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ASM 390 UND ASM 392 - Mobile Lecksucher für schnelles Abpumpen und kurze Ansprechzeiten bei großen Prüflingen optimiert.

ASM 390 UND ASM 392 - Mobile Lecksucher für schnelles Abpumpen und kurze Ansprechzeiten bei großen Prüflingen optimiert.

Zusammenfassung des Produktkatalogs
Einleitung
Der ASM 390 und ASM 392 sind mobile Lecksucher, die speziell für die Halbleiter- und Displayindustrie sowie andere anspruchsvolle Anwendungen entwickelt wurden. Sie zeichnen sich durch schnelle Abpumpzeiten und hohe Empfindlichkeit aus und sind konform mit der Semi S2-Richtlinie.
Technische Spezifikationen
  • Nachweisbare Gase: 4He, 3He, H2
  • Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium: 1·10­12 mbar l/s (Vakuumlecksuche), 1·10­8 mbar l/s (Schnüffellecksuche)
  • Saugvermögen für He: 10 l/s (ASM 390), 25 l/s (ASM 392)
  • Vorvakuum-Saugvermögen: 35 m3/h
  • Max. Einlasstestdruck: 20 mbar
  • Ansprechzeit: < 1 s
  • Schallleistung: ≤ 55 dB (A)
  • Betriebstemperatur: 10­-35 °C
  • Versorgung: 100­-240 V, 50/60 Hz
  • Gewicht: 125 kg (ASM 390), 130 kg (ASM 392)
Design und Ergonomie
Die Geräte sind ergonomisch gestaltet mit einem drehbaren Touch-Panel-Farbdisplay und einer modularen Werkzeugbox. Sie sind kompakt und wendig, was den Zugang zu engen Testbereichen erleichtert.
Anwendungen
  • Halbleiterindustrie
  • Großflächenbeschichtung
  • Solarindustrie
  • Beschleuniger
  • Vakuumkomponenten
  • Lasertechnologie
  • Reinstmedienversorgung
  • Elektronik
  • Luftfahrt
  • Medizintechnik
Vorteile
  • Hohe Lecksuchperformance
  • Schnelle Evakuierung durch hohe Vorpumpenleistung
  • Trockene und saubere Pumpentechnologie
  • Geringer Wartungsaufwand
  • Intuitives Menü zur einfachen Bedienung
  • Integrierte Werkzeugbox
  • Hohe Empfindlichkeit und genaue Messungen
Zubehör
  • Flaschenhalter
  • Fernbedienung RC10
  • Sicherungshalterung
  • Standard Schnüffelsonde
  • Externe Kommunikationsbox ECB-Wifi
  • Helium-Sprühpistole
  • Einlassfilter für Nebel
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Katalogauszüge

ASM 390 UND ASM 392 - Mobile Lecksucher für schnelles Abpumpen und kurze Ansprechzeiten bei großen Prüflingen optimiert.-1

ASM 390 UND ASM 392 Mobile Lecksucher für schnelles Abpumpen und I kurze Ansprechzeiten bei großen Prüflingen optimiert

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ASM 390 UND ASM 392 - Mobile Lecksucher für schnelles Abpumpen und kurze Ansprechzeiten bei großen Prüflingen optimiert.-2

Mobile Lecksucher für schnelles Abpumpen und kurze Ansprechzeiten bei großen Prüflingen optimiert Überlegene Leistung, schnelle Prüfung Der ASM 390 und der ASM 392 sind die besten Lecksuch­ lösungen für die Halbleiter- und Display-Industrie sowie für andere anspruchsvolle Anwendungen, bei denen kurze Abpumpzeiten und eine hohe Empfindlichkeit von entschei­ dender Bedeutung sind. Beide sind konform mit der Richtlinie Semi S2. Die Lecksucher sind mit einer ölfreien, berührungslos arbei­ tenden Vorvakuumpumpe und einer leistungsstarken Hoch­v ­ akuumpumpe ausgestattet. Damit sind sie für die Dichtheits­...

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ASM 390 UND ASM 392 - Mobile Lecksucher für schnelles Abpumpen und kurze Ansprechzeiten bei großen Prüflingen optimiert.-3

Anwendungen ■ Halbleiterindustrie ■ Großflächenbeschichtung ■ Solarindustrie ■ Beschleuniger ■ Vakuumkomponenten - Durchführungen, Ventile, Bälge, dehnbahre Verbindungen ■ Lasertechnologie ■ Reinstmedienversorgung ■ Elektronik ■ Luftfahrt ■ Medizintechnik PFEIFFER^ VACUUM

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ASM 390 UND ASM 392 - Mobile Lecksucher für schnelles Abpumpen und kurze Ansprechzeiten bei großen Prüflingen optimiert.-4

Technische Daten Nachweisbare Gase Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumlecksuche) Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Schnüffellecksuche) Saugvermögen für He Vorvakuum-Saugvermögen Max. Einlasstestdruck Aufwärmzeit (20°C) ohne Kalibrierung Anschlussflansch (Eingang) Ansprechzeit Schnittstellen Schallleistung Betriebstemperatur Versorgung Leistungsaufnahme Leistungsaufnahme max. Gewicht Abmessungen (LxWxH) 35 m3/h 20 mbar (und zusätzlich Massiv Mode) 2 min DN 40 ISO-KF < 1 s RS-232, I/O, Ethernet (weitere Details finden Sie in der Betriebsanleitung) < 55 dB (A) 10-35 °C 100-240...

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ASM 390 UND ASM 392 - Mobile Lecksucher für schnelles Abpumpen und kurze Ansprechzeiten bei großen Prüflingen optimiert.-5

Sehr wendig und kompakt Überlegene Lecksuchperformance Großes, drehbares Touch-Panel-Farbdisplay Hohe Vorpumpenleistung (35 m3/h) für schnelle Evakuierung Trockene und saubere Pumpentechnologie Geringer Wartungsaufwand Ergonomisches Design mit Arbeitsfläche Schnelle Erholzeit bei Verschmutzung Intuitives Menü zur einfachen Bedienung Integrierte Werkzeugbox zum Aufbewahren von Werkzeug und Zubehör Kurze Hochlaufzeit Hohe Empfindlichkeit

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VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment. KOMPETENZ IN THEORIE UND PRAXIS Nutzen Sie unser Know-how und unsere Schulungsangebote! Wir unterstützen Sie bei der Anlagenplanung und bieten erstklassigen Vor-Ort-Service weltweit. Sie suchen eine perfekte Pfeiffer Vacuum GmbH Vakuumlösung?...

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Alle Kataloge und technischen Broschüren von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.