more than technology Das Wendemodul ist eine Lösung zum Wenden von Werkstücken wie beispielsweise Wafer oder Displays. Die Werkstücke werden «umstülpt», das heisst in der Transportachse gewendet. Die Zu- und Wegführung zum Wendemodul erfolgt mit Transportbändern. Das Wendemodul hat spezielle Gurte aus geschäumtem Material, die sehr weich sind und die Werkstücke festdrücken. Dadurch wird ein schonendes Wenden der Werkstücke gewährleistet. Bei mehrspurigem Betrieb mit Wafern und einem seitlichen Abstand von 171 mm von Bandmitte zu Bandmitte, muss jeweils das zweite Wendemodul um 155 mm in Transportrichtung versetzt montiert werden. VORTEILE: > Schonendes Wenden > Weiche Gurte aus geschäumtem Material > Nur kurze Verzögerung beim Prozess > Normaler Transport ohne Wenden möglich > Geringer Platzbedarf bei mehrspurigem Betrieb

5 5 µm gefilterte, geölte oder ungeölte Luft, Taupunkt < 6°C Antriebsmedium Pneumatikanschluss Motorleistung Bandantrieb Versorgungsspannung/Strom Motorleistung Wendeantrieb Nennspannung Regler Zykluszeit mit Wafer 156 x 156 mm min. 1.5 (einfahren – wenden – ausfahren) Zykluszeit (Folgezyklus) Temperatur Rel. Luftfeuchtigkeit Reinheitsgrad der Luft 10–40 <95% (ohne Kondenswasserbildung) normale Werkstattatmosphäre