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MICRO-CONTROLE / Spectra-Physics
Oriel Apex Quarz-Wolfram-Halogenlichtquellen

Oriel Apex Quarz-Wolfram-Halogenlichtquellen

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Oriel Apex Quarz-Wolfram-Halogenlichtquellen

Zusammenfassung des Produktkatalogs

Einleitung
Das Dokument bietet technische Informationen zu verschiedenen Lichtquellen, die zur Kalibrierung und in der Photolithographie eingesetzt werden. Es werden insbesondere die Oriel Apex Quarz-Wolfram-Halogenlichtquellen beschrieben.

Hauptmerkmale der Apex-Lichtquellen

Die Apex-Serie bietet "Plug and Play"-Lichtquellen für VIS-NIR-Strahlung.
Integriertes Gehäuse mit Lampe, Elektronik und Kondensoroptik.
Kein Bedarf an Lampenjustierungen oder Spannungsregelung.
Speziell für Forschungslabore und Systemintegratoren entwickelt.

Funktionsprinzip
Eine asphärische Fused Silica Linse sammelt und kollimiert die Strahlung der Lampe, was zu einem hochkollimierten Strahl mit einem Durchmesser von 33 mm führt. Zubehör kann an den 1,5-Zoll-Flansch des Apex-Gehäuses angeschlossen werden.

Sicherheitshinweise
Quarz-Wolfram-Halogenlampen emittieren UV-Strahlung. Schutzbrillen, Handschuhe und Schutzkleidung sollten in der Nähe dieser Lichtquellen getragen werden.

Technische Daten

Ausgangs-Strahldurchmesser: 33 mm
Strahl-Uniformität: ±5 %
Welligkeit des Lichts: <0,5 % r.m.s.
Spannungsregelung: 0,1 %
Netzspannung: 95-132 V/2A oder 190-264 V/1A bei 50-60 Hz

Bestellinformationen
Es werden verschiedene Modelle der Apex QTH-Lichtquellen angeboten, die sich durch den Kondensor und die Strahldivergenz unterscheiden. Ersatz-Halogenlampen sind ebenfalls erhältlich.

Vergleich der Kondensoren
Die Tabelle im Dokument vergleicht verschiedene Kondensoren hinsichtlich ihrer Eigenschaften wie Strahldivergenz und Transmissionsbereich des Linsenmaterials.

Katalogauszüge

Oriel Apex Quarz-Wolfram-Halogenlichtquellen-1

L i c h t q u e l l e n 125 TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG DEUTERIUM-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN MONOCHROMATOR- UND FIBER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN Oriel Apex Quarz-Wolfram-Halogenlichtquellen 66460 Apex QTH-Lichtquelle. Neu! Oriel Apex Lichtquellen mit Rückreflektor sind jetzt erhältlich. Der Rückreflektor sammelt einen Teil der rückwärts reflektierten Strahlung und schickt sie zum Ausgang, wodurch bis zu 60% mehr Lichtdurchsatz erreichbar wird. Die neue Apex-Serie von Quarz-Wolfram-Halogensystemen von Newport sind "Plug and Play"-Lichtquellen für VIS-NIR-Strahlung. Diese Lichtquellen sind in einem Gehäuse integriert – die Lampe, die Elektronik und die Kondensoroptik befinden sich in einem einzigen Gehäuse. Die Lampe ist in einem vorjustierten Lampenadapter eingebaut - daher besteht kein Bedarf an Lampenjustierungen. Das Netzgerät ist für die jeweilige Lampe voreingestellt, daher muss der Strom und die Spannung nicht geregelt werden. Sie installieren einfach die Lampe und schalten die Lichtquelle ein. Diese Systeme wurden speziell für Anwendungen von Forschungslaboren und Systemintegratoren entwickelt, die eine Regulierung der Lampenleistung und die Flexibilität unserer modularen Systeme nicht benötigen. Lichtquellen-Modelle Für den Betrieb dieser Lampen Auswechselbare Lampen Einsetzbar mit Lichtintensitätssteuerung PC-gesteuert Apex 10 - 100 W 66310 Serie 10 - 20 W X Q-Serie 10 - 100 W X X X PhotoMax™ 10 - 100 W X X X Simplicity Serie 50 - 1000 W Research Serie 50 - 1000 W X X X Funktionsprinzip Abb. 1 zeigt den einfachen Strahlengang einer Apex Quarz- Wolfram-Halogen-Lichtquelle. Eine asphärische Fused Silica Linse sammelt die Strahlung der Lampe und kollimiert sie. Ein hochkollimierter Strahl mit einem Durchmesser von 33 mm ist das Ergebnis. Mit unseren Fokussierlinsen lässt sich dieser Strahl (Beschreibung auf Seite 237) wieder fokussieren. Zur Einkopplung in eine Faser bieten wir unseren Apex-Illuminator an (Seite 157). Dieser Apex-Illuminator produziert einen auf unsere Fused Silica Fasern angepassten fokussierten Strahl. Zubehör mit einem 1,5 Zoll-Flansch-System (male) kann an den 1,5-Zoll-Flansch (female) des Apex-Gehäuses angeschlossen werden. Sicherheitshinweise Quarz-Wolfram-Halogenlampen geben UV-Strahlung ab. In der Nähe dieser UV-emittierenden Lichtquelle sollten daher Schutzbrillen, Handschuhe und Schutzkleidung getragen werden. Wir bieten Schutzbrillen und Handschuhe an (siehe Seite 246). asphärische Linse aus Fused Silica Quarz-Wolfram- Halogen-Lampe Abb. 1 - Aufbauskizze der Apex-QTH-Lichtquelle 279 178 102 6 253 229 301 Montageplatte Bohrung: 4 Bohrungen Ø 6,7 höhenverstellbar: 13 bis 29 Abb. 2 – Darstellung von Apex QTH-Lichtquellen mit Abmessungen • Neu! Oriel Apex Lichtquellen mit Rückreflektor sind jetzt erhältlich • Bedienerfreundliche, kostengünstige VIS-NIR-Lichtquellen • Betrieb mit Quarz-Wolfram-Halogenlampen von 10 bis 100 W • Hochkollimierte Ausgangsstrahlen mit 33 mm Durchmesser • Betrieb mit integriertem, voreingestelltem Netzteil - keine Einstellung von Spannung oder Strom erforderlich Email: [email protected] • Web: newport.com

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Oriel Apex Quarz-Wolfram-Halogenlichtquellen-2

126 L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG MONOCHROMATOR- UND HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN FIBER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN Telefon: + 49-(0) 6151-708-0 • Fax: + 49-(0) 6151-708-952 Technische Daten Ausgangs-Strahldurchmesser 33 mm Linsen-Multiplikator* 0,05 Strahl-Uniformität ±5 % Welligkeit des Lichts <0,5 % r.m.s. Spannungsregelung 0,1 % Netzspannung (AC) 95- 132 V/2A 190 - 264 V/1A 50 - 60 Hz * Der Umrechnungsfaktor ist ein gemessener Parameter...

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