O p t i s c h e Ti s c h e u n d S c h w i n g u n g s i s o l i e r u n g TECHNISCHE ERLÄUTERUNGEN STAHLWABEN, GRANIT UND OPTISCHE TISCHE STARRE STRUKTUREN SCHWINGUNGSISOLIERTE ISOLATOREN MONTAGEPLATTEN ARBEITSPLÄTZE SCHIENENSYSTEME UND REITER TESTS, ANALYSEN UND DESIGN 1034 Telefon: +49-(0) 6151-708-0 • Fax: +49-(0) 6151-708-952 Serie CP Abgesenkte Plattformen Abgesenkte Plattform mit Montageplatte und I-2000 Isolatoren. Bei vielen Geräten und Anwendungen, wie z.B. Raster-Elektronen-Mikroskopen, liegt der Schwerpunkt sehr hoch. Andere Systeme wiederum verwenden z.B. präzise Montagegestelle aus Granit. In all diesen Fällen liegt der Massenschwerpunkt möglicherweise bereits außerhalb des Stabilitätsbereichs optischer Tische. Befindet sich der Massenschwerpunkt außerhalb des empfohlenen Bereichs, so kann der Drehimpuls des Systems die Rückstellkraft der Isolatoren übersteigen. Dieses Problem lässt sich mit einem toplastigen Segelboot vergleichen, bei dem das Kippmoment größer als das durch den Kiel verursachte aufrichtende Moment wird. In diesen Fällen können die Instabilität des Systems und die gegeneinander konkurrierenden Momente zu einem oszillierenden Verhalten führen. In einem pneumatisch isolierten optischen Tischsystem kann der Aufbau sehr heftig schwanken, wenn die Regelventile versuchen, das Kippmoment mit einem höheren Druck in den Isolatoren zu kompensieren. Tatsächlich neigen Hochleistungssysteme, die auf kürzeste Rückstellzeiten und höchste Genauigkeit ausgelegt sind, dazu, heftiger zu reagieren als einfachere "weiche" Systeme. Die Lösung dieses Problems liegt in der Verwendung einer abgesenkten Plattform, da diese den Schwerpunkt absenkt und die Stabilität erheblich verbessert. Newport hat über die Jahre eine große Anzahl solcher Systeme gebaut. Üblicherweise verfügen die abgesenkten Plattformen über seitliche Stützträger, die am oberen Ende auf den Isolatoren aufliegen und am unteren Ende die Plattform tragen. Jedes System wird nach Kundenspezifikationen individuell gebaut. Einige solcher Systeme mit abgesenkten Plattformen sind auf dieser Seite dargestellt. Sie bestehen größtenteils aus Stahl, Aluminium und Stahlwabenstrukturen. Wie bei allen unseren kundenspezifischen Anfertigungen, können diese Plattformen über Durchgangslöcher, Aussparungen, mehrere Ebenen oder auch senkrechte Strukturen verfügen. Jede unserer Schwingungsisolierungen kann, abhängig von den Anforderungen an Größe und Belastbarkeit, eingesetzt werden. Weitere Optionen wie ein Feststellmechanismus sind zusätzlich erhältlich. Abschätzung der maximal zulässigen Höhe des Massenschwerpunktes für pneumatische Isolierungssysteme. • Schwingungsisolierung für Systeme mit hohem Massenschwerpunkt • Große Auswahl an Schwingungsisolatoren • Aus elektropoliertem Edelstahl und in anderen Ausführungen erhältlich • FE- und Schwingungsmoden-Analysen Abgesenkte Plattform mit kundenspezifischer Aussparung. Abgesenkte Plattform aus Aluminium. Anwendungen • Disk Prüfstände • Disk Texturierung • Oberflächeninspektion von Wafern • Rasterelektronenmikroskopie • Transmissionselektronenmikroskopie Abgesenkte Plattform für die Waferinspektion in der Halbleiterfertigung. Bestell-Information Jedes System mit abgesenkter Plattform wird kundenspezifisch entwickelt. Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte direkt an Newport. Isolator Belastbarkeit pro Isolator (kg) I-2000 900 I-1250 570 I-800A 365 I-325A 150 I-250A 120 I-125A 60
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