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Oriel Aspherab® Kondensoren

Oriel Aspherab® Kondensoren

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Oriel Aspherab® Kondensoren

Zusammenfassung des Produktkatalogs

Technische Informationen zu Lichtquellen: Der Bericht behandelt verschiedene Lichtquellen und deren Zubehör, insbesondere für Kalibrierungszwecke. Es werden Deuterium-, Halogen- und Bogenlichtquellen sowie Instrumente für die Photolithographie und Sonnensimulatoren von Oriel vorgestellt.

Aspherab®-Kondensoren: Diese Kondensoren zeichnen sich durch geringe sphärische Aberration und hohe Sammeleffizienz aus. Sie bestehen aus vier Elementen, die das Licht kollimieren und die sphärische Aberration ausgleichen. Die Kondensoren sind hitzebeständig und eignen sich für intensive Strahlung.

Fokussierung und Kollimierung: Abbildung 1 zeigt die Anwendungen eines Linsensystems zur Fokussierung und Kollimierung von Licht. Die Aspherab®-Kondensoren erzeugen kollimierte Strahlen oder punktförmige Abbildungen und sind beständig gegen Wärmeschock.

Modelle und Spezifikationen: Vier Modelle der Aspherab®-Kondensoren sind verfügbar, die sich in Material und Brennweite unterscheiden. Tabelle 1 listet die Modelle mit ihren Spezifikationen, wie Öffnungsverhältnis, Material, Spektralbereich und maximalem Lampendurchmesser.

Bestellinformationen: Tabelle 2 enthält Details zu den Kondensoren, einschließlich Brennweite und Arbeitsabstand. Die Modelle sind für verschiedene Anwendungen optimiert, abhängig von der Lampenleistung und dem Durchmesser des Lampenkolbens.

Katalogauszüge

231 Email: [email protected] • Web: newport.com L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ORIEL SONNENSIMULATOREN MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN 66061® Aspherab in einer Halterung 66112 Geringfügige sphärische Aberration und hohe Sammeleffizienz sind die wesentlichen Vorteile unserer Aspherab®-Kondensoren. Die Aspherab®-Kondensoren enthalten Linsensysteme aus vier Elementen für die Kollimierung oder Abbildung von sehr intensiver Breitbandstrahlung. Die Aspherab®-Kondensoren haben einen Luftspalt zwischen den einzelnen Linsen und eignen sich daher für hohe Leistungen. Auch Einschränkungen im Spektralbereich, die bei Verwendung von Epoxid auftreten, werden daurch vermieden. Geringe sphärische Aberration Aspherab®-Kondensoren bestehen aus vier Elementen. Drei positive Elemente kollimieren das gesammelte Licht, ein negatives Element gleicht die sphärische Aberration der positiven Elemente aus. Die Elemente sind in einem Tubus mit einem Durchmesser von 86 mm eingebaut. Die Apertur der meisten Kondensoren beträgt 69 mm. Die Rückplatte des Linsenhalters ist aus Keramik. Keramik ist gegen die hohen Temperaturen von Bogenlampen und Quarz-Wolfram-Halogenlampen bis 1000 W beständig. (a) Fokussierung von Licht achsparallele Brennebene (b) Kollimierung von Licht A A B B C C D 250 mm D Linse Fokusgröße bei (a) Fokusgröße bei (b) (mm) (mm) A ideale Linse 0 0,4 B Aspherab® 0,03 0,6 C Optimierter Kondensor, 2-Elemente 1,5 10 D Standard-Kondensor, 2-Elemente 10 40 Abb. 1 – Zwei Anwendungen eines Linsensystems. In (a) wird ein ideal paralleler Strahl fokussiert. In (b) wird Licht aus einer Punktlichtquelle gesammelt und dann mit einer Linse mit 250 mm Brennweite fokussiert. Die Flächen der Mindestfokusgröße werden gezeigt. • Hohe Sammeleffizienz mit geringfügiger sphärischer Aberration • Erzeugt kollimierte Strahlen mit großem Durchmesser oder kleine, punktförmige Abbildungen • Beständig gegen Wärmeschock und intensive Strahlen von Bogenlampen • Fused Silica-Modelle transmittieren bis herunter auf 200 nm Oriel Aspherab® Kondensoren

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232 L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN INSTRUMENTE FÜR DIE HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN PHOTOLITHOGRAPHIE ORIEL SONNENSIMULATOREN MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN Wahl des Aspherab®-Kondensors Vier Aspherab®-Kondensoren sind verfügbar, die sich in Material und Brennweite der Linsenelemente unterscheiden. Tabelle 2 enthält eine Liste dieser Modelle. Wenn ein Aspherab®-Kondensor mit einem Oriel Lampengehäuse von Newport verwendet werden soll, muss der Durchmesser des Lampenkolbens und...

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