| confocalDT // Konfokal-chromatisches Sensorsystem

Die confocalDT Sensorreihe steht für höchste Präzision und Dynamik in der konfokal-chromatischen Messtechnik. Zahlreiche Sensoren und verschiedene Schnittstellen ermöglichen den Einsatz in vielfältigen Messaufgaben: z.B. in der Halbleiterindustrie, Glasindustrie, Medizintechnik und im Maschinenbau. Für jede Messaufgabe der richtige Sensor. Ob für den Einsatz bei hohen Temperaturen bis 200 °C, für beengte Bauräume, für Messungen auf gekrümmte Oberflächen oder für Nanometer genaue Messungen in der Halbleiterindustrie: die confocalDT Sensoren sind in unterschiedlichen Serien verfügbar, die in zahlreichen...

Übersicht confocalDT Einführung Absolute Abstandsmessung / Präzise Dickenmessung Konfokal-chromatische Sensoren Kompaktsensoren und Sensoren für die Serienanwendung Abstandsmessung Dickenmessung Präzise Universalsensoren Abstandsmessung Dickenmessung Sensoren für spezielle Anforderungen Abstandsmessung Dickenmessung Abstandsmessung Dickenmessung Hochpräzise Sensoren Abstandsmessung Dickenmessung Konfokal-chromatische Controller Kompakte Controller für industrielle Serienanwendungen Kompakte Controller für präzise und schnelle Inlineprozesse Konfokale Universalcontroller für industrielle Anwendungen...

Messprinzip und Besonderheiten confocalDT Das konfokal-chromatische Messprinzip Polychromatisches Licht (Weißlicht) wird durch eine mehrlinsige Optik auf die Messobjektoberfläche fokussiert. Die spezielle Linsenanordnung zerlegt das Weißlicht durch kontrollierte chromatische Aberration in seine monochromatischen Wellenlängen. Jeder Wellenlänge ist durch die werkseitige Kalibrierung ein bestimmter Abstandspunkt zugeordnet. Zur Messung wird diejenige Lichtwellenlänge herangezogen, die sich exakt auf dem Messobjekt fokussiert. Das von diesem Punkt reflektierte Licht wird über eine optische Anordnung...

Kleinster Lichtpunkt für hohe laterale Auflösung 1 nm Auflösung < 1,5 µm laterale Auflösung Die confocalDT Sensoren sind mit unterschiedlichen Öffnungswinkeln verfügbar. Ein ±40 nm Linearität großer Öffnungswinkel mit hoher numerische Apertur (NA-Zahl) ermöglicht einen kleinen Lichtpunkt (X-Y Auflösung) sowie eine hohe Z-Auflösung, wodurch kleinste Details mit Lichtpunkt <3 µm: hoher Genauigkeit erfasst werden. Die Größe des Lichtpunkts bleibt über den gesamten Dank der kleinen Fokussierung werden kleinste Details und Strukturen zuverlässig erfasst. Messbereich nahezu konstant. Großer Messwinkel...

Absolute Abstandsmessung confocalDT Hochpräzise Weg- und Abstandsmessung auf nahezu allen Oberflächen Die konfokalen Sensorsysteme von Micro-Epsilon werden zur hoch auflösenden Weg- und Abstandsmessung eingesetzt. Dank der innovativen Technologie können die Messungen sowohl auf diffusen als auch auf spiegelnden Oberflächen mit hoher Stabilität durchgeführt werden. Dank der hohen Messrate können schnellen Prozesse zuverlässig überwacht werden. Abstandsmessung auf transparente Objekte Bei der Konturvermessung oder Positionierung von erforderlich. Die confocalDT Sensoren erfassen gekrümmte Oberflächen...

Präzise Dickenmessung confocalDT 5 Schichten mit einem Sensor Signal bei Mehrschicht-Dickenmessung mit max. 6 Peaks Mikrometergenaue Dickenmessung transparenter Objekte Die confocalDT Sensoren ermöglichen die Dickenmessung von transparenten Materialien. Dabei erfasst ein Sensor die Materialdicke mikrometergenau. Dank der integrierten Mehrschichtmessung kann die Dicke von mehrschichtigen Objekten, etwa von Verbundglas, ausgewertet werden. Hierbei kann für eine exakte Dickenmessungen für jede Schicht das passende Material ausgewählt werden. Präzise abstandsunabhängige Dickenmessung dank Dickenkalibrierung...

Applikationen confocalDT Durch zahlreichen Fertigungsschritte entstehen bei der Waferher- Konfokal-chromatische Sensoren überwachen den Spalt zwischen stellung mechanische Spannungen, die zu einer Verkrümmung oder Maske und Glas. Dank der 90°-Bauform können die Sensoren Verformung des Wafers führen kann. Diese Verformung wird berüh- äußerst platzsparend integriert werden. rungslos und hochpräzise gemessen. Vermessung von Linsenprofilen während des Schleifprozesses Linsen polieren/schleifen Mit einem chromatisch-konfokalen Sensor wird das Linsenprofil Simultane Erfassung der Mittendicke von Linsen...

Automatische Bestückung von Leiterplatten Die Sensormodelle IFS2404 eignen sich hervorragend zur Positions-, Die kompakten Modelle confocalDT 2410 / 2415 verfügen über einen Lagen- und Höhenüberwachung in Echtzeit bei der automatisierten integrierten Controller. Da kein Lichtwellenleiter benötigt wird, eignet Bestückung von SMD-Bauteilen. So entsteht ein effizienter, automati- sich der platzsparende Sensor insbesondere für den dynamischen sierter Prozess mit hoher Qualität und minimaler Nacharbeit. Dickenmessung von Display- und Flachglas Messung in beengte Bauräume Glasscheiben für die Herstellung...

Applikationen confocalDT Messung der Armhöhenposition im Vakuum Dickenmessung von medizinischem Behälterglas In Vakuum-Prozessanlagen (z. B. Halbleiterfertigung) muss die Z-Po- Die Boden- und Wandstärke ist ein wichtiges Qualitätskriterium für sition (Arm-/Greiferhöhe) von Handling- oder Transferarmen präzise medizinisches Behälterglas. Zur schnellen Ermittlung der Glasdi- überwacht werden, um Kollisionen zu vermeiden, definierte Abstände cke am Glasboden werden konfokal-chromatische Sensoren von einzuhalten und eine wiederholgenaue Positionierung sicherzustel- Micro-Epsilon eingesetzt. Die Dickenmessung...