A-110
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Katalogauszüge

A-110 - 1

PIglide LC Linearversteller mit Luftlager HOCHLEISTUNGS- NANOPOSITIONIERSYSTEM MIT GÜNSTIGEM PREIS A-110 100 mm bis 400 mm Stellweg Größe der bewegten Plattform: 160 mm x 200 mm Kontaktlose Luftlager Keine außenliegenden Kabel oder Luftströme für Stellwege bis 100 mm Integrierter optischer Linearencoder PIglide Linearversteller der Referenzklasse PIglide Positioniersysteme besitzen einen magnetischen Linearmotor, Vakuum- vorgespannte Luftlager und optische Linearencoder: Kontakt- und Reibungsfreie Bewegung für höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit Luftreglermodul, einschließlich Drucksensor. Ein-- oder mehrachsiger Motion Controller. Gestapelte XY- Systeme auf Anfrage. Weiteres Zubehör auf Anfrage PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm- Herstellung. Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Versteller ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können © Physik Instrumente (PI) GmbH und Co. KG 2014. Änderungen vorbehalten. Die aktuelle Revision ist zu finden unter www.p

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A-110 - 2

Spezifikationen Vorläufige Daten Einheit Toleranz Integrierter Sensor Optischer Optischer Linearencoder Optischer Linearencoder Optischer Linearencoder Linearencoder Bidirektionale Wiederholgenauigkeit Neigen / Gieren Geradheit / Ebenheit 0,1 µm je 25 mm 0,1 µm je 25 mm 0,1 µm je 25 mm 0,1 µm je 25 mm Stellweg, Stellweg, Stellweg, Stellweg, < ±1 über den < ±1 über den gesamten < ±1 über den gesamten < ±1 über den gesamten gesamten Stellweg Stellweg Stellweg Stellweg Bewegte Masse Rein (gefiltert bis Rein (gefiltert bis 1,0 µm Rein (gefiltert bis 1,0 µm Rein (gefiltert bis 1,0 µm 1,0 µm oder...

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A-110 - 3

© Physik Instrumente (PI) GmbH und Co. KG 2014. Änderungen vorbehalten. Die aktuelle Revision ist zu finden unter www.pi.de

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Alle Kataloge und technischen Broschüren von Physik Instrumente

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