Sensoren & Applikationen Einsatz im Vakuum Mehr Präzision.

■ Messanwendung von außen auf das Vakuum

Die hochleistungsfähigen und robusten Sensoren von Micro-Epsilon sind bis zum Ultrahochvakuum (UHV) einsetzbar. Vakuumstufen mainSENSOR Grobvakuum Feinvakuum Hochvakuum 1) Quelle: iTeh STANDARD PREVIEW, 2019. Entspricht ISO 3529-1:2019.

Typische Branchen

Die vakuumtauglichen und robusten Sensoren von Micro-Epsilon halten den hohen Anforderungen an eine Vakuumumgebung stand. Je niedriger der gewünschte Druck ist, desto höher sind die Anforderungen an die Materialien im Vakuum. Gerade Hoch- und Ultrahochvakuum stellen besonders hohe Anforderungen an die dort eingesetzten Komponenten und damit auch an die Messtechnik. Micro-Epsilon bietet angepasste Sensoren nach individuellen Kundenvorgaben an. Die hochleistungsfähigen und robusten Vakuum-Sensoren von Micro-Epsilon werden im Reinraum der Klasse ISO 6 gefertigt. Durch regelmäßige Kontrollen wie...

Messvariationen Messung im Vakuum Bei dieser Anwendung befindet sich ein Teil des Systems im Vakuum. Variante 1: Sowohl Sensor, als auch das vakuumtaugliche Kabel werden über eine Vakuum durchführung in den luftleeren Raum geführt. Variante 2 (kundenspezifischer Sensor): Nur der Sensor befindet sich im Vakuum. Sensor fungiert als Vakuumdurchführung und kann auch nach Kundenwunsch entwickelt werden. Bei der Messung im Vakuum sind hohe Anforderungen zu erfüllen. Der Controller befindet sich bei den ersten beiden Varianten stets außerhalb des Systems. Messung von außen auf vakuumierte Umgebung Bei...

Messanwendung im VakuumTeilsystem im Vakuum // Optische Sensoren optoNCDT ■ Kompakter Lasertriangulations-Wegsensor für schnelle und präzise Messungen ■ Berührungslose Weg- und Abstandsmessung mit großen Messbereichen ■ Hohe Genauigkeit auf zahlreichen Oberflächen ■ Kompakte Bauform und einfache Installation Die optoNCDT Lasersensoren sind extrem kompakt aufgebaut und verfügen über einen komplett integrierten Controller. Dadurch wird eine einfache und schnelle Montage und Verdrahtung erreicht. Diese Lasersensoren lassen sich daher selbst in beengte Bauräume problemlos integrieren. [1] d.M. =...

Additive Fertigung Honen und Läppen von Wafern

Messanwendung im Vakuum Teilsystem im Vakuum // Optische Sensoren Die confocalDT Sensoren sind mit passiven Komponenten aufgebaut und geben daher keine Wärmeabstrahlung an die Umgebung ab. Speziell für den Einsatz im Vakuum bietet Micro-Epsilon Sensoren, Kabel und Zubehörteile, die für die jeweilige Spezifikation (Reinraum, Vakuum, Ultrahochvakuum UHV) geeignet sind. Verfügbar sind vakuumtaugliche Sensoren mit verschiedenen Messbereichen, sowohl mit axialem als auch mit radialem Strahlengang. Modell Messbereich statisch [1] dynamisch [2] Abstand Dicke Lichtpunktdurchmesser Numerische Apertur...

Messanwendung im Vakuum Teilsystem im Vakuum // Optische Sensoren (ww) (m)interferoMETER ■ Absolute Abstandsmessung mit Nanometer-Genauigkeit ■ Präzise Dickenmessungen, unabhängig vom Abstand des Sensors Das industrietaugliche Weißlicht-Interferometer besteht aus einem robusten Sensor, einem hochflexiblen Sensorkabel und einem Controller im Aluminiumgehäuse, der an einer Hutschiene befestigt werden kann. Dank der robusten Bauform kann das Interferometer auch in industriellen Umgebungen integriert werden. Speziell für den Einsatz im Vakuum bietet Micro-Epsilon Sensoren, Kabel und Zubehörteile,...

Messanwendung im Vakuum Teilsystem im Vakuum // Elektromagnetische Sensoren ■ Induktive Sensoren (Wirbelstrom) für Weg, Abstand, Position ■ Hohe Grenzfrequenz für dynamische Messungen ■ Temperaturstabil, ideal für raue Umgebungsbedingungen ■ Katalogsensoren bis Feinvakuum, OEM-Produkte bis Ultrahochvakuum möglich Die eddyNCDT Wegsensoren sind konzipiert zur berührungslosen Erfassung von Weg, Abstand, Verschiebung, Position, Schwingung und Vibration. Wirbelstrom-Sensoren von Micro-Epsilon gelten als besonders robust und extrem präzise und werden daher oftmals in industriellen Umgebungen eingesetzt....

Positionieraufgaben von Wafern oder Stegen

Messanwendung im Vakuum Teilsystem im Vakuum // Elektromagnetische Sensoren ■ Kapazitive Wegsensoren für industrielle Messaufgaben ■ Hochpräzise auch bei Temperaturschwankungen ■ Ideal für langzeitstabile Messungen Kapazitive Wegsensoren werden oftmals in Vakuum-Umgebungen oder in Reinräumen eingesetzt. In partikelfreier Umgebung erzielen die kapazitiven Sensoren von Micro-Epsilon eine Auflösung im Subnanometerbereich. Auf leitenden Objekten werden die capaNCDT Sensoren zur Abstands- und Dickenmessung eingesetzt. Sie sind daher für den Einsatz in industrieller Umgebung bestens geeignet. Auch...

Linsen / Optik-Justage Waferherstellung Kathodenausrichtung am Elektronenbeschleuniger Wellenschlagsmessung im Vakuum Einrichttool für Klebeprozesse / Lage zwischen zwei prisma tischen Körpern E-Motorprüfstand Aufweitungsmessung Ausrichtung Satelliten equipment 3D-Druck / L

mainSENSOR ■ Robuster Sensoraufbau Magneto-induktive Sensoren messen den Abstand auf Permanentmagneten und sind deshalb in der Lage, auch durch nicht-ferromagnetische Materialien hindurchzumessen, insbesondere durch Metalle wie Aluminium und Edelstahl. Bei Anwendungen in geschlossenen Systemen oder Gehäusen ist dies ein entscheidender Vorteil, da Sensor und Magnet räumlich getrennt untergebracht werden können. So kann der Magnet beispielsweise in schwieriger Umgebung und der Sensor im sicheren Bereich montiert werden. [1] Messbereich veränderbar durch Verwendung anderer Magnete; Fremdmagnetfelder...

Teilsystem im Vakuum // Färb- und Lichtleitersensoren @ @Lichtleitersensor CFS ■ Äußerst robust und kompakt Für die optoCONTROL und colorSENSOR-Systeme ist eine große Vielfalt an Reflexions-, Transmissions- und Winkelsensoren verfügbar. Diese Lichtleitersensoren sind äußerst robust und dadurch prädestiniert für den Einsatz im Hochvakuum, in Hochtemperaturbereichen und in rauen Umgebungen. Weitere Modellvarianten für Vakuumanwendung auf Anfrage möglich. optoCONTROL CLS Download Katalog: ■ Äußerst robust und kompakt ■ Detektion feinster Strukturen ■ Äußerst hohe Fremdlichtbeständigkeit bis zu 50.000...