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Gasanalysesystem HiCube™ RGA

Gasanalysesystem HiCube™ RGA
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Katalogauszüge

HiCube™ RGA Die einfache und flexible Lösung für die Gasanalyse

Die einfache und flexible Lösung für die Gasanalyse Alles aus einer Hand Der neue HiCube RGA Pumpstand bietet Ihnen eine einfache, unkomplizierte Lösung für Ihre Gasanalyse. Er ist mobil einsetzbar und verfügt über eine hohe Auflösung und Empfindlichkeit. Die Kombination aus PrismaPro in dem für Sie passenden Massen bereich und einem trocken verdichtenden HiCube Turbopumpstand bietet Ihnen ein vielseitig einsetzbares Analyse- und Messgerät mit optimal aufeinander abgestimmten High-Tech Komponenten. Integrierte Sicherheit Das integrierte Gasdosier-/Absperrventil ermöglicht Ihnen, den...

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Vorteile auf einen Blick ■ Restgasanalyse und Helium-Lecksuchfunktion ■ Einsetzbar von Atmosphäre bis Hochvakuum ■ Hohe Auflösung und Empfindlichkeit ■ Filamentschutz durch Drucküberwachung ■ Gaseinlasssystem mit integrierter Absperrung

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Typische Anwendungen Restgasanalyse Die Restgasanalyse in einem Rezipienten gibt Aufschluss über die Zusammen setzung der verbliebenen Stoffe beim Erreichen des gewünschten Enddruckes bzw. Konditionierbedingungen. Hieraus können Rückschlüsse über Oberflächen eigenschaften, Desorptionsverhalten, Reinheitsgrad und Dichtheit des Rezipi enten sowie die Prozessgaszusammensetzung gezogen werden. So erhält der Anwender wichtige Informationen über den Zustand seiner Vakuumkammer und/oder der Vakuumbauteile. Full Scan eines Restgasspektrums im Bereich von 0 bis 100 u. Lecksuche Der HiCube RGA...

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Der HiCube RGA ermöglicht die Betrachtung von beliebig vielen selektierten Massenintensitäten über die Zeit in einem Massenbereich bis 300 u1). Ausgewählten Massen können Schaltschwellen zugeordnet werden. Bei Über- oder Unterschreitung werden Signale über digitale Ausgänge an ein übergeordnetes Kontrollsystem weitergeleitet. Somit ermöglicht der HiCube RGA eine Prozessbetrachtung und -kontrolle in Echtzeit. Das Gasdosierventil EVN 116 erlaubt zusätzlich eine prozessbedingte Druckanpassung im Vakuumsystem und ermöglicht durch ein zusätzlich integriertes Absperrventil eine exzellente...

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Turbopumpstand Leistungsaufnahme Spannung (Bereich) Saugvermögen für N2 Saugvermögen Vorpumpe bei 50 Hz Enddruck Transmitter Active Pirani/Kaltkathode Transmitter PKR 361 Messbereich von 1 ■ 10-9 bis 1 ■ 103 hPa Stabsystem, Durchmesser/Länge Betriebstemperatur, Analysator Betriebstemperatur, Elektronik Ausheiztemperatur, Analysator 1) inkl. digitaler Positionsanzeige und integriertem Absperrventil 4) C-SEM = kontinuierlicher Sekundärelektronenvervielfacher 2) mit erweitertem I/O-Modul, offener lonenquelle, Anschluss für Elektronik 5) Deutlich höhere Empfindlichkeit beim Betrieb mit C-SEM...

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11 Nur bei QMG 250 M, enfällt bei QMG 250 F Wert in Klammern gilt für QMG 250 F Maße in mm

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VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment. KOMPETENZ IN THEORIE UND PRAXIS Sie suchen eine perfekte Vakuumlösung? Sprechen Sie uns an: Pfeiffer Vacuum GmbH Germany T +49 6441 802-0 Irrtümer und/oder Änderungen vorbehalten. PT 0201 PDE (Oktober 2019/PoD) Nutzen Sie unser Know-how...

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