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Turbopumpen - Die optimale Lösung für Ihre Hochvakuumanwendung

Turbopumpen - Die optimale Lösung für Ihre Hochvakuumanwendung

Zusammenfassung des Produktkatalogs
Einleitung
Der Bericht behandelt die Funktionsweise und Anwendung von Turbopumpen, insbesondere in Hochvakuumanwendungen. Die Turbomolekularpumpe, erfunden von Dr. Willi Becker, ist der Vorläufer moderner Turbopumpen.
Aufbau und Funktionsprinzip
Turbopumpen sind kinetische Vakuumpumpen, die Gase durch Impulsübertragung bewegen. Sie bestehen aus einem mehrstufigen Rotor mit rotierenden Schaufelscheiben und Statoren. Das Saugvermögen und das Kompressionsverhältnis sind entscheidende Merkmale.
Lagertechnologien
Pfeiffer Vacuum verwendet Hybridlagerung mit Permanentmagnet- und Keramikkugellagern sowie aktive 5-Achsen-Magnetlagerung, die wartungsfrei ist.
Antriebselektronik & Steuerungen
Die Antriebselektronik sorgt für den sicheren Betrieb und überwacht die Rotorposition. Steuerungen sind direkt an der Pumpe oder extern installierbar. Standardkommunikationsschnittstellen sind RS-485.
Produktserien und Spezifikationen
Pfeiffer Vacuum bietet die HiPace-Serien für verschiedene Anwendungen. Die HiPace 10-800 Serie bietet hohe Kompression für leichte Gase, die HiPace 300-800 M Serie ist vibrationsarm, und die HiPace 1200-2800 Serie ist robust.
Besondere Produktvarianten
Die HiPace H Serie ist für Ultrahochvakuum, die HiPace P Serie für korrosive Anwendungen und die HiPace Plus Serie für vibrationsempfindliche Anwendungen geeignet. ATH-M und ATP-M Serien sind für Halbleiterfertigungsprozesse optimiert.
Produktlinien und Spezifikationen
  • ATH-M und ATP-M Pumpen: Hohe Gasdurchsätze, ideal für F&E-Anwendungen. Saugvermögen von 500 bis 3000 l/s.
  • Vorteile: 5-Achsen Magnetlager, kohlenwasserstofffrei, fortschrittliche Elektronik.
  • Beheizte Versionen: Für raue chemische Prozessgase mit Temperaturmanagementsystem.
Anwendungsbeispiele
  • Massenspektrometrie: Kompakte, leistungsfähige Lösungen für chemische Detektion.
  • Hochleistungs-Flüssigkeitschromatographie: SplitFlow Technologie kombiniert mehrere Turbopumpen.
  • Strahlungsemittierende Anwendungen: Lösungen ohne Halbleiterelektronik.
Technische Details
  • HiPace Turbopumpen: Verschiedene Modelle für Ultrahochvakuum-Anwendungen.
  • Steuergeräte: Modular für verschiedene Druckbereiche.
  • Lecksucher ASM 390: Optimiert für schnelle und genaue Lecktests.
Fazit
Pfeiffer Vacuum bietet Vakuumlösungen, die auf spezifische industrielle Anforderungen zugeschnitten sind, mit hoher Effizienz und Zuverlässigkeit.
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Katalogauszüge

Turbopumpen - Die optimale Lösung für Ihre Hochvakuumanwendung-1

Turbopumpen Die optimale Lösung für Ihre Hochvakuumanwendung

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Turbopumpen - Die optimale Lösung für Ihre Hochvakuumanwendung-2

Turbopumpen Aufbau und Funktionsprinzip von Turbopumpen Ursprung Die Idee der Turbomolekularpumpen geht auf den Ingenieur Dr. Willi Becker von Pfeiffer Vacuum zurück, der 1958 die erste Turbomolekularpumpe erfand. Sie ist der Urahn der heutigen Turbopumpen. Technik Turbopumpen gehören zu den kinetischen Vakuumpumpen, das heißt, dass die Gase durch Impulsübertragung vom Einlass zum Auslass bewegt werden. Die Konstruktion entspricht der einer Turbine: ein mehrstufiger Rotor mit rotierenden Schaufelscheiben. Zwischen den sich drehenden Rotorscheiben sind Statoren mit ähnlichen Geometrien gespiegelt....

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Saugvermögen und Kompressionsverhältnis Die beiden Hauptmerkmale, die eine Turbopumpe definieren, sind ihr Saugvermögen und ihr Kompressionsverhältnis. Das Saugvermögen beschreibt die Fähigkeit der Pumpe, den Volumenstrom zu evakuieren, unabhängig davon, ob es sich um das Kammervolumen oder einen konstanten Gasstrom handelt. Das Kompressionsverhältnis gibt die Fähigkeit der Pumpe an, in Verbindung mit der Vorvakuumpumpe Moleküle aus der Vakuumkammer herauszuhalten. Diese beiden Eigenschaften hängen von der Gasart ab. 1012 10 11 1010 10 9 Kompressionsverhältnisse von reinen Turbopumpen und Turbopumpen...

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Turbopumpen - Die optimale Lösung für Ihre Hochvakuumanwendung-4

Turbopumpen Lagertechnologien Lagerung Pfeiffer Vacuum verwendet zwei äußerst zuverlässige Konstruktionsmerkmale. Die Hybridlagerung besteht aus einem Permanentmagnetlager auf der Hochvakuumseite des Rotors und einem Keramikkugellager am Auslass der Pumpen. Das zweite Konzept verwendet ein aktiv gesteuertes 5-Achsen-Magnetlager. Keramisches Kugellager Hybridlagerung Die Hybridlagerung wurde vor mehr als 40 Jahren von Pfeiffer Vacuum erfunden. Sie besteht aus einem Permanentmagnetager und einem Keramikkugellager. l Pfeiffer Vacuum hat über 1 Million Pumpen mit dieser Konstruktion produziert, was...

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Oberes Sicherheitslager Oberes Radiallager Rotorwelle Unteres Radiallager Unteres Sicherheitslager Oberes Axiallager Unteres Axiallager Aktive 5-Achsen Magnetlagerung Turbopumpen können auch mit einer aktiven 5-AchsenMagnetlagerung arbeiten. Der Rotor wird durch eine digitale elektronische Steuerung und Elektromagnete in der Schwebe gehalten. Die 5-Achsen-Position des Turborotors wird kontinuierlich überwacht und in Echtzeit nachgeregelt. Die magnetische Lagerung erlaubt es dem Rotor, sich frei in seiner wahren Trägheitsachse zu drehen, die von der geometrischen Mitte des Rotors abweichen kann....

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Turbopumpen - Die optimale Lösung für Ihre Hochvakuumanwendung-6

Turbopumpen Die optimale Lösung für Ihre Hochvakuumanwendung Antriebselektronik & Steuerungen Die Antriebselektronik ist hauptsächlich für den sicheren Betrieb des Hochgeschwindigkeitsmotors verantwortlich. Bei magnetgelagerten Pumpen muss das Elektronikpaket auch die korrekte Rotorposition überwachen und sicherstellen sowie die aktiven Elektromagneten steuern. Es stehen verschiedene Steuerungen zur Verfügung, die entweder direkt an der Pumpe montiert oder als externes Rack installiert werden können. Einige Steuerungen verfügen über interne Netzteile, so dass sie mit 90 – 240 V AC betrieben werden...

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Serien und Spezifikationen von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen: Pfeiffer Vacuum bietet ein umfassendes Portfolio mit allen Arten von Turbopumpen. Unsere ausgereifte Produktlinie ist variantenreich und ermöglicht es uns, unseren Kunden die optimale Produktlösung für ihre Vakuumanwendung zu bieten. HiPace 10  800; HiPace Plus –  ■ Hybridgelagerte Turbopumpen in der Saugvermögensklasse von 10 bis 800 l/s ■ Bestes Verhältnis von Baugröße zu Leistung ■ Hohe Verdichtung für leichte Gase (insbesondere H-Serie) ■ Kompakte und dennoch robuste Bauweise ■ Hohe Zuverlässigkeit ■ Verschiedene Produktvarianten...

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HiPace® 10 – 800 Die optimale Lösung für Ihre Anwendung in der Saugvermögensklasse von 10 bis 800 l/s Hoher Gasdurchsatz und hohes Saugvermögen Höchste Zuverlässigkeit durch robuste Bauweise und bewährtes Lagersystem HiPace Turbomolekularpumpen sind zuverlässig, robust und für viele Vakuumlösungen geeignet. Ihr hohes Kompressions verhältnis für leichte Gase ist ideal für Hochvakuumanwen dungen. Eine große Auswahl an Standardzubehör und Kommunikationseinrichtungen rundet das HiPace Portfolio ab. Pfeiffer Vacuum bietet auch anwendungsspezifische Lösungen mit einem Saugvermögen von 10 bis 800 l/s...

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Maximale Verfügbarkeit durch Lagerwechsel vor Ort Höchste Präzision durch patentierte Laser Balancing Technologie Minimaler Platzbedarf durch kompakte Bauweise Flexibler Einsatz durch beliebige Einbaulage1) 1) Spezifische Produktvarianten für unterschiedliche Anwendungen: HiPace Die Standard HiPace Turbopumpe hat einen Verbundrotor, der sowohl Rotorschaufeln als auch eine Holweckstufe enthält. Sie bietet eine gute Kombination aus Gasdurchsatz und Kompressionsverhältnis, und ist für die gängigsten Vakuumanwendungen geeignet. HiPace H Die Turbomolekularpumpen HiPace 300 H und HiPace 700 H sind...

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Turbopumpen - Die optimale Lösung für Ihre Hochvakuumanwendung-10

HiPace® 300 – 800 M Kompakte Turbopumpen mit Magnetlagern in der Saugvermögensklasse von 300 bis 800 l/s Hoher Gasdurchsatz für alle Prozessgase Zuverlässig durch hervorragende Langzeitstabilität Die Turbopumpen der HiPace M Baureihe sind mit einem 5-Achsen Magnetlager ausgestattet. Sie sind für allgemeine Hochvakuumanwendungen konzipiert und enthalten daher Verbundrotoren. Die völlig ölfreie magnetische Lagerung macht eine Wartung praktisch überflüssig und schließt jede Möglichkeit der Verschmutzung aus. Für vibrations mpfind e liche Anwendungen verfügt die HiPace M über geringe Vibrationen...

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Alle Kataloge und technischen Broschüren von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions

  1. HiQuad Neo

    8  Seiten

  2. DuoVane 22

    4  Seiten

  3. HiCube Neo

    8  Seiten

  4. SpeedAir

    8  Seiten

  5. HiPace 80 Neo

    12  Seiten

  6. SmartVane

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  7. Pascal 2021 HW

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  8. Duo 1.6/M

    16  Seiten

Archivierte Kataloge

  1. AMI 1000

    8  Seiten

* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.