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Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Position // capaNCDT

Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Position // capaNCDT

Zusammenfassung des Produktkatalogs
Einführung und Überblick:
Die capaNCDT-Serie von Micro-Epsilon umfasst kapazitive Sensoren für berührungslose Messungen von Weg, Abstand, Position und Dicke. Sie bieten hohe Signalstabilität und Auflösung und sind in verschiedenen Industriezweigen einsetzbar.
Technische Spezifikationen:
Die Sensoren bieten präzise, langzeitstabile Messungen mit exzellenter Temperaturstabilität und hoher Störsicherheit. Das Portfolio umfasst tauschbare Sensoren in verschiedenen Bauformen und zahlreiche Schnittstellen.
Messprinzip:
Die Sensoren arbeiten nach dem Prinzip des idealen Plattenkondensators, was eine verschleißfreie und berührungslose Messung ermöglicht.
Anwendungsbereiche:
Ideal für nanometergenaue Messungen in kontrollierten Umgebungen wie Laboren und Reinräumen. Einsatz in der Halbleiter- und Elektronikindustrie.
Controller und Zubehör:
Verschiedene Controller-Modelle von kompakten Einkanalsystemen bis zu modularen Mehrkanalsystemen sind verfügbar. Zubehör erleichtert die Integration in bestehende Systeme.
Applikationsbeispiele:
Einsatz in Luftspaltmessung, Dickenmessung von Bremsscheiben und Walzenspaltmessung. Lösungen für die Positionierung von Waferstages und Masken in der Lithografie.
Vorteile und Anpassungsmöglichkeiten:
Höchste Messgenauigkeit und Stabilität, geeignet für extreme Bedingungen, kundenspezifisch anpassbar, kompatibel mit verschiedenen Materialien.
Einleitung: Der Bericht beschreibt die Anwendung und Spezifikationen kapazitiver Wegsensoren der Serie capaNCDT von Micro-Epsilon.
1. Anwendungen:
  • Ausrichtung von Linsen: Präzise Zentrierung von Linsen in optischen Systemen.
  • 3D-Druck: Überwachung der Pulverschichtenhöhe und Druckplattformbewegungen.
2. Messsysteme:
  • capaNCDT 6200: Für die Messung der Pulverbetthöhe beim 3D-Druck.
  • capaNCDT 6100: Für allgemeine kapazitive Messungen.
3. Technische Spezifikationen:
  • Messfleck: Größe entscheidend für Messgenauigkeit.
  • Messbereich und Sensorgröße: Größere Messbereiche erfordern größere Sensoren.
  • Linearität und Auflösung: Variiert je nach Controller und Messrate.
4. Montage und Temperaturstabilität:
  • Montage durch Umfangsklemmung oder Verschraubung.
  • Messbereiche durch Controller-Anpassungen erweiterbar.
5. Sensorvarianten:
  • Verschiedene Sensoren für unterschiedliche Anwendungen, einschließlich Hochtemperatur- und Vakuumanwendungen.
6. Montageanleitungen:
  • Zylindrische Sensoren vorstehend oder bündig montierbar.
  • Gewindesensoren durch Montagemuttern befestigt.
Technische Spezifikationen:
Sensoren für Schockbelastungen von 30g/5 ms ausgelegt, Vibrationsbeständigkeit 20g bei 58-2000 Hz. Schutzart IP40. Materialien: NiFe und 1.4404.
Montage und Kompatibilität:
Empfohlene Befestigungsposition variiert. Kompatibel mit allen kapazitiven Controllern von Micro-Epsilon.
Messbereiche und Auflösung:
Verschiedene Messbereiche, statische Auflösung bis 0,06 nm, dynamische bis 40 nm.
Temperaturstabilität und Einsatzbereich:
Temperaturbereich von -50 bis 200 °C.
Montageoptionen:
Punkt- oder Umfangsklemmung, Flachsensoren durch Verschraubung.
Besondere Sensoren:
Für Hochtemperaturanwendungen bis +800 °C.
Zusammenfassung der Abmessungen:
Variieren je nach Modell.
Einleitung: Der Bericht beschreibt kapazitive Sensoren und Controller von Micro-Epsilon für anspruchsvolle Umgebungen.
Sensoren für anspruchsvolle Umgebungen:
  • capaNCDT CSH/SE: Zylindrische Sensoren, kompatibel mit allen kapazitiven Controllern.
  • capaNCDT CSH/FL/SE: Flachsensoren mit hoher Temperaturstabilität.
Technische Spezifikationen:
  • Messbereiche: Reduzierte, nominale und erweiterte Messbereiche.
  • Auflösung: Statische und dynamische Auflösungen.
  • Linearität und Tauschbarkeit: Hohe Linearität, ohne Neukalibrierung tauschbar.
  • Temperaturstabilität: Temperaturbereich von -269 bis 200 °C.
Controller-Technologie:
  • Multi-Channel Controller: Bis zu 8 Messkanäle, Mathematikfunktionen.
  • Synchronisation: Interne und externe Synchronisation.
  • Einbindung über Schnittstellen: RS485 und Ethernet.
Besondere Funktionen:
  • Webinterface: Einfache Bedienung über Web-Browser.
  • Verlängerung und Anpassung: Sensorkabel verlängerbar, Messbereiche anpassbar.
  • LC-Abgleich: Verbessert Linearität.
Fazit: Die kapazitiven Sensoren und Controller von Micro-Epsilon bieten hohe Flexibilität und Präzision für industrielle Anwendungen.
Kapazitives Hochleistungs-Messsystem capaNCDT 6200:
Modulares Messsystem für hochpräzise Messungen mit bis zu 4 Kanälen, hohe Auflösung, schnelle Messungen bis 20 kHz.
Modulares Mehrkanalsystem DT6220 / DT6230 / DT6240:
Flexible Systemkonfiguration, maximale Messrate von 3,906 kSa/s.
High-Performance Messsystem capaNCDT 6500:
Für bis zu 8 Sensoren, Subnanometer-Auflösung, modulare Erweiterbarkeit.
Anschlussmöglichkeiten:
Verschiedene Triaxkabeltypen für unterschiedliche Anwendungen.
1. Spezifikationen der Kabel:
Robustes Triaxkabel für industrielle Anwendungen, Trittfestes Triaxkabel mit Metallschutzschlauch.
2. Sensoren und Zubehör:
Verschiedene Sensormodelle verwenden Kabeltypen CCm und CCg.
3. Vakuumdurchführungen:
Schraubbare, schweißbare und flanschmontierte Vakuumdurchführungen.
4. Technische Hinweise:
Anforderungen an die Leitfähigkeit des Messobjekts.
5. Sensorsysteme:
combiSENSOR KSS6420 und KSB6430 für Dickenmessung, capaNCDT 61x4 für lange Signalübertragungswege.
Einleitung: Der Text beschreibt kapazitive Messsysteme von Micro-Epsilon für Automatisierungstechnik und industrielle Anwendungen.
capaNCDT 61x4: Flexibles System für Automatisierungstechnik, besonders für Roboter geeignet.
capaNCDT TFG6220: System zur Dickenmessung von elektrisch leitenden Folien.
capaNCDT CST6110: System zur berührungslosen Drehzahlmessung.
capaNCDT MD6-22: Mobiles Handmessgerät für Spalt- und Abstandsmessung.
capaNCDT DTV: System zur berührungslosen Messung der Bremsscheibendicke.
capaNCDT 62x9: Kapazitives OEM-Wegmesssystem mit exzellentem Preis-Leistungs-Verhältnis.
Fazit: Die Systeme von Micro-Epsilon bieten präzise und zuverlässige Lösungen für industrielle Messanforderungen.
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Katalogauszüge

Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Position // capaNCDT-1

Mehr Präzision. capaNCDT // Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Spalt

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Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Position // capaNCDT-2

Hochpräzise Sensoren für Industrie und High-Tech capaNCDT Kapazitive Sensoren für industrielle Applikationen Kapazitive Sensoren in Labor, Reinraum und Vakuum Sensoren der capaNCDT-Serie sind für die berührungslose Kapazitive Sensoren von Micro-Epsilon sind ideal geeignet für Messung von Weg, Abstand, Position und Dicke konzipiert. nanometergenaue Messungen in kontrollierten Umgebungen Dank ihrer hohen Signalstabilität und hervorragenden Auflö- wie Laboren, Rein- und Sauberräumen, Vakuumkammern oder sung überzeugen die Sensoren in zahlreichen Industriezwei- sauberen Produktionsstraßen. Dank der...

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Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Position // capaNCDT-3

Aufbau kapazitiver Systeme 10 Kapazitive Sensoren für OEM-Anwendungen 11 Sensoren Modelle ab Seite 14 Zylindrische Standardsensoren (Buchse) 16 19 Zylindrische Sensoren mit reduzierter Bauform (Buchse) Messbereiche: 0,1 mm bis 3 mm Zylindrische Sensoren mit Gewinde (Buchse) Messbereiche: 0,5 mm bis 3 mm Hochpräzise zylindrische Sensoren (integriertes Kabel) Messbereiche: 0,2 mm bis 2 mm Flachsensoren (integriertes Kabel) Messbereiche: 0,2 mm bis 3 mm Spaltsensoren (integriertes Kabel & Buchse) Messbereiche: 0,5 mm bis 6 mm Sensoren für anspruchsvolle Umgebungen: Hoch/Tief-Temperaturen, Magnetfelder,...

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Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Position // capaNCDT-4

■ Mehr Präzision: kapazitive Sensoren von Micro-Epsilon ■ Verschleißfreie und berührunglose Messung ■ Abstands- und Dickenmessung auf leitende und nicht leitende Objekte ■ Höchste Messgenauigkeit und Stabilität ■ Hohe Grenzfrequenz für schnelle Messungen ■ Ideal für industrielle Umgebungen mit hohen oder tiefen Temperaturen, Magnetfeldern und Vakuum Maximale Präzision dank innovativer Low-Noise-Technologie Die capaNCDT Sensoren basieren auf der Wirkungsweise des idealen Plattenkondensators. Der Sensor und das Messobjekt bilden die beiden Plattenelektroden. Durchfließt ein Wechselstrom mit konstanter...

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Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Position // capaNCDT-5

Enorme Einsatzbreite Abstandsmessung, Dicken und Spaltmessung mit höchster Präzision Abstandsmessung auf elektrisch leitende Messobjekte Dickenmessung von elektrisch leitfähigen Werkstoffen Spaltmessung zwischen elektrisch leitfähigen Oberflächen Das capaNCDT System erfasst den Um die Dicke von elektrisch leitfähigen Bei der Spaltmessung wird der Abstand Materialien zu messen, werden zwei Sen- zwischen zwei elektrisch leitenden Mate- der sich proportional mit dem Abstand soren auf gegenüberliegenden Seiten rialien bestimmt. Der Sensor erfasst den montiert. Jeder Sensor misst den Abstand Abstand...

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Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Position // capaNCDT-6

■ Maximale Vielfalt. Modernste Technologie. Weltweit führend. ■ Einfache Bedienung über performantes Webinterface mit Rechenfunktionen ■ Modulare Systeme mit 1 bis 8 Kanäle r- Kabel capaNCDT 6100 Kompaktes Einkanalsystem capaNCDT 6200 Modulares Mehrkanalsystem capaNCDT 6500 Mehrkanalsystem für höchste Auflösung Applikationsspezifische Modelle (weitere Infos ab Seite 60) Testsystem Foliendicke Dickenmessung von Folien- Aktive Sensoren für Schleppketten und Batteriebeschichtungen und lange Wege

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Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Position // capaNCDT-7

Volle Kompatibilität und Präzision ■ Sensoren, Kabel und Controller sind beliebig kompatibel ■ Sensortausch ohne Neukalibrierung ■ Optionaler LC-Abgleich („linearity calibration“) für noch höhere Präzision Optimale Materialeigenschaften -von Labor bis Industrie ■ 3artikelfreie und ausgasungsarme Materialien für Reinraum und Vakuum ■ Nicht-magnetische Materialien wie Titan und Edelstahl für Umgebungen mit starken Magnetfeldern ■ Robuste und temperaturbeständige Materialien: Mechanisch stabil für Einsatz bei Hoch- und Tieftemperaturen ■ Vakuum- und Reinraumtaugliche Kabel (ausgasungsarm) ■ Homogenes...

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Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Position // capaNCDT-8

■ Mehr Präzision & Stabilität 0 Maximale Signalstabilität Triaxialer Sensoraufbau mit aktivem Sensorkabel capaNCDT Sensor Herkömmlicher mit triaxialem Aufbau kapazitiver Wegsensor ■ Triaxialer Sensoraufbau: Messelektrode, Schutzringelektrode und Erdung ■ Schutzringelektrode sorgt für ein homogenes Messfeld: präzise Messungen mit höchster Signalstabilität ■ Besonders rauscharm: elektrisch geschirmtes Sensorkabel ■ Hochpräzise - auch bei sehr enger Anordnung mehrerer Sensoren nebeneinander ■ Äußerst langzeitstabil mit ±0,004 % d.M. / Monat 0 Enorme Anwendungsvielfalt Breitestes Controller- und...

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Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Position // capaNCDT-9

Benötigt kaum Platz an der Messstelle Passive & hochgradig partikelfreie Sensoren ■ Kein Offset, Messbereich beginnt direkt am Sensor ■ Integration in beengte Bauräume mit minimalem Aufwand ■ Kleinste Durchmesser bei zylindrischen Sensoren ■ Extrem flache Sensoren erhältlich ■ Keine Wechselwirkungen zwischen Sensor und Umgebung (z.B. Kraft- oder Wärmeübertragung) ■ Partikelfreie Sensoren und Sauber-Kabel ■ Spezielle Aufbautechnik des Sensors verhindert virtuelle Leaks ■ Ausgasungsarme Sensoren (Restgas-Analysen) ■ Große Auswahl an vakuumtauglichen Sensoren, Kabel und Durchführungen 0 Messung...

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Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Position // capaNCDT-10

■ Flexibel konfigurierbar von Standard bis OEM ■ Sensor mit Buchse / Sensor mit integriertem Kabel ■ Controller (bestehend aus Oszillator, Micro-Controller und Demodulator) ■ Anschlusskabel O" Vorverstärker, z.B. für lange Kabelstrecken ■ Vakuumdurchführung ■ Sonder- und Verlängerungskabel Versorgungskabel Controller Externer Vorverstärker Externer Vorverstärker CP6001 Dank der vollen Kompatibilität aller Systemkomponenten ergeben sich zahlreiche Kombinationsmöglichkeiten: 10

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Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand & Position // capaNCDT-11

Spezifische Sensoren für den OEM-Einsatz Wenn Standardlösungen an ihre Grenzen stoßen, passen wir unsere Sensoren und Controller individuell an Ihre Anforderungen an, z.B. Geänderte Bauformen Messobjektabstimmungen Befestigungsoptionen Individuelle Kabellängen Abgeänderte Messbereiche Sensoren mit bereits integriertem Controller Ausgangsarten und Schnittstellen OEM-Controller für kunden spezifisches Rack Messgerät zur Überprüfung der Innendurchmesser von Extruderbohrungen (2 Sensoren in einer Achse) Kundenspezifische Sensorbauform (Klemmbefestigung) Dual-Sensor mit 2 kapazitiven Sensoren in einem...

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Alle Kataloge und technischen Broschüren von MICRO-EPSILON

  1. Glasindustrie

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  2. Optik & Laser

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  1. Metal Industry

    8  Seiten

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