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Oriel Deuteriumlampen
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82 L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG MONOCHROMATOR- UND HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN FIBER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN Deuteriumlampen sind Lichtquellen hoher UV-Intensität mit Wellenlängen bis zu 160 nm (bei einigen Modellen). Die Emission im Sichtbaren und im IR ist vernachlässigbar. Deuteriumlampen sind ideale Lichtquellen für die UVSpektroskopie und werden als spektrale Bestrahlungsstärke- Standards im UV verwendet. Auswahl an Lampen 63161 Gleichförmige Intensitätsverteilung, ozonfrei • Emission bis herunter zu 180 nm • Sehr homogener Strahl 63162 Gleichförmige Intensitätsverteilung, breitbandig • Emission bis herunter zu 160 nm • Sehr homogener Strahl 63163 Hohe Bestrahlungsstärke, breitbandig • Emission bis herunter zu 160 nm • Sehr kleiner Lichtbogen, hohe Intensität 63164 Hohe Bestrahlungsstärke, ozonfrei • Emission bis herunter zu 180 nm • Sehr kleiner Lichtbogen, hohe Intensität 63165 Hohe Bestrahlungsstärke und Stabilität, ozonfrei • Emission bis herunter zu 180 nm • Gleichförmige Strahlverteilung und kleiner Lichtbogen 63945 Kalibrierte Lampe • Emission bis herunter zu 180 nm • Kalibrierdaten für Spektralbereich 200 - 400 nm verfügbar 63946 Nicht kalibrierte Lampe • Emission bis herunter zu 180 nm • Einsetzbar für die Definition eigener Kalibrier-Standards 200 300 400 500 600 700 800 Wellenlänge (nm) 63163 30 W D2 hohe Bestrahlung gesamtes Spektrum 63164 30 W D2 hohe Bestrahlung ozonfrei 63165 30 W D2 hohe Bestrahlung/Stabilität ozonfrei 63162, 63945, 63946 30 W D2 hohe Gleichförmigkeit gesamtes Spektrum 63161 30 W D2 hohe Gleichförmigkeit ozonfrei 0,01 0,001 0,1 1,0 Bestrahlungsstärke auf 0,5 m (mW.m-2.nm-1) Abb. 1: Spektrale Bestrahlungsstärke von Deuteriumlampen Welches Modell soll gewählt werden? Die Auswahl richtet sich zunächst nach der kürzesten benötigten Wellenlänge. Wenn nicht unterhalb 180 nm gearbeitet wird, sollte die Wahl auf eine ozonfreie Lampe fallen (unter “ozonfrei” wird hier “ozonreduziert” verstanden). Die Lampen mit hoher Bestrahlungsstärke haben einen sehr kleinen Bogen von 0,5 mm. Sie erzeugen die höchste Bestrahlungsstärke und auch die höchste Strahldichte, sind aber teurer als die Lampen mit gleichförmiger Intensitätsverteilung. Sicherheitshinweise Deuteriumlampen emittieren intensive ultraviolette Strahlung. Es sind daher immer Schutzbrillen, Schutzkleidung und Schutzhandschuhe zu tragen, wenn in der Nähe dieser Lampen gearbeitet wird (siehe Seite 246 mit Hinweisen zur UVSicherheitsausrüstung). • Hohe UV-Intensität mit minimalem VIS- und IR-Anteil • Ozonfreie Modelle verringern Ozonprobleme • Kleine Lichtbögen, 0,5 und 1,0 mm Technische Daten Heizspannung 10 V Anodenspannung 60 - 90 V Nomineller Strom 300 mA Telefon: +49-(0) 6151-708-0 • Fax: +49-(0) 6151-708-952 Oriel Deuteriumlampen Diverse Deuteriumlampen

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83 Email: [email protected] • Web: newport.com L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG DEUTERIUM-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN MONOCHROMATOR- UND FIBER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN Bestell-Information Lampen-Typ Bogen-Durchmesser (mm) Material (Kolben) Lebensdauer, durchschn.* (Stunden) Modell** Hohe Uniformität, Ozon-frei 1,0 UV-Glas 1200 63161 Hohe Uniformität, breitbandig 1,0 Synthetischer Quarz 1400 63162 Hohe Strahlungsdichte, breitbandig 0,5 Synthetischer...

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