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Schnelle Spiegel-Kippsysteme

Schnelle Spiegel-Kippsysteme
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508 O p t i k TECHNISCHE ERLÄUTERUNGEN ZYLINDER- UND SPHÄRISCHE LINSEN AUSWAHL SPEZIALLINSEN PRISMEN SPIEGEL OPTISCHE SYSTEME OPTIKSORTIMENTE Telefon: + 49-(0) 6151-708-0 • Fax: + 49-(0) 6151-708-952 Schnelle Spiegel-Kippsysteme FSM-300-01 Die schnellen Spiegel-Kippsysteme der Serie FSM ermöglichen zweiachsige Winkelverstellungen mit hoher Bandbreite und sub-ìrad-Auflösung. Newport bietet sowohl Standard- Systeme als auch kundenspezifische Varianten an, die in einer Vielzahl von Anwendungen wie z.B. Strahlstabilisierung, Laser-Scanning, -Pointing, -Tracking und Bildstabilisierung kosteneffizient eingesetzt werden können. Spezielle Festkörpergelenke führen den Spiegel ohne Reibung und Abnutzung, wie sie typischerweise bei Galvo-Scannern auftreten. Das Ergebnis ist extrem ruckfreie Bewegung, sehr hohe Genauigkeit und fast unbegrenzte Lebensdauer. Vier Tauchspul-Antriebe erlauben schnelle Winkelverstellungen mit hoher Bandbreite und sorgen im Druck-Zug-Betrieb für ein ruckfreies, gleichmäßiges Drehmoment am Spiegel. Interne optische Positionssensoren liefern Rückmeldungen über die Winkelposition zur präzisen und stabilen Strahlausrichtung, zum Abtasten und zur Positionsnachführung. Mit Newports Positionsdetektor OBP oder kommerziell verfügbaren Quadranten-Detektoren kann die Strahlausrichtung schnell in Bezug auf den Detektor stabilisiert werden. Eine Steuerung sorgt für die Rückkopplung zwischen den Positionssignalen und den Antrieben der Spiegelverstellung. Sie verfügt über Eingänge für externe Steuerspannungen und Ausgänge zur Kontrolle der Spiegelstellung. Die Steuerung enthält die Regelelektronik, die Leistungstreiber, die Stromversorgung und externe Schnittstellen. Die neue Steuerung FSM-CD300 hat eine verbesserte Firmware, mit der die Verstärkung und der Offset für beide Achsen unabhängig eingestellt werden kann. Dies steigert die Systemleistung erheblich, besonders für Anwendungen wie Laser-Scanning, wo präzise Punkt-zu- Punkt-Bewegungen erforderlich sind. Die Spiegel-Kippsysteme FSM sind kompakter als XY-Galvo-Scanner und bieten größere Aperturen, geringere Wellenfrontverzerrungen und eine größere Auswahl an Spiegelsubstraten und Beschichtungen. Außerdem kreuzen sich im Gegensatz zu XY-Galvo-Scannern die Drehachsen eines schnellen Spiegel-Kippsystems in einem einzigen Drehpunkt, wodurch Änderungen der Strahllage verhindert werden. Die schnellen Spiegel-Kippsysteme der Serie FSM bieten 25,4 mm Spiegeldurchmesser und ein hervorragendes Preis-Leistungsverhältnis verbunden mit großer Flexibilität durch austauschbare Spiegel-Baugruppen, von denen eine umfangreiche Auswahl zur Verfügung steht. • Ein einziger Drehpunkt für die X- und Y-Verkippung • Reibungsfreie Festkörpergelenke • Optischer Verstellbereich ±3° • Optische Winkelauflösung 2 ìrad rms • Schnelle Steuerung im geschlossenen Regelkreis, bis 800 Hz • Vor Ort austauschbare Spiegel-Baugruppen • Größerer Verstellbereich als bei Spiegeln mit Piezoantrieb • Eliminiert Änderungen der Strahllage, die in XY-Galvo- Spiegelsystemen auftreten Anwendungen • Laserstrahl-Stabilisierung • Laser-Scanning • Laser-Pointing • Positions-Nachführung • Bild-Stabilisierung FSM-300 Rückansicht des FSM-300 Vorderseite der FSM-300 Steuerung Rückseite der FSM-300 Steuerung

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O p t i k 509 TECHNISCHE ERLÄUTERUNGEN AUSWAHL SPHÄRISCHE LINSEN ZYLINDER- UND SPEZIALLINSEN OPTIKSORTIMENTE OPTISCHE SYSTEME SPIEGEL PRISMEN Technische Daten FSM-300-01 Anzahl der Achsen 2 (Kippachsen) Verstellbereich bei ±10 V ±26,2 mrad (±1,5°), mechanisch(1) Auflösung 1 ìrad rms, mechanisch(1) Wiederholbarkeit 3 ìrad rms, mechanisch(1) Genauigkeit bei ±26,2 mrad, 25°C(1) 0,262 mrad (0,015°), mechanisch(1) Linearität über ±26.2 mrad, 25°C(1) 1,0% Kleinsignal-Amplitudenbandbreite (-3 dB, closed loop) 800 Hz bei 10 mV (typisch) Phasenbandbreite (60°, closed loop) 400 Hz (typisch) Ebenheit...

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O p t i k 511 TECHNISCHE ERLÄUTERUNGEN AUSWAHL SPHÄRISCHE LINSEN ZYLINDER- UND SPEZIALLINSEN OPTIKSORTIMENTE OPTISCHE SYSTEME SPIEGEL PRISMEN Email: germany@newport.com • Web: newport.com Bestell-Information für Austauschspiegel Modell Beschreibung Material Erweiterte Beschreibung FSM-300-M-01 Austauschspiegel-Baugruppe, FSM-300 Pyrex® AL.2 Beschichtung, Aluminium mit erhöhter UV-Reflexion, 250-600nm FSM-300-M-02 Austauschspiegel-Baugruppe., FSM-300 Pyrex® ER.1 Beschichtung, Aluminium mit erhöhter Reflexion, 450-700nm FSM-300-M-03 Austauschspiegel-Baugruppe., FSM-300 Pyrex® ER.2...

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