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Oriel Flutbelichtungsquellen

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218 Telefon: +49-(0) 6151-708-0 • Fax: +49-(0) 6151-708-952 L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN INSTRUMENTE FÜR DIE HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN PHOTOLITHOGRAPHIE ORIEL SONNENSIMULATOREN MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN Oriel Flutbelichtungsquellen 97436 500 W Oriel Flutbelichtungsquelle, 6 x 6 Zoll (152,4 x 152,4 mm) Strahlgröße (241,30 mm hoher Sockel nicht abgebildet) Wir bieten Flutbelichtungsquellen mit 500 und 1000 W für nahes UV (NUV: 350 - 450 nm), mittleres UV (MUV: 260 - 320 nm) und tiefes UV (DUV: 220 - 260 nm) an. NUV wird für die Belichtung der meisten Fotolacke, MUV für Polymervernetzung und neuere Fotolacke und DUV für Untersuchungen im DUV verwendet. Unsere Illuminatoren bestrahlen Proben von 2,13 x 2,13 Zoll bis 10 x 10 Zoll (54 x 54 bis 254 x 254 mm). Spektralbereiche Das Ausgangsspektrum des Illuminators wird durch drei Faktoren bestimmt: • Lampentyp • Dichroitischer Spiegel • Kollimierlinse absorbierende Wärmesenke 45° 45° Spiegel dichroitischer Spiegel ellipsoider Reflektor Lampe proprietärer Strahlhomogenisator Shutter Kollimationslinse Abb. 1 – Optische Konfiguration der 500 W Flutbelichtungsquelle Modell 97436 von Oriel mit einer Strahlgröße von 6 x 6 Komponenten eines Oriel Flutbelichtungssystems Illuminatorgehäuse Abb. 1 zeigt den Strahlengang des Illuminators. Ein hochwirksamer elliptischer Reflektor, der mit AlSiO für NUV Anwendungen oder mit Rhodium für MUV und DUV Systeme beschichtet ist, sammelt bis zu 70% der Ausgangsleistung der Bogenlampe. Ein primärer dichroitischer Spiegel mit 45° Reflexionsneigung spiegelt das Licht, bevor es einen von Newport entwickelten Strahlhomogenisierer passiert hat. Ein Verschluss kann manuell mit einem Schalter an der Gehäuseseite oder über den Handschalter 68955 geöffnet und geschlossen werden. Eine automatische Steuerung der Bestrahlungszeit ist mit der digitalen Belichtungssteuerung 68945 oder dem Digitalzeitgeber 68945 möglich (siehe Seite 208). Auf Anfrage kann das Gehäuse auch mit Kabelanschluss versehen werden, um den Verschluss computergesteuert auslösen zu können. Jedes Gehäuse ist mit drei Sicherheitseinrichtungen ausgestattet. Wenn die Abdeckung des Gehäuses geöffnet wird, unterbricht ein elektronischer Sicherheitsschalter automatisch die Stromversorgung des Systems. Dadurch wird verhindert, dass anwesende Personen der Strahlung ausgesetzt werden. Ein thermischer Schutzschalter schaltet das System ab, wenn die Temperatur über das Limit für einen sicheren Betrieb ansteigt. Ein dritter Schutzschalter schaltet das System bei Ausfall des Kühlsystem der Lampe ab. Auf Seite 208 finden sich Abbildungen mit den Abmessungen aller Illuminatorgehäuse. • Ausgangsstrahlung hoher Intensität • Homogene, großflächige und kollimierte Strahlen • Wirksame Ausfilterung der Strahlung außerhalb des gewünschten Wellenlängenbereiches • Zeitgesteuerte Belichtungen NUV Lichtquellen werden mit einer Hg Lampe betrieben. Die BK 7 Glaslinse ist unter 350 nm nicht transparent. Die verwendeten dichroitischen Spiegeln sind auf diesen Wellenlängenbereich angepasst. MUV und DUV Lichtquellen werden mit HgXe Lampen betrieben, benutzen eine für UV geeignete Fused Silica Linse (die am kurzwelligen Ende bis zu 200 nm transmittiert) und verfügen über geeignete dichroitische Spiegel. Wenn bei einer Anwendung in allen UV Bereichen gearbeitet werden muss, sollte eine DUV Quelle mit zusätzlichen dichroitischen Spiegeln für die jeweiligen Bereiche gewählt werden.

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L i c h t q u e l l e n 219 TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ORIEL SONNENSIMULATOREN MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN Lampe Die NUV Lichtquellen werden mit Hg Kurzbogenlampen betrieben. Sie enthalten eine genau bemessene Menge Quecksilber und Xenon oder Argon als Startgas. Starke Hg Linien im ultravioletten und sichtbaren Wellenbereich dominieren das Ausgangsspektrum dieser Lampen. Aufgrund der 365 nm Linie sind sie ideal für den Einsatz...

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220 L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN INSTRUMENTE FÜR DIE HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN PHOTOLITHOGRAPHIE ORIEL SONNENSIMULATOREN MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN Bestell-Information Lichtquellen für die Flutbelichtung Hinweis: Diese Zahlen sind Nennwerte. Sie basieren auf integrierten radiometrischen Spektralmessungen ähnlicher Lichtquellen. Sie entsprechen nicht notwendigerweise Messwerten diverser breitbandiger Instrumente mit unterschiedlichem spektralem Ansprechverhalten. Strahlhomogenität:...

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