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Vertikaltische Serie UZ

Vertikaltische Serie UZ
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TECHNISCHE ERIÄUTERUNGEN MOTORISCHE LINEARTISCHE MOTORISCHE ROTATIONSTISCHE MOTORISCHE SPIEGELHALTER MOTORISCHE ANTRIEBE STEUER- UND REGELELEKTRONIKEN SYSTEME M o t o r i s c h e P o s i t i o n i e r u n g 809 Email: germany@newport.com • Web: newport.com • Flache Konstruktion mit 4 oder 9 mm vertikalem Verstellweg • Konzept mit zwei gegenüberliegenden Keilen bietet eine extrem hohe Belastbarkeit Die Vertikaltische der Serie UZ bieten hochpräzise Vertikalverstellung für Positionieraufgaben im sub-ìm-Bereich. Wegen ihrer flachen Konstruktion eignen sich diese Lineartische besonders für XYZ-Positionieraufgaben auf minimalem Raum. Anders als bei vertikal montierten Lineartischen greift dabei die Last mittig auf die Lager und in geringen Abständen zu den darunterliegenden Positionierern an, wodurch Positionierfehler aufgrund von Hebelarmen vermieden werden. Die Konstruktion basiert auf einer schiefen Ebene mit zwei präzise gefertigten Keilen, die sich über Kugelführungen gegen einander verschieben können. Eine präzisionsgeschliffene Gewindespindel bewegt den unteren Keil horizontal. Die horizontale Bewegung wird in eine vertikale Verschiebung des oberen Keiles umgesetzt. Um unerwünschte seitliche Bewegungen zu vermeiden, wird der obere Keil durch vertikal montierte Kugelführungen gehalten. Alle UZ-Tische besitzen einen Referenzschalter in der Mitte des Verstellweges, um jederzeit auf eine vordefinierte Höhe zurückkehren zu können. Die Lineartische der UZ-Serie sind in zwei Größen erhältlich: Das Modell UZS80 bietet einen vertikalen Verstellweg von 4,5 mm für Lasten bis zu 30 N und lässt sich auf die Lindeartische der UTS-Serie montieren (siehe Seite 804). Das Modell UZS80CC mit DC-Motor bietet eine schnelle Justage mit Geschwindigkeiten bis zu 4 mm/s und eine hohe bidirektionale Positioniergenauigkeit. Es Konstruktionsparameter Material Edelstahl Führungen Lineare Kugelführungen Antriebsmechanismus Konstruktion mit 2 Keilen, Übersetzungsverhältnis 4:1, Gewindespindel mit Umkehrspiel-Kompensation Steigung der Verstellschraube (mm) UZS80: 0,8 UZM160: 4 Untersetzungsgetriebe 10:1 bei allen UZM160 Modellen(1) Feedback UZS80CC: Spindelmontierter Rotationsencoder, 4.000 Imp./U, Indeximpuls UZS80PP: Kein Encoder UZM160: 2.000 Pulse/U, Rotationsencoder mit Indeximpuls Endschalter Mechanisch Nullpunkt Optisch, in der Mitte des Verstellwegs Verbindungskabel Ein 3 m langes Verbindungskabel wird mitgeliefert, Vakuumkompatibilität Vakuumtaugliche Version des UZM160PE.05 bis 10-6 hPa 1) Bei einigen Antrieben wird ein zusätzliches Getriebe am Motor montiert. Für weitere Details kontaktieren Sie bitte Newport. Technische Daten UZS80CC UZS80PP M-UZM160 Verstellbereich (mm) 4,5 4,5 9 Auflösung (ìm) 0,05 0,01(3) 0,05 Kleinste Schrittweite (ìm) 0.2 0.2 0.2 Unidirektionale Wiederholgenauigkeit (ìm) 1,4 garantiert 1,4 garantiert 0.9 typisch(1) Umkehrfehler (Hysterese) (ìm) 2 garantiert 3 garantiert 5 typisch(1) Genauigkeit entlang der Achse (ìm) 3 garantiert 4 garantiert 8 typisch(1) Maximale Geschwindigkeit (mm/s) 4 2 PP, CC: 1(2); PE: 0,1 Neigen (ìrad) 70 typisch, 150 garantiert 70 typisch, 150 garantiert 100 typisch(1) Rollen (ìrad) 70 typisch, 200 garantiert 70 typisch, 200 garantiert 200 typisch(1) Gewicht (kg) 2,8 2,8 21,5 1) Wegen der Komplexität der Messung werden die realen Leistungen der M-UZM160-Tische nicht bei 100% der gefertigten Einheiten geprüft. Deshalb liefern wir nur typische Spezifikationen. Für weitere Informationen bezüglich typischer und garantierter Spezifikationen siehe Kapitel "Technische Erläuterungen" (siehe Seite 775). 2) 0,4 mm/s beim M-UZM160PP.05 in Kombination mit SMC100PP 3) Entspricht 1/100 eines Vollschrittes besitzt einen hochauflösenden Encoder mit Indexpuls, der direkt auf der Antriebsspindel montiert ist. Dadurch werden die meisten Fehlerquellen, die im Zusammenhang mit indirekten Rückmeldesystemen auftreten, eliminiert. Die Version UZS80PP mit Schrittmotor ist eine preisgünstigere Lösung für weniger anspruchsvolle Anwendungen. In Kombination mit Motorsteuerungen mit Mikroschrittfunktion, wie z.B. Newports XPS, ESP300 oder SMC100PP, werden ein geräuscharmer Betrieb und sehr kleine Verstellschritte gewährleistet. Die Version UZS80PP besitzt keine Positionsrückmeldung. Die Position wird durch die Anzahl der vorgegeben Schritte und Mikroschritte erreicht. Zu diesem Zweck ist der Schrittmotor direkt auf der Antriebspindel befestigt. Das Modell M-UZM160 ist speziell für Anwendungen mit hohen Lasten ausgelegt. Es bietet einen Verstellweg von 9 mm und ist für Lasten bis zu 300 N geeignet. In Kombination mit anderen Lineartischen, wie z.B. Serie M-MTM (siehe Seite 801), wird empfohlen, die Lineartische auf dem M-UZM160 zu montieren. Das Modell M-UZM160 ist mit DC-Motor, Vollschrittmotor und Minischrittmotor erhältlich. Um auch bei hohen Lasten einen konsistenten Betrieb zu garantieren, sind alle M-UZM160-Tische mit einem Rotationsencoder mit 2.000 Impulsen pro Umdrehung ausgestattet. Vertikaltische NEU Serie UZ

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