Mehr Präzision. confocalLINE Konfokaler Liniensensor für hochpräzise & schnelle 3D-Messungen

Konfokaler Liniensensor für hochpräzise & schnelle 3D-Messungen confocalLINE CLI8500 Höchste Präzision in der konfokalen Linienmessung confocalLINE verbindet die Präzision konfokal-chromatischer Messtechnik erstmals mit der Geschwindigkeit einer hochauflösenden Linienerfassung. Mit bis zu 2.624 Messpunkten pro Profil erfasst der CLI8500 feinste 2D- und 3D-Strukturen – auch auf spiegelnden, transparenten und anspruchsvollen Oberflächen. Die integrierte SMART-Auswertung ermöglicht zudem komplette Messaufgaben direkt im Sensor – von der Halbleiterindustrie über die Elektronik- und Batterieproduktion...

10 Mio. Innovative Technologie für hochpräzise Messungen Punkte pro Messung Umlenkspiegel Die confocalLINE Sensoren nutzen das konfokal-chromatische Messprinzip, bei dem Weißlicht durch eine spezielle Optik in seine Spektralfarben aufgeteilt und linienförmig auf das Messobjekt projiziert wird. Jede Wellenlänge des Spektrums entspricht dabei einem definierten Abstand. Aus dem reflektierten Licht bestimmt der Sensor für jeden Messpunkt den Abstand zur Oberfläche. Die 2.624 Messpunkte pro Linie ergeben ein hochauflösendes Höhenprofil. Durch das Aneinanderreihen der Profile werden 3D-Punktewolken...

Vorteile & herausragende Features confocalLINE CLI8500 Ultraschnell und stabil auf allen Oberflächen Der confocalLINE CLI8500 überzeugt durch eine außergewöhnlich hohe Signalstabilität auf unterschiedlichsten Oberflächen und liefert mit bis zu 10.000 Profilen/Sekunde eine exzellente Messgeschwindigkeit. Der Sensor generiert auch bei matten, reflektierenden und transparenten Materialien zuverlässige und reproduzierbare Messergebnisse – selbst Objekte mit wechselnden Oberflächeneigenschaften werden sicher erfasst. Das ermöglicht stabile Messwerte und hohe Prozesssicherheit in der industriellen...

Großer Messbereich mit höchster Punktdichte Die konfokal-chromatischen Linienscanner erfassen Profile mit Linienlängen von 7 mm in der X-Achse. Mit 2.624 Messpunkten 14,7 mm pro Profil entstehen hochauflösende 2D-Profildaten und präzise 3D-Punktewolken – zuverlässig und weitgehend unabhängig von der Oberflächenbeschaffenheit. Durch die linienförmige Erfassung lassen sich vollständige Scans deutlich schneller erzeugen als mit herkömmlicher Punktsensorik. Höchste Präzision bis ins Detail 2,1 mm Mit 2,7 µm lateraler Auflösung und 200 nm Auflösung in Z erfasst der CLI8500 feinste Strukturen und Höhenunterschiede...

Anwendungsbeispiele confocalLINE Präzise Erfassung der Wafer-Topografie Die Vermessung von Wafer-Topografien erfordert die Erfassung feinster Höhenunterschiede. Der confocalLINE CLI8500 erzeugt über die Messlinie ein detailliertes Höhenprofil, anhand dessen Ebenheit, Welligkeit, Stufen, Kanten und lokale Defekte bewertet werden können. Die berührungslose Messung verhindert dabei eine mechanische Belastung der empfindlichen Waferoberfläche. Messung von BGA-Radius, Höhe und Form Präzise Geometrieprüfung bei der Displaymontage Bei BGAs werden die einzelnen Lotkugeln hinsichtlich Form, Höhe Bei der...

Geometrieprüfung von medizinischen Implantaten Der CLI8500 erfasst die Oberflächenkontur von Stents hochauflösend und ermöglicht die zuverlässige Prüfung von Maßhaltigkeit, Stegbreiten, Höhenunterschieden und möglichen Verformungen. Die berührungslose Messung verhindert zugleich eine mechanische Belastung der empfindlichen Strukturen. PIN-Vermessung Mikrostecker Bei Mikrosteckern müssen Höhe, Position, Planarität und mögliche Wendeschneidplatten sind austauschbare Schneideinsätze, die in Verformungen der Pins zuverlässig kontrolliert werden. Der CLI8500 Zerspanungswerkzeugen zum Drehen, Fräsen...

[1] Wert nach einmaliger Mittelung über die Messfeldbreite (2.624 Punkte) [2] Maximaler Messwinkel des Sensors, der auf diffus reflektierenden Oberflächen ein verwertbares Signal erzeugt - die Genauigkeit nimmt ab, wenn die Grenzwerte erreicht werden. Bei Oberflächen mit direkter Reflexion kann sich der Wert auf bis zu ±35° reduzieren

Einfache Montage Für eine einfache und reproduzierbare Montage ist ein Zentrierdorn mit Adapterplatte erhältlich. Dieser erleichtert die präzise Ausrichtung des Sensors und sorgt so für eine schnelle und zuverlässige Befesigung. Darüber hinaus bietet der Zentrierdorn die Möglichkeit, den Sensor gezielt in einem Winkel zu montieren. Dies ist insbesondere bei anspruchsvollen Messaufgaben oder speziellen Target-Geometrien von Vorteil, da eine schräge Sensorausrichtung eine verbesserte Signalstabilität erz

Schleppketten- und robotertaugliches Kabel für Stromversorgung, Digitale I/Os, Sync, Industrial Ethernet Kabellänge in Meter: 2 / 5 / 10 / 15 / 25 / 35 Ethernet-Anschlusskabel SCR8500X-X Schleppketten- und robotertaugliches Kabel für Parametrierung, Messwert- und Profildatenübertragung Kabellänge in Meter: 2 / 5 / 10 / 15 / 25 / 35 Schleppketten- und robotertaugliches Kabel 3-polige M8-Buchse auf offene Enden Kabellänge in Meter: 5

SMART Schnell und intuitiv zur hochpräzisen 3D-Lösung 3D DATA Höchste Präzision mit maximaler Integrationsflexibilität Direkte Messwertausgabe = Auswertung im Sensor Integration in Bildverarbeitung = Auswertung extern Integration in eigene Software = Auswertung extern - Messwerte direkt an SPS übertragen - Sensorsteuerung über Standardprotokolle - Bewertung der Ergebnisse IO/NIO und Ausgabe über digitale Ausgänge oder Feldbus - Standardisierte Schnittstellen: GenICam / GigE Vision - Direkte Verbindung zu kompatibler Vision-Software - Beispiele für die Einbindung in unterschiedliche Programme...