Mehr Präzision. interferoMETER // Hochpräzise Absolut-Interferometer

Hochpräzise Absolut-Interferometer interferoMETER Die innovativen, absolut messenden Interferometer von Micro- Daraus ergeben sich Vorteile für die Messung: Epsilon setzen eine Benchmark in der hochpräzisen Abstands- und Absolute Messungen mit höchster Präzision, auch bei Dickenmessung. Die Sensoren ermöglichen stabile Messergebnisse mit einer Sub-Nanometerauflösung und verfügen über einen vergleichsweise großen Messbereich und Grundabstand. bewegten Messobjekten Breite Einsatzmöglichkeiten: Abstandsmessung, Multipeak messung mehrerer Schichten und Dickenmessung, auch von dünnen Schichten Micro-Epsilon...

Allgemeine Informationen Unerreichte Präzision für industrielle Serienanwendungen Einsatzmöglichkeiten - für jede Anwendung das passende System Auflösung Seite Anschlussmöglichkeiten / Zubehör Seite Optionales Zubehör

Während Micro-Epsilon Weißlicht-Interferometer absolute Messwerte liefern, sind gängige Laser-Interferometer prinzipbedingt relativ messend. Die IMS Weißlichtinterferometer messen stabil und absolut ohne vorherige Referenzierung. Das ist insbesondere bei Signalunterbrechungen, verursacht zum Beispiel durch Stufen, Löcher, Fehlreflektionen oder strukturierte Oberflächen, von Vorteil. Nach der Signalunterbrechung erhalten Sie direkt einen Messwert, während Laser I nterferometer erst neu referenziert werden müssen. Somit können Abstandsprofile von bewegten Messobjekten mit hoher Präzision und Zuverlässigkeit...

Präzise und stabil bis auf den letzten Nanometer Größtmögliche Präzision bei großem Grundabstand und Messbereich 30 pm Auflösung 5 µm laterale Auflösung ±10 nm Linearität Kleiner Lichtfleck zur Erfassung sehr kleiner Details, zum Beispiel Strukturen auf Halbleitern und miniaturisierten Elektronikbauteilen. Vakuumtaugliche Sensoren, ideal für die Halbleiterindustrie Profil eines strukturierten Wafers Das IMS5600-DS bietet höchste Präzision in der Abstandsmessung. Dank der absoluten Messung können auch Profile von bewegten Objekten erfasst werden. Schnelle Messungen auf vielen Oberflächen Folien...

Unerreichte Präzision für industrielle Serienanwendungen Dank der robusten Ausführung werden die interferoMETER auch in industriellen Umgebungen eingesetzt, beispielsweise zur hochpräzisen Dickenüberwachung von Kunststofffolien. Patentierter Pilotlaser zur exakten Anzeige des Messpunkts Visualisierung der Messposition mit einem patentierten Pilotlaser Pilotlaser gibt neben der Messposition auch Rückmeldung zur Entfernung: Messobjekt im Messbereich: konstantes Leuchten des Pilotlaser Messobjekt außerhalb des Messbereichs: Pilotlaser blinkt. Vielfältige Einsatzmöglichkeiten Robuste und kompakte...

Für jede Anwendung das passende System Die interferoMETER Controller lassen sich mit zahlreichen Sensoren kombinieren. Sensor und Controller werden werkseitig aufeinander abgestimmt und kalibriert. Dadurch sind nanometergenaue Positionieraufgaben, Abstandsmessungen und Schichtdickenmessungen unter anderem auch in Reinraumumgebung und Vakuum möglich. Die interferoMETER werden mit individuellen Kalibrierprotokollen ausgeliefert, die die erreichte Präzision dokumentieren. interferoMETER 5400-DS interferoMETER 5600-DS ■ Absolut-Interferometer zur Abstandsmessung mit Nanometer-Auflösung ■ Kompakte...

Applikationen interferoMETER Beim Zuführen von Wafern werden Absolut-Interferometer eingesetzt, Absolut-Interferometer der Serie IMS5400-TH werden zur Inline- um die Verkippung von Wafern zu messen. Die Interferometer liefern Dickenüberwachung von Folien eingesetzt. Die Dickenwerte werden absolute Abstandswerte bei einer Subnanometer-Auflösung. Durch mit hoher Messrate submikrometergenau erfasst, selbst wenn die die Messung wird eine größtmögliche Lagegenauigkeit bei der Auf- Folie schwingt. nahme und Entnahme von Wafern sichergestellt. Positionsmessung beim Einpassen von Präzisionsglas Neben...

Hochpräzise Dickenmessung von transparenten Schichten Absolut-Interferometer werden zur Ausrichtung von Fotomasken ein- Zur Prüfung der Dicke von Beschichtungen werden Absolut-Interfero- gesetzt. Die Interferometer liefern absolute Messwerte im Subnano- meter der Serie IMS5400-TH eingesetzt. Dank des großen Arbeitsbe- meterbereich und ermöglichen die hochpräzise Positionierung der reichs ist keine exakte z-Positionierung erforderlich. Die Dickenwerte Maske. Der Einsatz kann dabei auch im Vakuum erfolgen. werden mit hoher Messrate mikrometergenau erfasst. Exakte Dickenmessung während des Läppens...

Absolute Abstandsmessung mit Nanometer-Auflösung interferoMETER 5400-DS Absolute Messung mit Nanometer-Auflösung Kompakte und robuste Sensoren mit großem Grundabstand Messrate bis zu 6 kHz für schnelle Messungen Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP Robuster Controller mit passiver Kühlung Einfache Konfiguration über Webinterface Flexible industrielle Integration Absolute Abstandsmessung mit Nanometerauflösung Der Lichtfleckdurchmesser beträgt in Messbereichsmitte nur 10 µm Das Absolut-Interferometer IMS5400-DS eröffnet neue Perspektiven und ermöglicht die Erfassung kleiner Details,...

[1] Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (24 ±2 °C). Messrate 0,5 kHz, gleitende Mittelung über 64 Werte, differentiell gemessen zwischen Vorder- und Rückseite einer dünnen Glasplatte in Messbereichsmitte (2 Sigma) [2] Maximale Abweichung zu Referenzsystem über den gesamten Messbereich, gemessen auf Vorderfläche ND-Filter [3] Optionale Anbindung über Schnittstellenmodul (siehe Zubehör)