Leading. Dependable. Customer Friendly . Pfeiffer V acuum stands for innovative and custom vacuum solutions worldwide, for German engineering art, competent advice and reliable service. Ever since the invention of the turbopump, we’ve been setting standards in our industry and this claim KtoOMPENDIUM us in the future. leadership will continue to drive Germany Pfeiffer V acuum GmbH Headquarters Phone: +49 (0) 6441 802-0 info@pfeiffer -vacuum.de Are you looking for a perfect vacuum solution? Please contact us: Benelux Pfeiffer V acuum GmbH Sales & Service Benelux Phone: +800-pfeiffer benelux@pfeiffer -vacuum.de China Great Britain Pfeiffer Vacuum Ltd. Phone: +44 1908 500600 sales@pfeiffer -vacuum.co.uk Sweden Pfeiffer V Phone: + sales@pf India Pfeiffer V acuum India Ltd. Phone: +91 40 2775 0014 [email protected] Switzerla Pfeiffer V Phone: + info@pfe Italy Pfeiffer V acuum Italia S.p.A. Phone: +39 02 93 99 05 1 United S Pfeiffer V Phone: +

Impressum Autor: Autorenteam Veröffentlicht von: Pfeiffer Vacuum GmbH, Headquarters Berliner Strasse 43, D-35614 Asslar/Deutschland T +49-(0) 6441-802-0, F +49-(0) 6441-802-1202 [email protected], www.pfeiffer-vacuum.de Änderungen vorbehalten Hinweis Lecksuche-Kompendium Die in diesem Kompendium enthaltenen Informationen und werblichen Aussagen und insbesondere die Beschreibungen, Fotos, Abbildungen, Zeichnungen, Beispiele und Informationen zu Qualität, Beschaffenheit, Zusammensetzung, Leistung, Verbrauch und Nutzbarkeit sowie die Abmessungen und Gewichte der enthaltenen Produkte können...

2 Theoretische Grundlagen der Lecksuche 9 2.3 Formeln für Berechnungen zur Lecksuche 11 2.3.7 Umrechnung von Gasleckageraten im laminaren Strömungsbereich 18 2.3.8 Umrechnung von Gasleckageraten im molekularen Strömungsbereich 18 2.3.9 Umrechnung einer Flüssigkeitsleckagerate in eine Gas leckagerate 19 2.3.10 Durch Flüssigkeiten verschlossene Lecks 20 2.3.11 Massenverlustraten und Gasleckageraten im laminaren Strömungsbereich 21 2.3.12 Massenverlustraten und Gasleckageraten im molekularen Strömungsbereich 21 2.3.13 Standardisierte Leckagerate - Druckabhängigkeit 21 3.4 Physikalische Eigenschaften...

6 Methoden der Lecksuche und Dichtheitsprüfung 50 6.2 Integraltest von Gegenständen, die im Vakuum eingeschlossen sind 52 7 Auswahl eines Lecksuchverfahrens 61 7.4 Lecksuche mit Prüf gasen 62 7.5 Prüf gase und geeignete Analysegeräte 63 8 Industrielle Dichtheitsprüfung und Helium-Rückgewinnungsanlagen 64 9 Lecksuchseminare und praktische Schulungen 72 11.2 Helium-Lecksucher - Baureihen und Anwendungen im Überblick 76

1.1 Was ist ein Leck? – Definition Ein Leck wird definiert als eine Struktur in der Wand eines Objekts, die in der Lage ist, Gase und Flüssigkeiten von der einen Seite der Wand zur anderen durchzulassen. Bei dieser Struktur kann es sich um ein Loch, eine Porosität, einen mediendurchlässigen Bereich oder eine beliebige andere Struktur handeln. Jedes technische Objekt weist solche Fehlstellen auf. Aus diesem Grund ist nicht zu erwarten, dass der Durchfluss eines Mediums durch die Wand gleich Null ist. Daher können die Begriffe „Dichtigkeit” oder „dicht” nicht absolut verwendet werden – es gibt...

Absorption Einlagerung in Feststoffen oder Flüssigkeiten. Erfolgt nach der Adsorption Adsorption Anlagern von Gasen auf der Oberfläche von Feststoffen oder Flüssigkeiten Permeation Besteht aus Adsorption, Diffusion, Desorption Desorption Freisetzung angelagerter Gase von der Oberfläche Leck Ein Loch in der Wand Niedriger Druck Hoher Druck Abbildung 1-1: Wechselwirkungen zwischen den Oberflächen einer Vakuumkammer und dem umgebenden Gas Weist die Wand eines Prüfobjekts wirklich ein kleines Loch auf und gibt es eine Druckdifferenz zwischen der einen Seite der Wand und der anderen, können wir einen...

1.2 Wie groß ist ein Leck? Um ein Gefühl für die Dimensionen eines Leckkanals zu bekommen, kann man diese berechnen. Dabei geht man von der Annahme aus, dass es sich um ein ideales Rohr mit glatten Wänden handelt. Technisch dicht Tropfendes Wasser Entweichzeit einer > 1000 Blase mit 1 cc Jahre Laufendes Wasser Leckageortung mit Schnüffelmethoden Quantitative Leckageratenmessung unter atmosphärischen Bedingungen Lokale und integrale Vakuumprüfung Prüfung abgedichteter Objekte Prüfmethoden Sichtprüfung Ultraschall Druckabfall Blasenprüfung Prüfgas bei Umgebungsdruck Prüfgas im Vakuum Abbildung...

2 Theoretische Grundlagen der Lecksuche Im letzten Kapitel haben wir die „Leckagerate” als Durchsatz eines bestimmten Gases oder Flüssigkeit eingeführt, die unter definierten Bedingungen durch ein Leck strömt. Aus dieser Definition ergeben sich mehrere Fragen: ■■ Wie wird das Gas oder die Flüssigkeit durch das Leck transportiert? ■■ Wie sieht die Leckgeometrie aus? ■■ Welchen Einfluss haben die „Bedingungen”? Die Geometrie des Lochs ist in den meisten Fällen unbekannt. Das Prüfpersonal weiß nicht, ob der Leckkanal ein rundes Loch mit glatten Wänden ist oder ob es sich um einen Riss, eine klaffende...

101 Luft Helium Wasserstoff Kapillardurchmesser [µm] Abbildung 2-2: Transport von verschiedenen Prüfgasen durch ein ideales kreisrundes Leck (berechnet für eine Temperatur von 20 °C und eine Wandstärke von 1 cm) Die molekulare Strömung ist charakterisiert durch einen niedrigen Druck und eine niedrige Gasdichte. Es gibt fast keine Wechselwirkung zwischen den einzelnen Atomen oder Molekülen des Prüfgases. Die molekulare Strömung ist bei Leckageraten unter 10-8 Pa m3 s-1 vorherrschend. Der Übergang zwischen laminar-viskoser Strömung und molekularer Strömung ist nicht sprunghaft. Die Strömung im...