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MICRO-CONTROLE / Spectra-Physics
Oriel Kalibrierte Lichtquellen Kalibrier-Service

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72 Telefon: +49-(0) 6151-708-0 • Fax: +49-(0) 6151-708-952 L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG ORIEL HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN Oriel Kalibrierte Lichtquellen Kalibrier-Service 63945 Kalibrierte Deuteriumlampe Diese auf NIST rückführbaren kalibrierten Lampen sind zuverlässige Quellen für definierte spektrale Bestrahlungstärke im UV- und VIS-NIR-Bereich. Diese Systeme werden zur Kalibrierung von Lichtquellen oder zur Übertragung unserer NIST-rückführbaren Kalibrierung auf Detektionssysteme eingesetzt. Wir bieten Deuterium- und Quarz-Wolfram- Halogen(QTH)-Bestrahlungsstärke-Standards als Einzellampen und komplette Lichtquellen an, die ein radiometrisches Netzgerät, einen Lampenhalter und eine Lampe (mit Kalibrierdaten) beinhalten. NIST-Rückführbarkeit Alle unsere kalibrierten Lampen werden sorgfältig gemessen und geprüft. Lampen werden gegebenenfalls vorbehandelt und ausgewählt. Die Messungen der Bestrahlungsstärke werden in unserem speziell dafür ausgestatteten Kalibrierlabor aufgezeichnet. In den USA stellt das National Institute of Standards and Technology (NIST) Original-Unsicherheiten für seine Standardlampen bereit. Diese variieren nach Wellenlänge und Lampenaufbau. Im Vergleich zu den Unsicherheiten der NIST-Standards wird während unseres Messverfahrens eine weitere, kleine Unsicherheit eingeführt. Tabelle 1 und 2 zeigen die Unsicherheitswerte (NIST und Newport) für die 1000 W Quarz-Wolfram-Halogenlampe und 30 W Deuteriumlampe. Tabelle 1: k = 2 Unsicherheitswerte für 63978 1000 W Quarz-Wolfram-Halogenlichtquelle Wellenlänge (nm) Angenäherte NISTUnsicherheit (%) Angenäherte Newport Unsicherheit* (%) 250 2.23 2.8 350 1.35 2.5 654.6 1,01 2.5 900 1.34 2.5 1300 1.42 2.5 1600 1.89 2.8 2000 3.29 2.8 2400 6.50 2.8 * Zusätzliche Unsicherheit aufgrund der Kalibrierungsübertragung. Bemerkung: Die Unsicherheitswerte können mit der Zeit schwanken. Tabelle 2: k = 2 Unsicherheitswerte für 63979 30 W Deuterium-Lichtquelle Wellenlänge (nm) Angenäherte NISTUnsicherheit (%) Angenäherte Newport Unsicherheit* (%) 200 1.1 3.0 210 1.0 3.0 250 1.0 3.0 350 1.0 3.0 * Zusätzliche Unsicherheit aufgrund der Kalibrierungsübertragung. Bemerkung: Die Unsicherheitswerte können mit der Zeit schwanken. Erstellung eigener Standards Lampen haben eine begrenzte Lebensdauer. Wenn sie häufig eingesetzt werden, empfiehlt es sich, eine oder mehrere nichtkalibrierte Lampen zu kaufen, um eigene Arbeitsstandards zu erstellen. Welche Lichtquelle sollte gewählt werden? Wir bieten drei Typen von kalibrierten Lichtquellen als Bestrahlungsstärke-Standards an: Kalibrierte Quarz-Wolfram-Halogenlampen (QTH) • Kalibrierbereich 250 - 2400 nm oder 300 - 2400 nm (lampenabhängig) • Erhältlich als 45 W-, 200 W- und 1000 W-Version Kalibrierte Deuterium-Lichtquellen • Kalibrierbereich 250 - 400 nm • Nur 30 W-Version Kundenspezifische Lichtquellen/Kalibrierungen • Kalibrierung Ihrer Lampen • Kundenspezifische Standards Es ist eine Lampe auszuwählen, deren Bestrahlungsstärke möglichst den Werten angenähert ist, die im gewünschten Wellenlängenbereich gemessen werden sollen. Wird eine Lampe mit zu hoher oder zu geringer Bestrahlungsstärke gewählt, erhöht dies die Anforderungen an die Linearität des Detektions- Systems. Für Bestrahlungsstärke-Standards unter ~330 nm ist eine Deuteriumlampe geeignet. Diese Lampe emittiert mehr UVStrahlung als Quarz-Wolfram-Halogenlampen (siehe Abb. 1), wird bis herunter auf 200 nm kalibriert und besitzt den zusätzlichen Vorteil, dass sie im sichtbaren Bereich sehr wenig emittiert. Der geringe Strahlungsanteil im VIS-IR-Bereich verringert das Problem der höheren Empfindlichkeit (out-ofband) von Detektoren im Sichtbaren, das bei der UVKalibrierung mittels Silizium-Photodioden und anderen Breitband-Detektoren auftritt.

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73 Email: [email protected] • Web: newport.com L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG DEUTERIUM-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN Wellenlänge (nm) Bestrahlungsstärke (mW.m-2.nm-1) 0,01 10 1,0 0,1 100 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 45 W QTH-Lampe 200 W QTH-Lampe 1000 W QTH-Lampe Deuterium- Lampe Abb. 1: Spektrale Bestrahlungsstärke von kalibrierten Lampen Lampenhalter für den offenen...

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