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Oriel Bogenlampen der Q-Serie

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87 Email: germany@newport.com • Web: newport.com L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG DEUTERIUM-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN MONOCHROMATOR- UND FIBER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN Bestell-Information Apex-Bogenlichtquellen * Für den Ersatz einer ozonfreien Lampe durch eine ozonfreisetzende Lampe wenden Sie sich bitte an unsere Vertriebsingenieure. Ersatzlampen Lampen-Typ Effektive Bogen-Größe B x H (mm) Modell 75 W Xe 1,0 x 1,5 6247 75 W Xe, Ozon-frei 0,25 x 0,5 6263 100 W Xe, Ozon-frei 0,4 x 0,8 6257 150 W Xe, Ozon-frei 0,5 x 2,2 6255 200 W Hg(Xe), Ozon-frei 0,5 x 1,5 6292 50 W Hg 0,2 x 0,35 6282 100 W Hg 0,25 x 0,25 6281 200 W Hg 0,6 x 2,2 6283NS 200 W EmArc™ , metall. Bogen 0,3 x 1,0 6297 Oriel Bogenlampen der Q-Serie Bogenlampe Modell 66056 Q-Serie Netzgerät Das Netzgerät 69907 ist eine hochstabile Konstantstrom- oder Konstantleistungs-Quelle für Bogenlampen mit niedrigerer Leistung. In Kombination mit einem Gehäuse der Q-Serie ist die Lichtrestwelligkeit geringer als 0,1% rms. Außerdem weist das Modell eine Reihe nützlicher Merkmale auf: Auswahl der Lichtquelle In Tabelle 1 sind Hinweise für die richtige Auswahl der Lichtquelle zusammengestellt. Die Auswahl hängt vom gewünschten Spektralbereich und den Anforderungen an den Ausgangsstrahl ab. Tabelle 1: Kondensoren für das Lampenhaus der Q-Serie Modell Kondensor-Typ Öffnungsverhältnis Linsenmaterial Linsen-Multiplikator* Transmissionsbereich des Linsenmaterials 60056 Kollimierend F/1,5 UV Fused Silica 0,06 200 - 2500 60063 Kollimierend F/0,85 Pyrex® 0,13 350 - 2500 60064 Kollimierend F/1 UV Fused Silica 0,11 200 - 2500 60069 Fokussierend F/2,2 UV Fused Silica 0,05 200 - 2500 Die Modelle der Q-Serie sind aus gutem Grund unsere beliebtesten Bogenlampen mit geringer Leistung: Sie sind vielseitig, einfach zu bedienen, hochstabil und preisgünstig. Wir bieten vier Bogenlampen-Modelle der Q-Serie an: Der Unterschied liegt in der verwendeten Kondensoroptik. Einige Kondensoren sind für die Erzeugung eines kollimierten Strahls vorgesehen, können aber auch so positioniert werden, dass sie einen divergenten oder konvergenten Strahl ergeben. Wir bieten auch Modelle mit einem fokussierenden Kondensor an. Alle Modelle sind mit einem 1,5 Zoll-Flansch (female) ausgestattet. Diese Systeme enthalten alles, was für den sofortigen Betrieb erforderlich ist. Sie werden für den Betrieb mit Hg- und Xe-Bogenlampen von 50 bis 100 W eingesetzt. Daten für diese Lampen sind unseren spektralen Bestrahlungsstärke-Kurven (siehe Seite 62) zu entnehmen. * Berücksichtigt nicht den Beitrag durch den Rückreflektor von 60%. Formeln und Beispielberechnungen zur Gesamtausgangsleistung einer Lichtquelle finden Sie auf Seite 62. • Neue aspherische Kondensoren für hohe Uniformität • Kostengünstige, vielseitige UV-NIR CW-Lichtquellen mit niedriger Leistung • Konvektionsgekühltes Lampengehäuse gewährleistet stabilen Lichtstrom • Bis zu vier Ausgangsports ermöglichen die gleichzeitige Beleuchtung mehrerer Proben Typ Strahldivergenz (Halbwinkel) Modell Apex Lichtquellen mit Rückreflektor 75 W Xe, Hohe Stabilität 0,52° 66450 75 W Xe, Ozon-Frei* 0,18° 66451 100 W Xe, Ozon-Frei* 0,29° 66452 50 W Hg 0,13° 66455 100 W Hg 0,10° 66456 150 W Xe Ozon-Frei* 0,78° 66453 200 W Hg(Xe), Ozon-Frei* 0,53° 66454 200 W Hg 0,78° 66457 200 W EmArc™ , metall. Bogen 0,35° 66458 Standard Apex Lichtquellen 75 W Xe, Hohe Stabilität 0,52° 66450 75 W Xe, Ozon-Frei* 0,18° 66451 100 W Xe, Ozon-Frei* 0,29° 66452 150 W Xe Ozon-Frei* 0,78° 66453 200 W Hg(Xe), Ozon-Frei* 0,53° 66454 50 W Hg 0,13° 66455 100 W Hg 0,10° 66456 200 W Hg 0,78° 66457 200 W EmArc™ , metall. Bogen 0,35° 66458

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88 L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG MONOCHROMATOR- UND HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN FIBER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN Sicherheitshinweise Bogenlampen emittieren potenziell gefährliche UV-Strahlung. Wir empfehlen, bei der Arbeit mit diesen Lichtquellen UVSchutzbrillen oder Sichtschutz und Handschuhe zu tragen. Für Hinweise zur UV-Sicherheitsausrüstung siehe Seite 246. Bestell-Information Komplette Lichtquellen Diese Lichtquellen enthalten...

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