HiPace 2800 IT - Die Turbopumpe für Ionen-Implantationssysteme
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Katalogauszüge

HiPace 2800 IT - Die Turbopumpe für Ionen-Implantationssysteme - 2

Mit der HiPace 2800 IT stellt Pfeiffer Vacuum eine Turbo pumpe vor, die insbesondere für Ionen-Implantationssysteme konzipiert ist. Die durchdachte Rotorkonstruktion der Turbopumpe führt zu einem optimierten Saugvermögen für leichte Gase. Dies gewährleistet die beste Prozessanpassung für Ionen-Implantationsprozesse, bei denen das WasserstoffSaugvermögen besonders wichtig ist. Mit einem Saugvermögen von 2.600 l/s für Wasserstoff ist die neue HiPace 2800 IT die beste Turbopumpe ihrer Klasse. Widerstandsfähig bei anspruchsvollsten Prozessen Das intelligente Temperaturmanagementsystem reduziert...

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HiPace 2800 IT - Die Turbopumpe für Ionen-Implantationssysteme - 3

Saugvermögen [l/s] Pumping speed [l/s] 100 Einlassdruck [hPa] Inlet pressure [hPa] Technische Daten HiPace 2800 IT Anschlussflansch (Eingang) Enddruck gemäß PNEUROP Max. zulässiges magnetisches Feld

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HiPace 2800 IT - Die Turbopumpe für Ionen-Implantationssysteme - 4

VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment. KOMPETENZ IN THEORIE UND PRAXIS Sie suchen eine perfekte Vakuumlösung? Sprechen Sie uns an: Pfeiffer Vacuum GmbH Germany T +49 6441 802-0 Irrtümer und/oder Änderungen vorbehalten. PT 0195 PDE (Dezember 2020/PoD) Nutzen Sie unser Know-how...

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Alle Kataloge und technischen Broschüren von Pfeiffer Vacuum GmbH

  1. HiCube Neo

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  2. SpeedAir

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  3. HiPace 80 Neo

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  4. SmartVane

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