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Serie M-IMS-LM Leistungsstarke Lineartische mit Linearmotor für lange Verstellwege

Serie M-IMS-LM Leistungsstarke Lineartische mit Linearmotor für lange Verstellwege
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Katalogauszüge

Serie M-IMS-LM Leistungsstarke Lineartische mit Linearmotor für lange Verstellwege - 1

M o t o r i s c h e P o s i t i o n i e r u n g 791 TECHNISCHE ERIÄUTERUNGEN MOTORISCHE LINEARTISCHE MOTORISCHE ROTATIONSTISCHE MOTORISCHE SPIEGELHALTER MOTORISCHE ANTRIEBE STEUER- UND REGELELEKTRONIKEN SYSTEME Serie M-IMS-LM Leistungsstarke Lineartische mit Linearmotor für lange Verstellwege Die Lineartische der M-IMS-LM-Serie wurden für mehrachsige Positioniersysteme mit Verstellwegen von 300 bis 600 mm ausgelegt. Sie zeichnen sich durch ihr hervorragendes Preis-Leistungsverhältnis aus und eignen sich als kostengünstige Lösung für Präzisionspositionierungen in der Industrie, darunter Halbleiterinspektion, Montage und Prüfung von Mikroelektronik, Pick & Place, DNA-Sequenzierung und Laserstrahlbearbeitung. Die Lineartische der M-IMS-LM-Serie basieren auf der bewährten M-ILS- und M-IMSTechnik. Die steife Konstruktion aus stranggepresstem Aluminium wurde so optimiert, dass Verwindungen aufgrund von unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Aluminiumtisches und der Stahlführungen minimiert werden. Im Gegensatz zu Positionierern mit Spindelantrieb wird ein Linearmotor als Antrieb verwendet. Dieser Antrieb ist absolut geräuschfrei und bietet höhere Geschwindigkeit, Beschleunigung und kürzere Reaktionszeiten ohne Abnutzung von Motorbürsten oder Antriebsspindeln. Und dank des voll integrierten Antriebs ist der M-IMS-LM mehr als 100 mm kürzer als vergleichbare spindelgetriebene Positionierer. Deshalb sind M-IMS-LM-Modelle die optimale Lösung für platzsparende Anwendungen, die hohen Durchsatz, hohe Zuverlässigkeit und geräuscharmen Betrieb erfordern. Der M-IMS-LM nutzt einen hochleistungsfähigen, 3-Phasen Synchron-Linearmotor mit Eisenkern. Linearmotoren mit Eisenkern werden häufig aufgrund ihrer variablen Vorschubkraft (cogging) kritisiert, Ihre Effizienz ist jedoch fast doppelt so hoch wie bei eisenlosen Linearmotoren. Daraus ergeben sich eine höhere Beschleunigung und wesentlich geringere Wärmeverluste, was Leistungseinbußen und Präzisionsverluste bei schnellen Punkt-zu-Punkt-Bewegungen reduziert. Die Kugelumlaufführungen mit Kugelkette sorgen für hervorragende Lastverteilung und lange Lebensdauer. Die Kugelkette in den Umlaufelementen garantiert eine wesentlich präzisere Linearverstellung, geringere Geräuschentwicklung und längere Lebensdauer als bei alternativen Führungen ohne Kugelkette. Zur Positionsermittlung wird ein hochgenauer Linearmaßstab verwendet. Durch Interpolation der Encoder-Signale über die XPS-Motorsteuerung wird eine Auflösung im Subnanometerbereich erzielt, die hervorragende Bewegungsempfindlichkeit, Wiederholbarkeit und Stabilität garantiert. Die Signale der Refernz- und Endpositionen sind in dem selben Maßstab integriert, wodurch die Notwendigkeit weiterer elektronischer bzw. mechanischer Komponenten wegfällt und die Zuverlässigkeit und Genauigkeit erhöht wird. Für besonders anspruchsvolle Positionieraufgaben bietet Newport einen Kalibrierservice an. Dieser beinhaltet die Erzeugung, Implementierung und Verifizierung einer elektronischen Fehlerkompensation zur Verbesserung der Genauigkeit von selektierten M-IMS-LM Lineartischen. Dieser Service steht nur bei Verwendung der XPS Motorsteuerung zur Verfügung. Die Genauigkeit mit Fehlerkompensation ist besser als 1 ìm + 1 ìm je 100 mm Verfahrweg und wird über zentrale 80% des Verstellwegs garantiert. Ein Kalibrierzertifikat gemäß Newports Meßprozedur A167 und eine Tabelle mit den Korrekturwerten werden mitgeliefert. Zeit (s) -40 0 40 80 120 160 200 0 5 10 15 20 25 Position (nm) Interferometer Position Sollposition Position (mm) -2,0 -1,5 -1,0 -0,5 0,0 0,5 1,0 1,5 2,0 -80 -60 -40 -20 0 20 40 60 80 Fehler (ìm) Position (mm) M-IMS300LM, 500 mm/s, 1 kHz Datenrate 499,0 499,2 499,4 499,6 499,8 500,0 500,2 500,4 500,6 500,8 501,0 -50 -40 -30 -20 -10 0 10 20 30 40 50 Geschwindigkeit (mm/s) Die M-IMS-LM Lineartische bieten hervorragende Geschwindigkeitsstabilität für kontinuierliche Scan- Anwendungen und Laserstrahlbearbeitung. • Steife Gehäusekonstruktion für XY-Baugruppen mit bis zu 600 mm x 600 mm Verstellweg • Kontaktloser Direktantrieb sorgt für hohe Leistung und Zuverlässigkeit bei geringem Platzbedarf • Hoch effizienter Linearmotor mit Eisenkern reduziert die Wärmeentwicklung für schnelle, wiederholgenaue Punkt-zu- Punkt-Bewegungen • Kugelumlaufführungen mit Kugelkette sorgen für reduzierte Geräuschentwicklung und lange Wartungsintervalle • Hochauflösender Linearencoder für präzises, wiederholgenaues Positionieren im Sub-ìm-Bereich Lineartische der M-IMS-LM-Serie sind in der Lage, minimale inkrementale Bewegungen mit hoher Genauigkeit und Zuverlässigkeit auszuführen. Genauigkeit eines IMS300LM-Tischs nach Kompensation von Linearfehlern. Die Daten wurden dynamisch mit einer Frequenz von 10 kHz aufgezeichnet, während der Lineartisch sich mit einer Geschwindigkeit von 50 mm/s bewegte. Die Position sowohl des Encoders als auch des Interferometers wurden von einer Motorsteuerung XPS mit weniger als 50 ns Latenzzeit zwischen den verschiedenen Signalen aufgezeichnet. Email: germany@newport.com • Web: newport.com

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792 M o t o r i s c h e P o s i t i o n i e r u n g STEUER- UND MOTORISCHE ANTRIEBE MOTORISCHE SPIEGELHALTER MOTORISCHE ROTATIONSTISCHE MOTORISCHE LINEARTISCHE TECHNISCHE ERIÄUTERUNGEN REGELELEKTRONIKEN SYSTEME Abmessungen Abmessungen (mm) Modell A n1 B n2 Verstellweg L1 M-IMS300LM 150 4 5 Zoll 4 300 555 M-IMS400LM 150 4 5 Zoll 4 400 655 M-IMS500LM 150 4 5 Zoll 6 500 755 M-IMS600LM 150 6 5 Zoll 6 600 855 L 179 21 21 180 B B B A A A n1 x 2 Senkbohrungen für M6 n2 x 2 Senkbohrungen für 1/4"-20 150 6” 90 28 Die Zeichnung der Deckplatte finden Sie auf Seite 797. CAD-Dateien finden Sie auf...

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