Weißlicht-Interferometer zur berührungslosen Abstands- und Dickenmessung
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Mehr Präzision. interferoMETER // Hochpräzise Weißlicht-Interferometer

Hochpräzise Weißlicht-Interferometer interferoMETER Die innovativen Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon setzen Daraus ergeben sich Vorteile für die Messung: eine Benchmark in der hochpräzisen Abstands- und Dickenmessung. bsolute Messungen mit höchster Präzision, auch bei A Die Sensoren ermöglichen stabile Messergebnisse mit einer SubNanometerauflösung und verfügen über einen vergleichsweise großen Messbereich und Grundabstand. bewegten Messobjekten reite Einsatzmöglichkeiten: Abstandsmessung, Multipeak B messung mehrerer Schichten und Dickenmessung auch von dünnen Schichten...

Allgemeine Informationen Unerreichte Präzision für industrielle Serienanwendungen Einsatzmöglichkeiten - für jede Anwendung das passende System System Typ Einsatz Auflösung Seite Abmessungen / Zubehör

Laser: Referenz nötig, verliert Position nach Signalunterbrechung Weißlicht: Keine Referenz, absoluter Messwert vor und nach einer Signalunterbrechung ■ Unerreichte Präzision in der Abstands- und Dickenmessung interferoMETER Die Vorteile der absoluten Messung Während Micro-Epsilon Weißlicht-Interferometer absolute Messwerte liefern, sind gängige Laser-Interferometer prinzipbedingt relativ messend. Die IMS Weißlichtinterferometer messen demnach stabil und absolut ohne vorherige Referenzierung. Das ist insbesondere bei Signalunterbrechungen, verursacht durch z.B. Stufen, Löcher oder...

Leistungsstarke Controller Die interferoMETER sind mit individuellen Kalibrierprotokollen ausgestattet, die die erreichte Präzision dokumentieren. Multi-Peak Modelle Intelligente Signalverarbeitung Robustes Aluminium Gehäuse und langlebige SLED Äußerst temperaturstabil durch passive Kühlung Höchste Auflösung < 30 pm Einfache Parametrierung über Webinterface Tauschbarer Controller (IMS5400) Einfache Bedienung über Webinterface Die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren wird ohne zusätzliche Software über ein einfach zu bedienendes Webinterface durchgeführt. Das Webinterface...

Unerreichte Präzision für industrielle Serienanwendungen interferoMETER Höchste Z-Auflösung und kleiner Lichtfleck 5 µm Lichtfleck Die Sensoren erzeugen einen kleinen Lichtfleck, der im gesamten Messbereich nahezu konstant ist. Der Lichtfleckdurchmesser ermöglicht die Erfassung kleiner Details wie z.B. Strukturen auf Halbleitern und miniaturisierten Elektronikbauteilen. Pilotlaser zur exakten Anzeige des Messpunkts Weißlicht-Interferometer arbeiten mit infrarotem, nicht sichtbarem Licht (ca. 840 nm Wellenlänge), wodurch die Messposition nicht direkt erkennbar ist. Zur Visualisierung der...

Einsatzmöglichkeiten - für jede Anwendung das passende System interferoMETER Absolute Abstandsmessung Messobjekte: Optisch dichte sowie Messobjekte: Transparente Objekte (bis 840 nm) transparente Objekte Stabile Dickenmessung Stabile Mehrschicht-Dickenmessung Stabile Dickenmessung einer Schicht Maximal 5 Dickenwerte von einzelnen Schichten (und deren Kombinationen) Messobjekte: Transparente Messobjekte Messobjekte: Transparente Objekte (bis 840 nm)

Applikationen interferoMETER Beim Zuführen von Wafern werden Weißlicht-Interferometer eingesetzt, Weißlichtinterferometer der Serie IMS5400-TH werden zur Inline- um die horizontale Verkippung von Wafern zu messen. Die Interfero- Dickenüberwachung von Folien eingesetzt. Die Dickenwerte werden meter liefern absolute Abstandswerte bei einer Subnanometer-Auflö- mit hoher Messrate mikrometergenau erfasst, selbst wenn die Folie sung. Durch die Messung wird eine größtmögliche Lagegenauigkeit geringfügig flattert. bei der Aufnahme und Entnahme von Wafern sichergestellt. Positionsmessung beim...

Prüfung der Konzentrizität von Achsen Weißlicht-Interferometer werden zur Ausrichtung von Fotomasken Zur optischen Abtastung von Präzisionsachsen werden drei IMS5400- eingesetzt. Die Interferometer liefern absolute Messwerte im Subna- DS eingesetzt, die auf das drehende Teil messen. Dank der Anord- nometerbereich und ermöglichen die hochpräzise Positionierung der nung können einzelne Spuren in kurzer Taktzeit erfasst werden. Maske. Der Einsatz kann dabei auch im Vakuum erfolgen. Hochpräzise Dickenmessung von transparenten Schichten Zwei gegenüberliegend angeordnete Weißlichtinterferometer...

Absolute Abstandsmessung mit Nanometer-Auflösung interferoMETER 5400-DS Absolute Messung mit Nanometer-Auflösung Kompakte und robuste Sensoren mit großem Grundabstand Messrate bis zu 6 kHz für schnelle Messungen Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP Robuster Controller mit passiver Kühlung Einfache Konfiguration über Webinterface Absolute Abstandsmessung mit Nanometerauflösung Absolute Messung von Stufenprofilen Das Weißlicht-Interferometer IMS5400-DS eröffnet neue Perspektiven in der industriellen Abstandsmessung. Der Controller verfügt über I MS5400-DS auch die Messung von...

Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (24 ±2 °C) 11 Messrate 0,5 kHz, gleitende Mittelung über 64 Werte, differentiell gemessen zwischen Vorder- und Rückseite einer dünnen Glasplatte in Messbereichsmitte (2 Sigma) 2) Maximale Abweichung zu Referenzsystem über den gesamten Messbereich, gemessen auf Vorderfläche ND-Filter 3) In Messbereichsmitte 4) Maximale Verkippung des Sensors, bis zu der auf einem polierten Glas (n = 1,5) in der Messbereichsmitte ein verwertbares Signal erzielt werden kann, wobei die Genauigkeit zu den Grenzwerten abnimmt 5 Nicht transparente Materialien...

Stabile Dickenmessung mit Submikrometer-Auflösung interferoMETER 5400-TH Nanometergenaue Dickenmessung auch bei Abstandsschwankung Stabile Messung aus großem Abstand Präzise Dickenmessung von bis zu 5 Schichten Messrate bis zu 6 kHz für schnelle Messungen Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP Stabile Dickenmessung bei schwankenden Messabständen Zuverlässig auch bei flatterndem Material Das Weißlicht-Interferometer IMS5400-TH eröffnet neue Perspektiven Ein entscheidender Vorteil ist die abstandsunabhängige Messung, bei in der industriellen Dickenmessung. Das Interferometer...