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MICRO-CONTROLE / Spectra-Physics
Oriel Xenon-Blitzlampensysteme

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118 Telefon: +49-(0) 6151-708-0 • Fax: +49-(0) 6151-708-952 L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG MONOCHROMATOR- UND HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN FIBER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN Oriel Xenon-Blitzlampensysteme Blitzlampensystem der Q-Serie mit Cornerstone™ 130, 1/8 m Monochromator im Hintergrund. Diese gepulsten Lichtquellen bestehen aus dem modularen Gehäuse der Q-Serie und einer Xenon-Blitzlampe. Zwei untereinander austauschbare Lampen sind erhältlich: eine 0,32-J-Blitzlampe und eine 5-J-Blitzlampe, siehe Beschreibung auf Seite 120. Zusammenstellung eines individuellen Systems Folgende Komponenten werden benötigt, um ein kundenspezifisches Blitzlampensystem der Q-Serie zusammenzustellen: • Lampengehäuse 60000 der Q-Serie • Kondensor (gegebenenfalls mehrere) • 60005 Rückreflektor-Einheit* • Passender elektrischer Anschluss-Satz für die Lampe • Passender Lampenadapter für die Lampe • Passendes Netzgerät für die Lampe • Die Blitzlampe Ihrer Wahl * Nicht zwingend erforderlich, aber für maximalen Lichtstrom empfohlen. Der Rückreflektor sammelt die rückwärts gerichtete Strahlung der Lampe, die sonst verloren ginge. Siehe Abb. 1. Signal (Counts) Verhältnis 0,0 Wellenlänge (nm) Wellenlänge (nm) 5,0 x 103 1,5 x 104 2,0 x 104 2,5 x 104 3,0 x 104 1,4 1,3 1,2 1,1 1,0 200 250 300 350 400 200 250 300 350 400 mit Reflektor ohne Reflektor Abb. 1 UV-Strahlung der 6427 Xe-Blitzlampe im Gehäuse der Q-Serie mit und ohne Rückreflektor. Die Daten wurden mit dem MS257™ 1/4 m Spektrographen und einem PDA aufgenommen. Obwohl keine Korrektur bzgl. der spektralen Empfindlichkeit des Instruments vorgenommen wurde, zeigt das Diagramm deutlich, dass Lampengehäuse der Rückreflektor bei einigen Wellenlängen wirksamer ist als bei anderen. Für ausführliche Details zu den Gehäusen der Q-Serie und den Kondensoren siehe Seite 104. Tabelle 1 enthält einen Vergleich der verschiedenen, für die Q-Serie angebotenen Kondensoren. Tabelle 1 – Vergleich der Kondensoren Modell Kondensor-Typ Öffnungsverhältnis Linsenmaterial Linsen-Multiplikator* Transmissionsbereich des Linsenmaterials (nm) 60006 Kollimierend F/1,5 UV Fused Silica 0,06 200 - 2500 nm 60008 Kollimierend F/0,85 Pyrex® 0,13 350 - 2500 nm 60076 Kollimierend F/1 UV Fused Silica 0,11 200 - 2500 nm 60007 Fokussierend F/2,2 UV Fused Silica 0,05 200 - 2500 nm * Berücksichtigt nicht den Beitrag des Rückreflektors von 60%. Formeln und Beispielberechnungen, um die Gesamt-Ausgangsleistung einer Lichtquelle näherungsweise zu berechnen, sind auf Seite 69 zu finden. • Gepulste Lichtquellen von UV-NIR-Strahlung • Flexibel, aber nicht kompliziert – ideal für Forschungsanwendungen • Mehrere Ausgänge für gleichzeitige gepulste Bestrahlung

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119 Email: [email protected] • Web: newport.com L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG DEUTERIUM-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN MONOCHROMATOR- UND FIBER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN Sicherheitshinweise Diese Lampen emittieren hohe Peak-Leistungen im ultravioletten Bereich. Geeignete Schutzmaßnahmen gegen UV-Strahlung sind zu treffen. Der Strahl muss abgeschirmt werden, oder es müssen Augenschutz und Schutzhandschuhe getragen werden (siehe Seite 246 zum Thema...

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.

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