PFEIFFER W^VACUUM ^Know-how Book

PFEIFFER m-VACUUM

2 Vakuumtechnik und Know-how / Inhalt 1 Einführung in die Vakuumtechnik 1.1 Allgemeines Druck – Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 Allgemeine Gasgleichung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 Teilchenzahldichte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 Thermische Teilchengeschwindigkeit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 Mittlere freie Weglänge . . . . . . . . ....

2 Vakuumtechnik und Know-how / Inhalt 3.3.1 Nicht lösbare Verbindungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.3.1.1 Schweißen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.3.1.2 Löten, Verschmelzen und Metallisieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.3.2 Lösbare Flanschverbindungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.3.2.1 O-Ring-Dichtungen und Nuten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.3.2.2...

2 Vakuumtechnik und Know-how / Inhalt 4.2.1 Aufbau / Funktionsprinzip . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4.2.2 Anwendungshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4.2.3 Portfolioüberblick . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4.2.3.1 Einstufige Drehschiebervakuumpumpen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4.2.3.2 Zweistufige Drehschiebervakuumpumpen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4.2.3.3...

2 Vakuumtechnik und Know-how / Inhalt 4.9.1 Aufbau / Funktionsprinzip . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4.9.1.1 Funktionsprinzip Turbomolekularpumpe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4.9.1.2 Funktionsprinzip Holweckstufe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4.9.1.3 Pumpeigenschaften von Turbopumpen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4.9.2 Anwendungshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4.9.3 Portfolioüberblick...

2 Vakuumtechnik und Know-how / Inhalt Aufbau eines Lecksuchers mit Massenspektrometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Aufbau eines Lecksuchers mit Quarzfensterdetektor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Prüfverfahren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Kalibrierung des Lecksuchers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Lokale Lecksuche . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Integrale Lecksuche . . . . ....

VORVAKUUM Feinvakuum Grobvakuum Druck Moleküle Mittlere freie (hPa) in 1 cm 3 Weglänge Arbeitsbereiche wichtiger Typische Vakuumanwendungen Nordlicht sichtb. interst. Gaswolke Elektronen-Mikroskopie · Kernphysik · Plasmaphysik · Hochenergiephysik Teilchenbeschleuniger · Speicherringe Ionenfalle Cern Dünne Schichten Weltraumsimulation · Tieftemperatur-Forschung Gefriertrocknen – Verpackungsindustrie Entgasen, Giessen, Trocknen, Vakuumschmelzen (Reinst-Metalle) Glühlampenherstellung Elektronenröhren Mech. + Kapazitive Messgeräte Wärmeleitungsvakuummeter Penningvakuummeter Ionisationsvakuummeter...

1.1 Allgemeines 1.1.1 Vakuum – Definition Als Vakuum bezeichnet man umgangssprachlich den Zustand in einem Raum bei Drücken unterhalb des Atmosphärendrucks. Der Druck kann dabei von Gasen oder Dämpfen erzeugt werden, die im Raum gleichmäßig verteilt sind. Normgerecht wird Vakuum definiert als „der Zustand eines Gases, wenn in einem Behälter der Druck des Gases und damit die Teilchenzahldichte niedriger ist als außerhalb oder wenn der Druck des Gases niedriger ist als 300 mbar, d. h. kleiner als der niedrigste auf der Erdoberfläche vorkommende Atmosphärendruck.“[2] 1.1.2 Vakuum im Überblick Der...

2 Vakuumtechnik und Know-how / Einführung in die Vakuumtechnik In der Praxis hat man es nur in Ausnahmefällen mit einem einheitlichen Gas zu tun. Wesentlich häufiger sind Gemische aus verschiedenen Gasarten. Jede einzelne Gaskomponente übt einen spezifischen Druck aus, den man unabhängig vom Druck der anderen Komponenten messen könnte. Dieser Komponentendruck wird als Partialdruck bezeichnet. Bei idealen Gasen addieren sich die Partialdrücke der einzelnen Komponenten zum Totaldruck, ohne sich gegenseitig zu stören. Die Summe aller Partialdrücke ist gleich dem Totaldruck. Chem. Formel Teildruck...

Im Weltraum können je nach Nähe zu Galaxien Drücke unterhalb von 10-18 hPa herrschen. Auf der Erde wurde über technische erzeugte Drücke von weniger als 10-16 hPa berichtet. Der Bereich von Atmosphärendruck bis 10-16 hPa überstreicht 19 Zehnerpotenzen. Spezifisch auf den jeweiligen Druckbereich angepasste Arten der Vakuumerzeugung und -messung führen zu der in Tabelle 1.2 gezeigten Unterteilung der einzelnen Druckbereiche. Die Maßeinheit des Drucks ist das Pascal. Die Einheit wurde nach dem französischen Mathematiker, Physiker, Literaten und Philosophen Blaise Pascal (1623 – 1662) benannt. Die...

2 Vakuumtechnik und Know-how / Einführung in die Vakuumtechnik 1.2.3 Teilchenzahldichte Aus Formel 1-7 und Formel 1-8 wird ersichtlich, dass der Druck proportional zur Teilchenzahldichte ist. Wegen der großen Zahl der Teilchen pro Volumeneinheit bei Normalbedingungen folgt, dass auch beispielsweise bei einem Druck von 10-12 hPa noch 26.500 Moleküle pro cm³ vorhanden sind. Deshalb kann man selbst im Ultrahochvakuum noch nicht von einem leeren Raum sprechen. Im Weltraum wird es bei extrem niedrigen Drücken immer weniger griffig, vom Druck in der Einheit Pascal zu sprechen, z. B. kleiner als 10-18...