einbau eines optischen Choppers im Strahlengang. Die Vergrößerung des Spiegels beträgt rund 1,8. 400 500 600 700 800 900 Wellenlänge (nm) Leistung (mW) 0,0 0,2 0,4 0,6 0,8 1,0 1,2 1,4 1,6 1,8 2,0 Monochromator Bandpass 6273 100 W Xenon 100 W QTH Abb. 2 – Abgegebene Leistung nach Durchgang eines 1/8 m Cornerstone™ 130 Monochromator unter Verwendung eines Gitters mit 350 nm Blaze-Wellenlänge und 1,56 mm Spalten (10 nm Bandbreite) bei Beleuchtung mit einem 70524 100 W Xe Apex-Illuminator und 70528 100 W QTH Apex-Illuminator. • Systeme für den Betrieb von Deuterium-, Bogenlampen-, Quarz-Wolfram-Halogen- und Infrarot-Lichtquellen • Voll integriert, kompakt, preisgünstig und bedienerfreundlich • Netzgerät werksseitig eingestellt – keine Einstellung von Strom oder Spannung erforderlich • Eingebauter Filterhalter mit 4 Filterplätzen • Fokussierter Strahl – angepasst an 1/8 m und 1/4 m Monochromatoren und Spektrographen Apex-Illuminatoren sind voll integrierte Geräte – das Netzgerät, das Zündgerät (bei Modellen für den Betrieb von Bogenlampen), Filterhalter und Optik sind in einem einzigen Gehäuse untergebracht. Die Strahlungsquellen werden mit einem werksseitig eingestellten Netzgerät geliefert, welches die ausgewählte Lampe mit den passenden Strom- und Spannungswerten betreibt. Da diese Systeme für eine bestimmte Lampe voreingestellt werden, ist ein Wechsel des Lampentyps (außer bei Deuteriumsystemen) nicht möglich, die Lampe (oder das IR-Element) kann aber bei oder nach Erreichen der typischen Lebensdauer ausgetauscht werden.

153 Email: [email protected] • Web: newport.com L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN 19 Apex-Illuminatoren stehen zur Auswahl Es werden vier Modellreihen von Apex-Illuminatoren für Monochromatoren angeboten, mit mehreren Modellen in jeder Reihe. Tabelle 1 zeigt die verfügbaren Lichtquellen. Ozonfreie Modelle sind Standard Die Modelle für den Betrieb von Bogenlampen...

154 L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN Optischen Chopper in eingeschlossenem Strahlengang montieren Der Fokus unserer Apex Illuminatoren liegt 92 mm vor dem Ausgangsflansch des Gehäuses. Dieser Zwischenraum ermöglicht den Einbau eines optischen Choppers in den Strahlengang. Der Chopper wird direkt auf dem Ausgangsflansch des Illuminators montiert. Wenn kein optischer...

155 Email: [email protected] • Web: newport.com L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN Ersatzlampen/Ersatzelement Lamp/Element Type Modell 30 W, hohe Uniformität, Ozon-frei 70620 30 W, hohe Bestrahlungsstärke, Ozon-frei 70621 30 W, hohe Bestrahlungsstärke und Stabilität, Ozon-frei 70622 30 W, hohe Uniformität, breitbandig 70623 30 W, hohe Bestrahlungsstärke, breitbandig...