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MICRO-CONTROLE / Spectra-Physics
Spektrale Kalibrierlampen hoher Leistung von Oriel

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78 Telefon: +49-(0) 6151-708-0 • Fax: +49-(0) 6151-708-952 L i c h t q u e l l e n TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG ORIEL HALOGEN-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN DEUTERIUM-LICHTQUELLEN SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN Diese Strahlungsquellen sind die richtige Wahl, wenn diskrete Spektrallinien sehr hoher Intensität benötigt werden. Die Intensität dieser Lampen ist ungefähr doppelt so hoch wie diejenige vergleichbarer Linienstrahler (siehe Seite 75), wobei sich die spektrale Intensitätsverteilung stark unterscheidet. Die Lampen werden in das Lampengehäuse 65160 montiert, in dem ein Filterhalter für Interferenzfilter mit 25,4 mm Durchmesser integriert ist, und mit dem geregelten AC-Netzteil 65150 betrieben. Wegen des geregelten AC-Betriebs des Netzteils kommt es zu schnellen Intensitätsänderungen im Bereich von Millisekunden. Allerdings ist die mittlere Ausgangsintensität über viele Sekunden sehr stabil. 65060 HgCd 65010 Cs 65020 He 65130 Hg 65080 Na 65090 Ne 65110 TI 65120 Zn 65130 Hg 250 250 300 300 350 350 400 400 450 500 550 600 650 nm nm 237,8 240,0 253,7 253,6 265,4 275,3 289,4 296,8 312,6 334,1 365,0/6,3 390,6 Wellenlänge (nm) 250 300 350 400 450 500 550 600 650 nm Spektrallinien unter 400 nm Spektrallinien über 400 nm Die Z-Halterung senkt die Höhe der optischen Achse Sicherheitshinweise Auch diese Strahlungsquellen mit niedriger Leistung emittieren gefährliche UV-Stahlung. Es sollten unbedingt Schutzbrille und Schutzhandschuhe getragen werden (Zu UVSicherheitsausrüstung siehe Seite 246). • Strahlungsquellen mit intensiven diskreten Spektrallinien im UV-, VIS- und NIR-Bereich • Hohe Langzeit-Ausgangsstabilität • Kostengünstiges Gehäuse für diese Lampen zur Montage auf Stiften • Einfach auszutauschende Lampen Abb. 1 Spektren spektraler Kalibrierlampen hoher Leistung Die Z-Halterung 66275 ermöglicht die Montage der Lampenhalterung 65160 auf einen Stift bei einer niedrigen optischen Achshöhe, passend zu den Eingängen der Monochromatoren. Die niedrigste Höhe der Mittellinie mit dieser Halterung beträgt 71 mm. Weitere Einzelheiten zu der Z-Halterung 66275 finden sich auf der Seite 244. Lampengehäuse 65160 auf Z-Halterung 66275. Linienstrahler mit hoher Leistung 65130 und 65010 Spektrale Kalibrierlampen hoher Leistung von Oriel

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L i c h t q u e l l e n 79 TECHNISCHE INFORMATION LICHTQUELLEN ZUR KALIBRIERUNG DEUTERIUM-LICHTQUELLEN BOGENLICHTQUELLEN HALOGEN-LICHTQUELLEN ORIEL SONNENSIMULATOREN INSTRUMENTE FÜR DIE PHOTOLITHOGRAPHIE ZUBEHÖR FÜR ORIEL LICHTQUELLEN MONOCHROMATOR- UND FASER-ILLUMINATOREN Technische Daten Netzteil Zündspannung 600 V für ca. 350 ms (peak to peak) Betriebsspannung 10 - 60 V, Lampenabhängig Betriebsstrom 0,6 - 1 A, Lampenabhängig Eingang 115 V / 2,4 A oder 230 V / 1,2 A Gewicht 18.2 System Spannungsregelung (<1 Hz) <±1% bei ±10 % Änderung der Netzspannung Bestell-Information Linienstrahler Modell...

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