
150 L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG MONOCHROMATOR- UND HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN FIBER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN Schwarze Strahler von Oriel 67030 Schwarzer Strahler. Unsere Schwarzen Strahler sind gleichförmige, temperaturstabile IR-Strahlungsquellen. Es stehen verschiedene Strahlungsquellen zur Verfügung, die sich im Temperaturbereich, Hohlraum-Apertur und im Hohlraum-Material unterscheiden. Die Modelle für niedrigere Temperaturen haben einen Hohlraum aus Edelstrahl. Die Modelle für höhere Temperaturen benutzen einen Siliziumcarbid-Hohlraum. Diese Lichtquellen emittieren Schwarzkörperstrahlung durch mehrfache Reflexion, Absorption und Reemission der thermischen Energie. Die thermische Energie im Hohlraum wird duch eine in Keramik eingeschweißte Heizspirale erzeugt, die den Hohlraumzylinder je nach dem Schwarzkörpermodell gleichförmig auf Temperaturen von 50°C bis 1050°C oder 50°C bis 1200°C aufheizt. Die Modelle für niedrigere Temperaturen haben einen Hohlraum aus Edelstrahl. Die Modelle für höhere Temperaturen benutzen einen Siliziumkarbid-Hohlraum. Eingebautes Aperturrad bei bestimmten Modellen Unsere Schwarzen Strahler mit einem Hohlraum von 25,4 mm Durchmesser enthalten ein Aperturrad mit 8 Positionen: 7 Aperturen und 1 offene Position. Die Aperturgrößen sind in Tabelle 1 aufgelistet. Tabelle 1 – Aperturgrößen für ausgewählte Schwarzkörper Aperturgröße Zoll mm 0,6 15,2 0,4 10,2 0,2 5,1 0,1 2,5 0,05 1,3 0,025 0,64 0,0125 0,32 0,985 0,99 0,995 1,0 0,98 Emissionsgrad Wellenlänge (ìm) 0 5 10 15 20 25 30 Abb. 1 Emissionsgrad des Schwarzen Strahlers 67030/31 bei 1000°C, 12,7 mm Apertur. 1 5 10 15 20 400 200 800 600 1200 1000 1600 1400 0 Bestrahlungsstärke (W.cm-2) auf 500 °C auf 800 °C auf 1000 °C Wellenlänge (ìm) Abb. 2 Bestrahlungsstärke von Schwarzen Strahlern bei verschiedenen Hohlraumtemperaturen • Systeme mit einer Temperatur von 1050 und 1200°C • Systeme mit einer Hohlraum-Apertur von 6,4 bis 25,4 mm Durchmesser • Hohe Temperaturstabilität • Hoher Emissionsgrad • Integriertes Aperturrad Telefon: +49-(0) 6151-708-0 • Fax: +49-(0) 6151-708-952
Katalog auf Seite 1 öffnenL i c h t q u e l l e n 151 TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG DEUTERIUM-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN MONOCHROMATOR- UND FIBER-ILLUMINATOREN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN Technische Daten Kalibrierung ±0,2°C ±1 Stelle Stabilität ±0,02% vom Skalenendwert je 24 Std. Auflösung 1°C oder 0,1°C, wählbar Aufwärmzeit (1 Zoll Modelle) 35 Min. (Umgebungstemp. bis 1050/1200°C) Aufwärmzeit (0,25 und 0,4 Zoll Modelle) 15 Min. (Umgebungstemp. bis 1050°C) Sensor-Typ Thermoelement, Typ S (Pt/Pt 10% Rhodium)...
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